防尘薄膜组件收纳容器制造技术

提供一种作为防尘薄膜组件收纳容器的材料使用添加难燃剂的树脂，其在紫外线中不产生难燃剂以及树脂的老化，收纳的防尘薄膜组件可长期保持清洁状态的防尘薄膜组件收纳容器。本发明专利技术为一种收纳至少一个的边长超过500mm的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，由载置防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在该本体的周缘部嵌合而密闭的盖体构成，至少盖体由真空成形或者冲压成形的树脂制造，该树脂材料含有难燃剂以及黑色化材料，不透明且为黑色。再者，本发明专利技术优选难燃剂为溴系化合物，树脂材料为ABS树脂。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及导体装置，IC封装，印刷基板，液晶面板或者有机EL面板等的制造时用的防尘薄膜组件的收纳容器，进一步涉及用于收纳至少一个边的边长超过500mm的大型的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器。
技术介绍
在LSI，超LSI等的半导体制造或液晶面板等的制造中，要对半导体晶片或者液晶用原板进行光照射，以进行图案的制作，但是，此时，使用的光掩模或者中间掩模(以下，统称“光掩模”)上如有灰尘附着，该灰尘会对光进行吸收，或使光弯曲，由此转印的图案就会变形，尖端部就会模糊，甚至会发生基底脏黑等，从而尺寸，品质，外观等受损。因此，这样的作业通常在无尘室中进行，但是即使如此也难以总是保持光掩模的清洁，由此，要在光掩模表面将作为防尘器的防尘薄膜组件进行贴附后，再进行曝光。在该场合，异物不在光掩模的表面直接附着，而是附着在防尘薄膜组件上，由此光刻时只要将焦点对准光掩模的图案，防尘薄膜组件上的异物就与转印没有关系了。防尘薄膜组件，一般，将由透光良好构成的硝酸纤维素，醋酸纤维素或者氟树脂等构成的透明的防尘膜，在由铝，钢铁，不锈钢，工程塑料等构成的防尘薄膜组件框架的上端面上贴附或进行接着形成。然后，在尘薄膜组件框架的下端，设置为了在光掩模上进行安装的，由聚丁烯树脂，聚醋酸乙烯基树脂，丙烯酸树脂，有机硅树脂等构成的粘着层以及以对该粘着层的保护为目的离型层(分离片)。另一方面，将这样的防尘薄膜组件，特别是边长为超过500mm的大型的防尘薄膜组件进行收纳的防尘薄膜组件收纳容器，由载置所述防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在该本体的周缘部嵌合密闭的盖体而构成。这些部件，由厚度2～8mm程度的树脂板真空成形或者冲压成形而制作，使用该制法的场合，大型的也可以一体成形，所以具有内部发尘源少，生产效率高以及成本低的优点。防尘薄膜组件收纳容器本体，为了易于发现附着的异物，以黑色为好，
再者盖体，为了易于观察内部收纳的防尘薄膜组件，以透明或者有色半透明为好(专利文献1参照)。从这样的观点，在几乎所有的场合，收纳容器本体为黑色的ABS树脂，盖体为透明或半透明的ABS树脂或者PMMA树脂。但是，这样的树脂具有可燃性，特别是收纳边长超过500mm大型防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器的场合，可燃物的体积以及重量相当大。例如，800x920mm掩模用的防尘薄膜组件收纳容器，其重量为10kg/个，1220x1400mm掩模用的防尘薄膜组件收纳容器，其重量为25kg/个，所以将这些防尘薄膜组件收纳容器放在一处进行大量保管的场合，具有安全性问题。因此，作为这一问题的对策，可以用具有难燃性的材料，例如使用金属以及难燃性树脂。但是，金属的场合，即使盖体使用铝合金等的轻量材料，在用人工进行开闭时，也是很重的，有操作上负担大的问题。另一方面，难燃性的树脂材料的场合，其材料可以例举PAN，PVC等，但是，这些材料，在购买时尺寸制约多，再者，不易加热成形之物多，有难以使用的问题。从这样的观点，为了确保难燃性，在大型的防尘薄膜组件收纳容器的材料常用在PMMA，ABS材料中添加难燃剂一种好的方法。作为添加的难燃剂，可以例举溴系化合物，磷系化合物，锑化合物，金属氢氧化物等，此外也可例举有机硅系化合物等，其中，在PMMA，ABS的树脂中加入溴系化合物优良。但是，在使用添加了难燃剂防尘薄膜组件收纳容器的材料树脂的场合，如果在太阳光，特别紫外线存在的环境中将防尘薄膜组件收纳容器进行保管的话，紫外线会使难燃剂分解，老化，使在收纳容器内部收纳的防尘薄膜组件被污染(浑浊)，原材料树脂的老化也会加快，防尘薄膜组件收纳容器的外观会变差。专利文献【专利文献1】日本特开2001－100394本专利技术就是鉴于上述的问题而成的，本专利技术的目的，是提供一种作为防尘薄膜组件收纳容器的材料使用了添加难燃剂的树脂的场合，紫外线不会使难燃剂以及树脂老化，由此可以使收纳的防尘薄膜组件可以长期保持清洁的防尘薄膜组件收纳容器。
技术实现思路
本专利技术是一种将至少一个边长为超过500mm的防尘薄膜组件进行
