【技术实现步骤摘要】
一种调焦装置
[0001]本专利技术涉及一种调焦装置，尤其是一种应用于激光直写领域的调焦装置。
技术介绍
[0002]现有激光直写成像曝光系统，采用一组或多组镜头在基底上曝光，为保证多组镜头曝光线条或图像具有高的解析度和一致性，需要手动调整每一个镜头焦面，使得一组或者多组镜头均处于最佳的焦面位置。这种操作方式繁琐且焦面精度较难保证，直接限制了曝光系统的解析度。尤其是对于高精度光刻镜头，其焦深较小，基底的平整度无法满足高精度光刻的条件，需要通过对镜头调焦实现焦面的校准。
[0003]现有的镜头调焦方式是在镜头下方设置调焦装置，采用上下两个楔形棱镜构成平行平板，通过移动其中一个楔形棱镜相对另一个楔形棱镜左右移动，改变平行平板上下方向（Z方向）的距离，或者两个楔形棱镜均左右移动的方式，改变平行平板上下方向（Z方向）的距离。中国专利CN103488062B公开了一种可双向滑动楔形棱镜聚焦装置，包括棱镜、动力机构，所述棱镜包括楔形上棱镜和楔形下棱镜，所述上棱镜的倾斜面与所述下棱镜的倾斜面相接触，所述动力机构与所述上棱镜和所述下...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种调焦装置，其特征在于：其包括第一棱镜、第二棱镜、第一棱镜支撑座和第二棱镜支撑座，所述第一棱镜安装于所述第一棱镜支撑座，所述第二棱镜安装于所述第二棱镜支撑座，所述第一棱镜和第二棱镜为楔形棱镜，所述第一棱镜支撑座和所述第二棱镜支撑座均包括支架、与支架连接的固定件及与所述固定件连接的棱镜安装件，所述固定件安装有调节件，所述调节件抵靠所述棱镜安装件，调节所述调节件的高度调整所述棱镜安装件的位置和/或角度，所述第一棱镜支撑座和/或第二棱镜支撑座包括驱动机构，所述支架连接所述驱动机构。2.根据权利要求1所述的调焦装置，其特征在于：所述固定件为L型，包括连接所述支架的竖直板和垂直于竖直板的水平板，所述棱镜安装件安装于所述固定件的内侧。3.根据权利要求2所述的调焦装置，其特征在于：所述棱镜安装件包括安装座，所述安装座与所述固定件相同为L型，置于所述固定件内侧，所述安装座包括与所述竖直板抵靠固定的背靠板，与所述水平板抵靠固定的顶靠板，所述背靠板和所述顶靠板彼此垂直。4.根据权利要求3所述的调焦装置，其特征在于：所述调节件设置于所述水平板，所述调节件抵靠所述顶靠板。5.根据权利要求4所述的调焦装置，其特征在于：所述调节件的数量为两个...
【专利技术属性】
技术研发人员：胥涛棚，陈进，曾庆胜，沈明杰，张雷，
申请(专利权)人：苏州源卓光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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