一种用于激光直写曝光机的气体压板装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于激光直写曝光机的气体压板装置，包括气路总阀、三通阀门、气体节流阀一、压板腔体一、气体节流阀二和压板腔体二。气路总阀的进气口，用于通入压缩空气；气路总阀的出气口接三通阀门的进气口。三通阀门的出气口一接气体节流阀一的进气口，气体节流阀一的出气口接压板腔体一的进气口。三通阀门的出气口二接气体节流阀二的进气口，气体节流阀二的出气口接压板腔体二的进气口。压板腔体一上安装有真空压力表一和若干空气枪嘴一。压板腔体二上安装有真空压力表二和若干空气枪嘴二。本实用新型专利技术无需接触PCB板材即可实现压板功能，不会对PCB板材造成压痕，有效提高了曝光机的良率。

A gas pressure plate device for laser direct writing exposure machine

【技术实现步骤摘要】
一种用于激光直写曝光机的气体压板装置
本技术涉及激光直写曝光术领域，具体涉及一种用于激光直写曝光机的气体压板装置。
技术介绍
在直写曝光工艺中，PCB板材在经过上游多道工序加工后，往往会存在板材形变的问题，即使采用真空吸附系统，PCB板材仍然会出现板边翘曲现象，这种翘曲最少都在1mm以上。常用的曝光机景深仅仅只有±300um，超过这个数值就会出现曝光离焦问题，严重影响良率。为了应对该问题，行业中常用的装置是机械压板，就是使用结构硬件直接压在PCB板边，来解决板边翘曲问题。这种接触式压板存在很大的弊端，就是容易对附着在PCB板材上的干膜或油墨造成损坏，板子上容易出现压痕，造成废板。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于激光直写曝光机的气体压板装置，该装置可以解决PCB板材压板问题，且不会对PCB板材造成压痕，有效提高了曝光机的良率。为实现上述目的，本技术采用了以下技术方案：一种用于激光直写曝光机的气体压板装置，包括气路总阀、三通阀门、气体节流阀一、压板腔体一、气体节流阀二和压板腔体二。r>所述气路总阀的进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于激光直写曝光机的气体压板装置，其特征在于：包括气路总阀、三通阀门、气体节流阀一、压板腔体一、气体节流阀二和压板腔体二；/n所述气路总阀的进气口，用于通入压缩空气；气路总阀的出气口接三通阀门的进气口；所述三通阀门的出气口一接气体节流阀一的进气口，气体节流阀一的出气口接压板腔体一的进气口；所述三通阀门的出气口二接气体节流阀二的进气口，气体节流阀二的出气口接压板腔体二的进气口；所述压板腔体一上安装有真空压力表一和若干空气枪嘴一；所述压板腔体二上安装有真空压力表二和若干空气枪嘴二。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于激光直写曝光机的气体压板装置，其特征在于：包括气路总阀、三通阀门、气体节流阀一、压板腔体一、气体节流阀二和压板腔体二；
所述气路总阀的进气口，用于通入压缩空气；气路总阀的出气口接三通阀门的进气口；所述三通阀门的出气口一接气体节流阀一的进气口，气体节流阀一的出气口接压板腔体一的进气口；所述三通阀门的出气口二接气体节流阀二的进气口，气体节流阀二的出气口接压板腔体二的进气口；所述压板腔体一上安装有真空压力表一和若干空气枪嘴一；所述压板腔体二上安装有真空压力表二和若干空气枪嘴二。


2.根据权利要求1所述的一种用于激光直写曝光机的气体压板装置，其特征在于：所述压板腔体...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏云飞，朱会敏，张浩为，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34