一种用于无掩膜光刻直写系统的调焦装置及其调焦方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用于无掩膜光刻直写系统的调焦装置，包括设置在光刻物镜与承印材料之间的连续调焦组和固定调焦组，所述连续调焦组包括第一直线驱动电机、第一直角楔形棱镜和第二直角楔形棱镜，所述固定调焦组包括第二直线驱动电机和台阶棱镜。本发明专利技术还提供一种用于无掩膜光刻直写系统的调焦装置的调焦方法。本发明专利技术综合连续调焦组与固定调焦组的特点，将两者混合使用，可以实现大范围内的连续调焦，设计合理，方便快捷，易于实现，可以大大提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于无掩膜光刻直写系统的调焦装置及其调焦方法
本专利技术涉及光学
，具体是一种用于无掩膜光刻直写系统的调焦装置及其调焦方法。
技术介绍
在无掩膜光刻直写系统中，光刻物镜的焦面调节直接影响着光刻产品的质量。分辨率较高的光刻物镜焦深较小，而印刷线路板的板厚差别通常远远超出焦深范围。目前无掩膜光刻直写系统中的调焦装置大多只在小范围内实现调焦功能，在板厚差距较大时选用不同垫板调整焦面，这样在生产中对于不同规格板厚的印刷线路板要多次更换垫板，降低了产能，直接影响生产效益。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于无掩膜光刻直写系统的调焦装置及其调焦方法，在选用厚度差别较大的承印材料时无需更换垫板，实现无掩膜光刻直写系统的大范围连续调焦。本专利技术的技术方案为：一种用于无掩膜光刻直写系统的调焦装置，该装置包括设置在光刻物镜与承印材料之间的连续调焦组和固定调焦组，所述连续调焦组包括第一直线驱动电机、第一直角楔形棱镜和第二直角楔形棱镜，所述固定调焦组包括第二直线驱动电机和台阶棱镜；所述第一直角楔形棱镜和第二直角楔形棱镜的斜面贴合在一起，两者倒置配合构成一个平行平板；所述台阶棱镜的上表面为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于无掩膜光刻直写系统的调焦装置，其特征在于：该装置包括设置在光刻物镜与承印材料之间的连续调焦组和固定调焦组，所述连续调焦组包括第一直线驱动电机、第一直角楔形棱镜和第二直角楔形棱镜，所述固定调焦组包括第二直线驱动电机和台阶棱镜；所述第一直角楔形棱镜和第二直角楔形棱镜的斜面贴合在一起，两者倒置配合构成一个平行平板；所述台阶棱镜的上表面为平面，下表面为由若干平行于上表面的平面连接而成的阶梯面，使得所述台阶棱镜的厚度呈阶梯变化；所述第一直线驱动电机，用于带动所述第一直角楔形棱镜和第二直角楔形棱镜中的至少一个沿两者的斜面方向运动，改变曝光光轴方向上所述平行平板的厚度进而改变光程进行连续调焦；所述第...

【技术特征摘要】
1.一种用于无掩膜光刻直写系统的调焦装置的调焦方法，该装置包括设置在光刻物镜与承印材料之间的连续调焦组和固定调焦组，所述连续调焦组包括第一直线驱动电机、第一直角楔形棱镜和第二直角楔形棱镜，所述固定调焦组包括第二直线驱动电机和台阶棱镜；所述第一直角楔形棱镜和第二直角楔形棱镜的斜面贴合在一起，两者倒置配合构成一个平行平板；所述台阶棱镜的上表面为平面，下表面为由若干平行于上表面的平面连接而成的阶梯面，使得所述台阶棱镜的厚度呈阶梯变化；所述第一直线驱动电机，用于带动所述第一直角楔形棱镜和第二直角楔形棱镜中的至少一个沿两者的斜面方向运动，改变曝光光轴方向上所述平行平板的厚度进而改变光程进行连续调焦；所述第二直线驱动电机，用于带动所述台阶棱镜运动到一定...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹常瑜，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34