【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，具体涉及一种自动光掩膜板搬送系统。
技术介绍
1、在全自动化半导体制造工厂中，晶圆传送盒以自动物料搬送系统(automatedmaterial handling system，amhs)轨道天车为载体，实现在设备与设备之间的自动化搬运。
2、在半导体制造过程中，光刻作为核心关键步骤贯穿在整个制造流程中，而光刻机在半导体设备中，价格高昂。光刻机与其它制程设备的差异在于：光刻机主体由曝光显影设备与光刻设备两部分组成，曝光显影设备与amhs轨道连接传递晶圆，而光刻的重要部分光掩膜板，则是在光刻设备间传递。
3、自动光掩模版搬送系统(automated reticle handling system，arhs)，用于提升光掩模版的传递效率。arhs具有轨道，arhs轨道穿行在光刻设备之间，传递光掩膜板。
4、然而，现有arhs传递光掩膜板传递效率，仍与有待提升。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的问题是：如何提升arhs传递光掩膜板的传递效率。
2、为解决上述问题，本专利技术实施例提供了一种自动光掩模版搬送系统，包括：搬送轨道，以及可沿所述搬送轨道运动的搬运装置；其中：
3、所述搬送轨道包括：第一主轨道，以及与所述第一主轨道连接的第一分支轨道及第二分支轨道；所述第一分支轨道的进口及出口均与所述第一主轨道连接，形成闭环；所述第二分支轨道的进口与所述第一主轨道连接；
4、所述搬运装置，通过所述第一主
5、所述第一接入口方向与所述第二接入口方向不同。
6、可选地，所述第二分支轨道的出口与所述第一主轨道连接。
7、可选地，沿所述第一主轨道的轨道方向上，所述第二分支轨道，与在前的任一第一分支轨道连接。
8、可选地，沿所述第一主轨道的轨道方向上，所述第二分支轨道，与在前且距离最近的第一分支轨道连接。
9、可选地，还包括：第二主轨道；所述第二主轨道的轨道方向与所述第一主轨道的轨道方向相反；所述第二分支轨道的出口与所述第二主轨道连接。
10、可选地，所述第一分支轨道包括：第一轨道部、第二轨道部及第三轨道部；
11、其中，所述第一轨道部及第三轨道部，一端与所述第一主轨道连接，另一端与所述第二主轨道连接；所述搬运装置在所述第二轨道部上向所述第一光刻设备放置光掩膜板；所述第二轨道部连接所述第一轨道部及第三轨道部。
12、可选地，所述第二轨道部与所述第一主轨道及第二主轨道平行，且与所述第二主轨道具有同一轨道方向。
13、可选地，所述第一轨道部及第三轨道部的轨道方向相反。
14、可选地，所述第一分支轨道、第二分支轨道，与所述第二主轨道可拆卸连接。
15、可选地，所述第一分支轨道、第二分支轨道，与所述第一主轨道可拆卸连接。
16、与现有技术相比，本专利技术实施例的技术方案具有以下优点：
17、应用本专利技术的方案，通过设置第一分支轨道，且所述第一分支轨道的进口及出口均与所述第一主轨道连接，形成闭环，通过所述第一主轨道及第一分支轨道，可以向具有第一接入口方向的第一光刻设备传递光掩膜板，相对于将第一分支轨道作为主轨道，在向第一光刻设备传递光掩膜板时，搬运装置在一个第一分支轨道上运动即可，无需经过各分支轨道，由此可以减少搬运装置所经过的弯轨数量，提高光掩膜板的传递效率。
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1.一种自动光掩模版搬送系统，其特征在于，包括：搬送轨道，以及可沿所述搬送轨道运动的搬运装置；其中：
2.如权利要求1所述的自动光掩模版搬送系统，其特征在于，所述第二分支轨道的出口与所述第一主轨道连接。
3.如权利要求1所述的自动光掩模版搬送系统，其特征在于，沿所述第一主轨道的轨道方向上，所述第二分支轨道，与在前的任一第一分支轨道连接。
4.如权利要求1所述的自动光掩模版搬送系统，其特征在于，沿所述第一主轨道的轨道方向上，所述第二分支轨道，与在前且距离最近的第一分支轨道连接。
5.如权利要求1所述的自动光掩模版搬送系统，其特征在于，还包括：第二主轨道；所述第二主轨道的轨道方向与所述第一主轨道的轨道方向相反；所述第二分支轨道的出口与所述第二主轨道连接。
6.如权利要求5所述的自动光掩模版搬送系统，其特征在于，所述第一分支轨道包括：第一轨道部、第二轨道部及第三轨道部；
7.如权利要求6所述的自动光掩模版搬送系统，其特征在于，所述第二轨道部与所述第一主轨道及第二主轨道平行，且与所述第二主轨道具有同一轨道方向。>
8.如权利要求6所述的自动光掩模版搬送系统，其特征在于，所述第一轨道部及第三轨道部的轨道方向相反。
9.如权利要求6所述的自动光掩模版搬送系统，其特征在于，所述第一分支轨道、第二分支轨道，与所述第二主轨道可拆卸连接。
10.如权利要求1所述的自动光掩模版搬送系统，其特征在于，所述第一分支轨道、第二分支轨道，与所述第一主轨道可拆卸连接。
...【技术特征摘要】
1.一种自动光掩模版搬送系统，其特征在于，包括：搬送轨道，以及可沿所述搬送轨道运动的搬运装置；其中：
2.如权利要求1所述的自动光掩模版搬送系统，其特征在于，所述第二分支轨道的出口与所述第一主轨道连接。
3.如权利要求1所述的自动光掩模版搬送系统，其特征在于，沿所述第一主轨道的轨道方向上，所述第二分支轨道，与在前的任一第一分支轨道连接。
4.如权利要求1所述的自动光掩模版搬送系统，其特征在于，沿所述第一主轨道的轨道方向上，所述第二分支轨道，与在前且距离最近的第一分支轨道连接。
5.如权利要求1所述的自动光掩模版搬送系统，其特征在于，还包括：第二主轨道；所述第二主轨道的轨道方向与所述第一主轨道的轨道方向相反；所述第二分支轨道的出...
【专利技术属性】
技术研发人员：高小妍，周毅仲，孙俊丽，房小飞，李晓杰，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：发明
国别省市：
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