收纳的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于：该收纳容器由载置防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在该本体的周缘部嵌合而密闭的盖体构成，至少盖体为由真空成形或者冲压成形的树脂制成，该树脂材料，含有难燃剂以及黑色化材料，不透明且为黑色。再者，本专利技术中，优选黑色化材料的含量为树脂材料的重量比0.5％～3％，难燃剂的含量为树脂材料的重量比5％～25％。该难燃剂优选溴系化合物，树脂材料优选ABS树脂。根据本专利技术，可以将防尘薄膜组件收纳容器的材料中添加的难燃剂由于紫外线造成的老化限制在最小限度，由此可以使收纳的防尘薄膜组件的清洁度长期保持。附图说明图1为本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器的概要平面图。图2为本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器的图1的AA线的截面图。图3为本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器的图1的BB线的截面图。图4为将本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器的盖体卸下后的平面图。图5为本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器的斜视图。具体实施方式以下，对本专利技术的一实施方式参照附图进行详细说明，但是本专利技术并不限于此。本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器10收纳至少一个边长超过500mm的防尘薄膜组件，由防尘薄膜组件收纳容器本体11和盖体12构成。防尘薄膜组件收纳容器本体11载置防尘薄膜组件20，盖体12在防尘薄膜组件收纳容器11的周缘部嵌合，密闭，将防尘薄膜组件20从外部的灰尘保护起来。再者，防尘薄膜组件收纳容器本体11上载置的防尘薄膜组件20，通过由在框架侧面设置的非贯通的孔(未图示)中插入的针13和对该针进行支持的针支持装置14构成的固定装置，被在防尘薄膜组件收纳容器本体11上固定。防尘薄膜组件收纳容器本体11以及盖体12，为厚度2～8mm的含有难燃剂的树脂板进行真空成形或者冲压成形而制作的，其品质，成本以及难燃性良好。再者，优选在所述防尘薄膜组件收纳容器本体11以及盖体12添加导电物质以及进行表面涂布，使其具有带电防止功能，异物附着减少。在本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器10中，至少盖体12其材料树脂中添加难燃剂的同时，为不透明的黑色。通常的盖体为由透明或者半透明的树
脂材料构成。盖体12不透明且为黑色，可以防止紫外线侵入树脂材料内部。因此，就可以防止防尘薄膜组件收纳容器10的构成树脂，特别是表面近傍的树脂中的难燃剂老化，难燃剂的老化造成的气体状物质的发生被抑制，由此，防尘薄膜组件收纳容器内部以及收纳的防尘薄膜组件就不会被污染。本专利技术中，为了使树脂材料为不透明且为黑色，使碳黑等的黑色化材料含在树脂材料中，其含量为树脂的重量比0.5％～3％，如0.5％未满，黑色的程度浅，不充分；但是如超过3％添加效果也不发生变化。作为黑色化材料，除了碳黑之外，还可以例举二氧化钛，四氧化三铁等。作为防尘薄膜组件收纳容器10中使用的树脂材料有各种各样，但是特别以ABS树脂为优选。其原因为，在其刚性以及成形性等均衡性良好之外，由于对紫外线的吸收程度大，由此会使到达材料内部的紫外线进一步减少，从而也会使含有的难燃剂的老化被抑制。再者，黑色，会防止因ABS树脂本身的变黄，退色等的外观上的老化也可以被防止，从而进一步变好。另一方面，在防尘薄膜组本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防尘薄膜组件收纳容器，其收纳至少一个边长超过500mm的防尘薄膜组件，其特征在于：其由所述载置防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在该收纳容器本体周缘部嵌合而密闭的盖体构成，至少所述盖体为真空成形或者冲压成形的树脂材料制造，所述树脂材料，含有难燃剂以及黑色化材料，不透明且为黑色。

【技术特征摘要】
2015.02.24 JP 2015-0335541.一种防尘薄膜组件收纳容器，其收纳至少一个边长超过500mm的防尘薄膜组件，其特征在于：其由所述载置防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在该收纳容器本体周缘部嵌合而密闭的盖体构成，至少所述盖体为真空成形或者冲压成形的树脂材料制造，所述树脂材料，含有难燃剂以及黑色化材料，不透明且为黑色。2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：关原一敏，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP