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一种直写式光刻机的自动门，置于所述直写式光刻机的支架上，所述自动门包括置于所述直写式光刻机支架上相对的第一平行轨道和相对的第二平行轨道，沿所述第一平行轨道滑动的第一门板、相对于所述第二平行轨道滑动的第二门板以及制动装置，所述制动装置控制所述...
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