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本发明提出直写式光刻机扫描采用不等距触发进行图形校正的方法，属于图形校正技术领域。该不等距图形校正方法首先通过若干个工件台位置触发信号标定Trigger的长度；然后将图形扫描的整个行程范围分为多个校正段，每个校正段中均定义四个寄存器，所述四...
该专利属于无锡影速半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡影速半导体科技有限公司授权不得商用。

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