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本实用新型涉及一种用于激光直写曝光机的气体压板装置，包括气路总阀、三通阀门、气体节流阀一、压板腔体一、气体节流阀二和压板腔体二。气路总阀的进气口，用于通入压缩空气；气路总阀的出气口接三通阀门的进气口。三通阀门的出气口一接气体节流阀一的进气口...
该专利属于合肥芯碁微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备有限公司授权不得商用。

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