大型护罩的收纳方法技术

本发明专利技术提供一种大型护罩的收纳方法，该方法包括将面积在1000cm2以上的大型护罩收纳在由托盘和盖子构成的箱体中的过程，所述大型护罩包括框架、粘合在该框架的上缘面上的护罩膜、涂在该框架的下缘面的粘结材料、以及用于保护该粘结材料而粘附于该框架的下面的保护膜，所述收纳方法的特征在于，所述大型护罩的保护膜的外周缘的一部分或全部向外侧突出并形成余边，并且，利用胶带将该余边固定在所述托盘上，由此将大型护罩收纳在箱体内。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及大型护罩^ )的收纳方法及其收纳结构体，所述收纳方法可以将护罩膜的面积在IOOOcm2以上的大型护罩以稳定的状态收纳在由托盘和盖子构成的箱体中，所述大型护罩用于防止在制造构成LSI、液晶显示器(LCD)的薄膜晶体管(TFT)和滤色器(CF)等时的光刻工序中所使用的光掩模或标线片上附着异物。
技术介绍
在以往制造半导体电路图案等过程中，正如在后述专利文献I中记载的那样，通 常采用称为护罩的防尘措施来防止异物附着在光掩模或标线片上。护罩的结构如下在具有与光掩模或标线片的形状相匹配的形状的数微米厚的框架的上缘面上铺展并粘合有厚度为10 μ m以下的硝化纤维素或纤维素衍生物或者含氟聚合物等透明高分子膜(以下称为护罩膜)，并且，在该框架的下缘面涂有粘结材料，并在该粘结材料上以规定的粘合力粘附有保护膜。上述粘结材料用于将护罩固着在光掩模或标线片上，而且，为了使该粘结材料的粘合力能够保持到该粘结材料用于这一用途，使用保护膜来保护该粘结材料的粘合面。在将该护罩从制造者运送至使用者的过程中，为了防止异物附着在护罩膜等上或者防止护罩损伤，通常将该护罩收纳在由托盘和盖子构成的箱体中，进而将该箱体装在防尘袋等中进行运送。将作为本专利技术的对象的面积在IOOOcm2以上的大型护罩收纳起来的由托盘和盖子构成的箱体通常采用真空成型法成型，并且，过去通过在将大型护罩放置在托盘上后盖上盖子来将大型护罩收纳在箱体中。在制造上述箱体时，要有计划地设计制造，以使收纳在箱体内的大型护罩的框架与盖子之间的间隔在Omm以上且小于1mm，在该间隔部分，盖子压住大型护罩，从而防止了运输中等的振动导致大型护罩在箱体内移动而产生摩擦或灰尘。可是，对于收纳面积在IOOOcm2以上的护罩的大型箱体，存在如下问题。S卩，在大型箱体中，由于存在护罩和箱体的间隙问题，或者存在箱体难以满足平整性的要求等问题，导致大型护罩的四周与箱体的盖子之间的间隔不能准确地控制在Omm以上且小于Imm的范围，因此，在维持满足现有设计思想的成型精度的条件下，难以制造出大型箱体。因此，在将大型护罩收纳在以现有设计思想制造的大型箱体中时，在大型护罩与盖子间的间隔为Omm以致盖子与大型护罩接触时，盖子压住大型护罩的框架，因而在运送大型护罩时等，在盖子和大型护罩的框架之间产生摩擦而出现灰尘，从而产生异物附着在大型护罩上的问题。另外，在大型护罩与盖子间的间隔为Imm以上时，不能用盖子压住大型护罩使之保持稳定，因而在运送大型护罩时，大型护罩在箱体内出现移动或振动，导致在箱体和大型护罩之间产生摩擦而出现灰尘，从而产生异物附着在大型护罩上的问题。为了解决上述诸多问题，本申请的申请人已经完成了如后述的专利文献2、专利文献3或专利文献4所述的专利技术，提出了专利申请。后述专利文献2中记载的技术是在收纳 护罩的箱体的托盘表面上突出设置立起的突出部，并且，在该突出部的侧面设有底切部，通过将护罩的保护膜插入该底切部之中来保持固定置于托盘上的护罩。另外，专利文献3中记载的技术是先将具有规定粘合力的粘结材料涂在护罩的保护膜下表面，在将护罩放置在托盘上时，通过将保护膜粘合在托盘上来将护罩保持固定在托盘上。此外，专利文献4中记载的技术是由箱体盖子的顶面悬挂棒状的挤压体，在将这种盖子盖在托盘上时，用该挤压体从上方压住放置在托盘上的护罩的保护膜，由此将护罩保持固定在托盘上。专利文献I :特公昭54-28718号公报专利文献2 :特开平11-38597号公报专利文献3 :特开平11-24238号公报专利文献4 :特开平11-52553号公报
技术实现思路
