一种直写式光刻机的自动门制造技术

一种直写式光刻机的自动门，置于所述直写式光刻机的支架上，所述自动门包括置于所述直写式光刻机支架上相对的第一平行轨道和相对的第二平行轨道，沿所述第一平行轨道滑动的第一门板、相对于所述第二平行轨道滑动的第二门板以及制动装置，所述制动装置控制所述第一门板和第二门板沿所述第一平行轨道或所述第二平行轨道滑动至开启位置或关闭位置。以及应用前述自动门的直写式光刻机。所述自动门通过两个门板联动或者单独运动实现所述自动门的开启或者闭合，两个门板的使用，减小了单个门板的面积，进而可以减小所述挡板的面积，实现减小所述直写式光刻机体积的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种直写式光刻机的自动门
本专利技术涉及直写式光刻机
，特别是能够缩小光刻机体积的自动门。
技术介绍
激光直写式曝光是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图，相比于传统的掩膜版和菲林底片等曝光的影像直接转移技术，直写式曝光技术产能高，对位精度高。在半导体及PCB生产领域有着非常重要的作用。直写式曝光机是精密的装置，其对工作环境要求较高，期望在所述直写式曝光机对所述基板进行曝光时，其可以隔绝外界的尘埃等污染物，因此其设置有自动门装置，在所述直写式曝光机对基板进行曝光工作时，所述基板处于封闭的环境，减少外界的污染物对基板曝光产生的影响，同时，也可以减少人为影响。如图1所示，目前，直写式曝光机的自动门包括左右两侧的单一门板100，所述自动门开启时，其左右两侧的单一门板100分别向左右两侧滑动，最终隐藏于所述直写式曝光机的左右两侧挡板101的下方，露出所述基板平台曝光区域。为了使所述基板平台的曝光区域可以完全露出，以便进行上下板操作，所述左右两侧的挡板101必须具有较宽的宽度，使得所述单一门板100可以基本隐藏于所述挡板101下，因此这种设计本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种直写式光刻机的自动门，置于所述直写式光刻机的支架上，其特征在于：所述自动门包括置于所述直写式光刻机支架上相对的第一平行轨道和相对的第二平行轨道，沿所述第一平行轨道滑动的第一门板、相对于所述第二平行轨道滑动的第二门板以及制动装置，所述制动装置控制所述第一门板和第二门板沿所述第一平行轨道或所述第二平行轨道滑动至开启位置或关闭位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种直写式光刻机的自动门，置于所述直写式光刻机的支架上，其特征在于：所述自动门包括置于所述直写式光刻机支架上相对的第一平行轨道和相对的第二平行轨道，沿所述第一平行轨道滑动的第一门板、相对于所述第二平行轨道滑动的第二门板以及制动装置，所述制动装置控制所述第一门板和第二门板沿所述第一平行轨道或所述第二平行轨道滑动至开启位置或关闭位置。


2.根据权利要求1所述的自动门，其特征在于：所述第一平行轨道的高度高于所述第二平行轨道的高度。


3.根据权利要求1所述的自动门，其特征在于：所述第一平行轨道和所述第二平行轨道均包含两个相对的导轨，或者均包含一导轨和一与导轨相对的滑道。


4.根据权利要求3所述的自动门，其特征在于：所述第一门板和所述第二门板安装有滑块，所述滑块沿所述导轨移动。


5.根据权利要求3所述的自动门，其特征在于：所述第一门板和所述第二门板安装有包胶轴承，所述包胶轴承沿所述滑道移动。


6.根据权利要求1至5任一所述的自动门，其特征在于：所述制动装置包括一动力源和一联动装置，所述动力源连接所述第二门板，所述第二门板通过所述联动装置带动所述第一门板移动。


7.根据权利要求6所述的自动门，其特征在于：所述联动装置包括设置于所述第一门板上的隔板和设置于所述第二门板上的推动件，所述隔板垂直于所述平行轨道设于所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭海磊，刘栋，蔡瑞，章卫平，李伟成，张雷，
申请(专利权)人：苏州源卓光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32