防尘薄膜组件收纳方法技术

提供一种在保管·输送·开封时，灰尘发生少的在袋中收纳的产品，特别是提供一种不污染在防尘薄膜组件容器的内部收纳的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳方法。该方法的特点是将在防尘薄膜组件的收纳容器放入清洁规格的第一袋，将其开口封闭，接着，将其放入具有防止带电防功能的第二袋，将其开口封闭，进一步放入具有防止带电功能的第三袋，将其封闭。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术，涉及将在无尘室内制造的产品(特别是防尘薄膜组件)进行收纳的。
技术介绍
在无尘室内制造的光刻用防尘薄膜组件，在专用的容器中被收纳后，再收纳在树脂制的袋中。为了防止防尘薄膜组件容器(箱)以及防尘薄膜组件带电，一般，该袋使用防止带电类型的袋。防止带电类型的袋的場合，为了让袋具有导电性，要将防止带电剂掺入，或在表面上蒸镀金属薄膜，这些都成为灰尘发生的原因，防尘薄膜组件容器的输送状態以及环境使袋中收纳的防尘薄膜组件容器被污染，或者，将防尘薄膜组件容器从袋中拿出，打开盖吋， 防尘薄膜组件容器的盖等上付着防止带电剂等，会使在袋内部收纳的防尘薄膜组件被污染。鉴于以上的情况，本专利技术的课题是提供一种即使在保管·输送·开封时，也灰尘发生少的在袋中收纳的产品，特别是防尘薄膜组件容器的内部收纳的防尘薄膜组件不会被污染的。
技术实现思路
本专利技术，就是解决这样的课题的专利技术，本专利技术的的特征，就是将收纳防尘薄膜组件的容器放入清洁的第一袋中，将其开ロ封闭，接着将其放入具有防止带电功能的第二的袋中，将其开ロ封闭，进一歩放入具有防止带电功能的第三的袋中进行密封。上述清洁规格的袋，是在至少清洁度1000以下的无尘室内制造的清洁度管理的产品，具有上述防止带电功能的袋，至少具有9.9X10nQ/cm2以下的表面电阻的防止带电特性。并且，上述密封操作在清洁度为I以上的无尘室内进行的。根据本专利技术，最内侧的第一袋用清洁袋，第二，第三的袋用防止带电类型的袋，由此，产品(防尘薄膜组件)的收纳容器，在对产品的异物付着进行防止的同时，直至将容器从袋中取出为止，将带电保持为最小限度，从而产品的脏污被防止。附图说明图I是概略说明本专利技术的的实施方式的图。具体实施例方式本专利技术，涉及在无尘室内，将收纳防尘薄膜组件的防尘薄膜组件容器收纳于袋中的，其是将收纳防尘薄膜组件的防尘薄膜组件容器，从内侧算起，以非防止带电的清洁袋，防止带电袋，防止带电袋的顺序进行3重收纳，包装。防尘薄膜组件容器为不与加入防止带电剂的袋进行直接接触的防尘薄膜组件容器，进而，在对内部收纳的防尘薄膜组件的污染进行防止的同时，由于袋的带电而产生的静电危害由最内侧的清洁袋来加以防止。以下，对本专利技术，用图来进行进ー步详细说明。图I中，将防尘薄膜组件I收纳于其内部的防尘薄膜组件容器2，收纳于清洁规格的第一袋3，其外侧为收纳于具有防止带电功能的第二袋4，进ー步外侧收纳于具有防止带电功能的第三袋5。本专利技术中使用的袋的尺寸，只要可以收纳防尘薄膜组件的收纳容器(箱)，并且外侧的袋可以在其内部收纳内侧的袋的尺寸，就没有特别的制限。关于厚度，对各袋的开ロ进行封闭时，例如，由热封进行封闭时，要不软化过度而破损以及断裂的某种程度的厚度，相反也不要具有难以熔融附着的厚度而使密封不能充分进行，所以，厚度以50 200 μ m为优选。袋的材质，没有特别制限，最内侧的与防尘薄膜组件容器接触的袋(第一袋)，以使用聚こ烯、尼龙、聚丙烯、聚酯等的树脂以及以使用它们的叠层物为优选。第一袋，直接与收纳产品的容器相接触，有必要使用清洁规格的袋，要在清洁度1000以下的无尘室内制造，进行清洁度管理。该第一袋，被第二袋收纳。关于该第二袋，与第一袋同样，由聚こ烯、尼龙、聚丙烯以及聚酯等的树脂构成，这些的树脂进行金属薄膜蒸镀，或将防止带电剂添加，进ー步，可以例举将上述树脂的叠层物赋予防止带电功能之物等。作为防止带电性能，具有一般使用的程度的防止带电性能即可，但是，防止带电袋为一般的性能的，至少具有9.9X10nQ/cm2以下的表面电阻为优选。装入该第二袋的防尘薄膜组件容器，进ー步在第三袋进行收纳。该第三袋，是与外部直接触，所以在快要运入无尘室内时才开封，这是为了不让外部的脏污被带入无尘室内。