记载于上述专利文献2 专利文献4的专利技术对收纳过去常用的5英寸或6英寸这种用于半导体的护罩的箱体是极为有效的，但是，在对收纳作为本专利技术对象的护罩的面积在IOOOcm2以上的大型护罩的箱体应用这些专利技术时，存在后述的若干问题。在专利文献2的技术中，采用成本低廉且易于制造的真空成型法，在托盘表面上突出设置立起的突出部，并在该突出部的侧面设置较深的底切部，这种方法存在难以获得足够的成型精度的问题。另外，在采用注射成型法成型托盘时，虽然由于成型精度高可以进行上述成型，但在采用注射成型法来成型作为本专利技术对象的IOOOcm2以上的大型护罩时，需要极其大型的成型机，因此，成本提高且不实用，同时由于托盘尺寸非常大而出现成型变形，并且难以在突出部的侧面以高精度设置又窄又深的底切部。在专利文献3的技术中，将粘结材料涂在护罩的保护膜的下面以将保护膜粘贴在托盘的表面上，这一方法对于像半导体用护罩的箱体这种小尺寸箱体是有效的，但是，在像本专利技术这样收纳大型护罩的大型箱体中，由于成型精度可能不够，有时在托盘的放置护罩的位置出现翘曲。于是，托盘翘曲产生的变形影响到保护膜，使保护膜的一部分从粘结材料上剥离或者使粘结材料的粘合力降低，由此导致了难以将护罩均匀地贴在光掩模上的问题。在专利文献4的技术中，采用的方法是用悬挂于箱体盖子的顶面的挤压体对放置在托盘上的护罩的保护膜进行挤压以保持固定护罩。像收纳半导体护罩的箱体那样，5英寸 6英寸之类的小型箱体的情况下可以维持成型精度，但是，如上所述，在收纳作为本专利技术对象的大型护罩的大型箱体中，不仅成型精度不够且成型的箱体出现翘曲，因此，采用上述技术时，在将盖子盖在箱体上时，出现的问题是，设置于盖子一侧的挤压体难以正确且确实地压住护罩的保护膜以使该护罩保持固定。本专利技术涉及的及其收纳结构体是鉴于上述诸多问题而开发出的全新的技术，该收纳方法及其收纳结构体的特征在于，大型护罩的保护膜的外周缘的一部分或全部向外侧突出并形成余边，在将护罩放置在托盘上时，用胶带将该余边粘合在托盘表面来确实地将护罩保持固定在托盘上。本专利技术涉及的及其收纳结构体是从根本上解决上述问题的技术。本专利技术的第一方案在于，该方法包括将面积在IOOOcm2以上的大型护罩收纳在由托盘和盖子构成的箱体中的过程，所述大型护罩包括框架、粘合在该框架的上缘面上的护罩膜、涂在该框架的下缘面上的粘结材料以及用于保护该粘结材料而粘合在框架下面的保护膜，所述收纳方法的特征在于，所述大型护罩的保护膜的外周缘的一部分或全部向外侧突出并形成余边，并且，利用胶带将该余边固定在所述托盘上，从而将大型护罩收纳在箱体内。此处的护罩面积是框架的外径面积。在上述第一方案中，由于护罩的保护膜的外周缘的一部分或全部向外侧突出并形成余边，因而在将护罩放置在托盘上时，可以将突出于护罩外框的外侧的所述余边贴在托盘的表面上。并且，在本专利技术中，利用胶带使所述余边粘贴在托盘上，因此，通过极其简单的 操作就可以将护罩以稳定的状态确实地保持固定在托盘上。此外，在本专利技术中，由于采用富于柔软性的胶带将大型护罩的保护膜粘贴在托盘上，因此，即使在托盘的成型精度不充分的情况下，或者在托盘出现翘曲的情况下，也能够不受任何影响地将大型护罩正确且确实地保持固定在托盘上。本专利技术的第二方案是本专利技术的第一方案的，其中，形成的所述保护膜的余边的宽度为6mm以上、长度为20mm以上。在上述第二方案中，更优选的实施方式是所述保护膜的余边的长度为50mm以上，进一步优选的实施方式是所述长度为300mm以上。另外，在本专利技术中，大型护罩的面积在4000cm2以上时，将上述保护膜的余边的长度制成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大型护罩的收纳方法，该方法包括将面积在1000cm2以上的大型护罩收纳在由托盘和盖子构成的箱体中的过程，所述大型护罩包括框架、粘合在该框架的上缘面上的护罩膜、涂在该框架的下缘面上的粘结材料以及用于保护该粘结材料而粘附在该框架的下面的保护膜，所述收纳方法的特征在于，放置在所述箱体的托盘上的大型护罩的框架与盖在所述托盘上的盖子之间设置至少1mm以上的间隔来收纳所述大型护罩，所述大型护罩的保护膜的外周缘的一部分或全部向外侧突出并形成余边，并且，利用具有柔软性的胶带从上方将该余边固定在所述托盘上，由此将大型护罩收纳在所述箱体内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：栗山芳真，脇元一郎，
申请(专利权)人：旭化成电子材料株式会社，
类型：发明
国别省市：