直写式光刻机扫描采用不等距触发进行图形校正的方法技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及直写式光刻机扫描不等距图形校正方法，属于图形校正
技术介绍
直写式光刻机设备又称影像直接转移设备，是半导体及PCB生产领域中有别于传统半自动曝光设备的一个重要设备。是利用图形发生器取代传统光刻机的掩模板，从而可以直接将计算机的图形数据曝光到晶圆或PCB板上，节省制板时间和制作掩模板的费用，并且自身可用做掩模板的制作。目前在基于扫描技术的投影过程中，如何保证图形翻转与承载晶圆或PCB基板的工件台保持同步，是一个比较困难的问题。较常用的两种方法是基于工件台位置信号和基于时间控制来触发光刻机进行图形翻转，但这两种方法都会存在一个缺点。因为每一台设备工件台的实际运动轨迹因安装误差、环境不同等等，都不可能按照理想的运动状态进行运动。实际的工件台，都会考核其运动过程中Yaw、Pitch、Roll值，这三个值会导致平台在运动过程中与实际位置有所偏差，对影像转移所带来的最直观的一个现象就是每个场内及场间，图形由上至下产生拼接错位不一致及变形的问题。现有技术中的校正方法均采用等距校正方法，该方法不仅校正效果不佳，并且不能消除工件台运动误差所带来的各扫描视场...
【技术保护点】
直写式光刻机扫描不等距图形校正方法，其特征在于，所述不等距图形校正方法首先通过若干个工件台位置触发信号标定Trigger的长度；然后将图形扫描的整个行程范围分为多个校正段，每个校正段中均定义四个寄存器，所述四个寄存器分别定义校正段的起点、终点、校正间隔以及校正方向；最后根据每个校正段内图像的错位方向，结合对应校正段内四个寄存器的定义内容实现图像的校正。
【技术特征摘要】
1.直写式光刻机扫描不等距图形校正方法，其特征在于，所述不等距图形校正方法首先通过若干个工件台位置触发信号标定Trigger的长度；然后将图形扫描的整个行程范围分为多个校正段，每个校正段中均定义四个寄存器，所述四个寄存器分别定义校正段的起点、终点、校正间隔以及校正方向；最后根据每个校正段内图像的错位方向，结合对应校正段内四个寄存器的定义内容实现图像的校正。2.根据权利要求1所述不等距图形校正方法，其特征在于，所述校正方法的具体步骤为：第一步：采用多个工件台位置触发信号触发多次图形发生器，使多次图形翻转；其中，每相邻两次图像发生器的工件台位置触发信号的个数不相同；第二步：将第一步中所述用多个工件台位置触发信号触发一次图像发生器定义为一个Trigger，记做TriggerP，其中，P的取值与工件台位置触发信号触发次数相对应；第三步：对图像进行扫描，按照图形扫描后各扫描视场间的误差测量所得的拼接误差，将图形扫描的整个行程范围分为M个校正段；其中，M为大于等于1的整数；第四步：根据第三步所述的拼接误差，在所述M个校正段中的每个校正段内均定义四个寄存器，分别为一号寄存器，二号寄存器，三号寄存器和四号寄存器，所述一号寄存器定义其所在校正段的校正段起点；所述二号寄存器定义其所在校正段的校正段终点；所述三号寄存器定义其所在校正段的校正间隔；所述四号寄存器定义其所在校正段的校正方向；第五...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈海巍，
申请(专利权)人：无锡影速半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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