因此，根据运入无尘室的清洁度，该第三袋，也可以装入第四袋，再装入第五袋等，可以进ー步增加收纳袋。第三袋的材质，与第二袋同样，可以例举聚こ烯，尼龙，聚丙烯，聚酯等的树脂构成，这些树脂为蒸镀金属薄膜或添加防止带电剂，进ー步可以使用赋予带电功能的上述树脂的叠层物等。第四袋以上的袋，也同样。实施例以下，对实施例进行描述。另外，以下的实施例、參考例以及比较例中使用的清洁规格的袋，为在清洁度1000以下的无尘室内制造洗浄的聚こ烯制的袋，防止带电袋，为聚こ烯中添加防止带电剂的具有防止带电功能(至少为9. 9 XlO11 Ω/Cm2以下的表面电阻的防止带电特性)的聚こ烯制的袋。实施例I首先，在厚度为70 μ m的清洁规格的第一袋，将收纳防尘薄膜组件的防尘薄膜组件容器放入袋的最底部，袋的ロ用热封进行封闭。接着，将收纳防尘薄膜组件容器的第一袋放入厚度70 μ m的防止带电袋的第二袋中，将袋的ロ用热封封闭。最后，将该第二袋放入厚度为100 μ m的防止带电袋的第三袋，袋的ロ用热封封、闭。再将第三袋，放入具有缓冲材料的瓦棱纸箱中，密封，置于振动试验机，10Hz，上下方向为IG的加速度，进行24小时的振动。接着，将进行了上述エ序之物运入无尘室内，开封，第二袋，第三袋的表面具有白色的被认为是防止带电剂之物漏出。该物在第一袋表面上有付着，但是在其中的容器表面是清洁的，在无尘室内的暗室，用30万勒克司的集光灯进行检查，没有发现付着异物等。另外，将收纳容器打开，将产品( 防尘薄膜组件)用上述方法进行了检查，产品表面也没有付着物。参考例1, 2參考例I中，第一袋，第二袋使用厚度为70 μ m的清洁规格的袋，第三袋，使用厚度为100 μ m的防止带电袋。參考例2中，第一袋，第二袋，第三袋的都使用厚度为70 μ m的清洁规格的袋。除此以外，与实施例I同样，将袋的ロ热封，进行24小时的振动试验后，在无尘室内开封，打开收纳容器，将产品(防尘薄膜组件)取出，在无尘室内的暗室用30万勒克司的集光灯进行检查，各个产品上的异物都没有増加。该结果与实施例I的结果一起列于表I。参考例3 5第一袋，使用厚度为70 μ m的防止带电袋，第二袋，第三袋，除了将防止带电袋或清洁袋进行适宜地组合而使用以外，与实施例I相同进行试验(參照表I)。将进行了试验之物运入无尘室内，开封，第一袋，第二袋，第三袋的各表面者附着了白色的被认为是防止带电剂漏出。进ー步，在容器表面确认到有白色粉状物付着。在无尘室内的暗室用30万勒克司的集光灯进行检查，容器表面具有白色的粉状的付着物。另外，打开收纳容器，将产品用上述方法检查，具有付着异物，用显微IR分光分析，确认到该付着物与第一袋含有的防止带电剂具有相同的成分。该结果，列于表I。比较例I该比较例为仅使用往常使用的防止带电袋的例子。将收纳防尘薄膜组件的防尘薄膜组件容器放入厚度为100 μ m的防止带电袋，袋的ロ用热封封闭后，与实施例I同样，进行24小时的振动试验后，在无尘室内开封，打开收纳容器，将产品(防尘薄膜组件)取出，在无尘室内的暗室用30万勒克司的集光灯进行检查，产品上的异物有増加。该结果，与上述实施例以及參考例的结果一起列于表I。表I符号的说明I :防尘薄膜组件，2:防尘薄膜组件容器，3 (清洁规格的)第一袋，4 (防止带电袋形成的)第二袋，5 (防止带电袋形成的)第三袋。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防尘薄膜组件收纳方法，其特征在于将收纳防尘薄膜组件的容器放入清洁规格的第一袋，将其开口封闭，接着将其放入具有防止带电功能的第二袋，将其开口封闭，进一步放入具有防止带电功能的第三袋，进行密封。

【技术特征摘要】
2011.03.29 JP 2011-0715821.一种防尘薄膜组件收纳方法，其特征在于将收纳防尘薄膜组件的容器放入清洁规格的第一袋，将其开ロ封闭，接着将其放入具有防止带电功能的第二袋，将其开ロ封闭，进ー步放入具有防止带电功能的第三袋，进行密封。2.权利要求I所述的防尘薄膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：永田爱彦，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：