光罩盒的光罩卡止具制造技术

本发明专利技术的目的在于提供一种光罩盒的光罩卡止具，该光罩盒的光罩卡止具是用于保存或搬运光罩基板的盒内的光罩卡止具，其可不接触光罩面而牢固地安置在盒内，且可防止光罩的破损或由偏移引起产生静电。本发明专利技术的光罩盒的光罩卡止具是包含混入有碳的树脂者，其设置在光罩盒的内表面的四角的各角部，从卡止具基体经由弯曲臂而具有枝部，在枝部具有上表面方向的突起部及设置在该突起部的一面的倾斜面，通过光罩的棱线以该倾斜面将光罩载置在枝部上，且该弯曲臂朝下方向挠曲而以弹力保持光罩。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是一种用以保存或搬运用于制造半导体元件或液晶显示元件等的光罩基板的盒，且是关于一种光罩盒的光罩卡止具，其可牢固地安置在盒内，并且可不接触光罩面即赋予有光罩图案的面或图案化前的表面，进而可防止光罩的破损或由偏移引起产生静电。
技术介绍
以往以来，关于半导体集成电路等的制造步骤中所使用的光罩基板，例如用以制造半导体元件或液晶显示元件等的光刻蚀步骤等中所使用的光罩基板，极其排斥基板表面的污染，而关于在保存或搬运该光罩基板时收纳其的光罩盒，使用其的主要目的在于防止在光罩基板上附着尘埃或产生伤痕等。光罩基板是微细的照相制版品，在光罩基板上附着尘埃或产生伤痕等会成为光罩的缺陷并再现于光阻上，若就这样将该光罩基板装入微电子器件中，则会破坏器件的正常功能，且因尘埃的附着而造成重大损伤，因此必须排除一切污染物，并极力防止尘埃的附着。因此，例如采用如下构成，即在光罩基板的处理上作出不接触端面以外的面等处理上的规定,或在收纳时小心地处理以免尘埃附着在光罩基板上,此外小心地收纳以免尘埃进入至光罩盒内，进而不使尘埃进入收纳后的光罩盒内。此外，在赋予有光罩图案的光罩基板上，通过框架支撑光罩护膜即以硝化纤维素为代表的光学上透明的薄膜以防止在光罩图案面上附着尘埃或产生伤痕。进而，以往的透明导电树脂有时会产生有害气体等，必须提供一种可代替其的素材，特别是可防止由带电所引起的尘埃的附着的树脂材料。考虑到导电体积电阻率这一点或防止有害气体的产生、或者长期使用等而要求使用碳。因此，通过以聚碳酸酯为主体的树脂而利用碳赋予导电性，可阻止有害气体的产生及维持导电体积电阻率的合理值(E3 9 Ω)，虽然在这一点上非常有用，但相反地碳的混入使用量变多，光罩盒特别是与光罩基板接触的卡止部变脆而导致产生微粒等。尤其关于卡止部，即便在包含高密度聚乙烯或低密度聚乙烯或者聚丙烯树脂等具有比较黏的材质的光罩盒中，也存在为了防止在与光罩基板的接触部分处产生微粒而使卡止具具有特征的光罩盒。例如，作为光罩盒的卡止具即光罩支撑体，存在日本专利特开2001-301877所示的构成者。作为该卡止具的光罩支撑体是从本体及盖体的内表面突出必要数量的保持枝部并在该部分上载置光罩基板的构件，关于该保持枝部，揭示有在干部包括具有倾斜平面的台板部的保持枝部或在干部具有帽子部的保持枝部。或者，作为用以防止与光罩基板的接触并防止光罩基板在收纳时的偏移的构成，有日本专利特开2003-222992或日本专利特开2005-321529。与日本专利特开2003-222892相关的构成是如下的光罩盒关于该卡止具使用具有倾斜面的卡止具，本体的开口部方向的卡止具以使倾斜面朝向盒中心部逐渐变低的方式设置，深侧方向的卡止具以使倾斜面朝向盒开口部方向逐渐变低的方式设置，进而盖体的开口部方向的卡止具以使倾斜面朝向盒深侧方向逐渐变低的方式而设置，盖体的深侧方向的卡止具以使倾斜面朝向盒中央部逐渐变低的方式设置，且在闭合盖体时从上下方向并且从前后左右方向按压光罩的棱线部分。此外，日本专利特开2005-321529中所示的构成是一种具有卡止具的光罩盒，其由如下光罩盒构成，该光罩盒在光罩基板的各角部方向上，具有用以分别在一个角部附近沿两个方向载置或按压光罩基板的进行卡止的卡止具，并且该卡止具包括分别适合于光罩基板的棱线面的倾斜面。日本专利特开2001-301877 日本专利特开2003-222992日本专利特开2005-321529
技术实现思路
首先，通过以聚碳酸酯为主体的树脂而利用碳赋予导电性的导电性树脂在阻止产生有害气体及耐长期使用这一点上非常有用，相反地导电体积电阻率会因碳的混入比率而产生变动，且素材本身的脆性也会产生变动。因此，要求使用具有最佳的导电体积电阻率的聚碳酸酯树脂。尤其，因至少含有碳而使素材表现出脆性，且必须防止卡止光罩基板的卡止具的破损、或防止在卡止具与光罩基板的接触部分上产生微粒、以及极力消除由此所引起的光罩基板在光罩盒内的偏移等。在此情形时，关于日本专利特开2001-301877中，将与光罩的接触部分设为帽子部或具有倾斜平面的台板部而极力减小接触面，但至少在该部分上与光罩的面接触，因而该部分的污染或产生伤痕是不可避免的。尤其有如下可能性成为以帽子部进行支撑或以具有倾斜平面的台板部从四个方向支撑，因搬运时等的冲击而导致内部的光罩摇晃，使得光罩从保持枝部偏移，从而帽子部的接触面扩大并且与各部分接触，因该部分受到磨削而产生尘埃。尤其，特别的应抑制的力是由盖体的封锁力所产生的力，而非为紧密固定地抑制者。因此，无论如何也会产生光罩基板的偏移等。其次，日本专利特开2003-222992与此不同，其是以具有倾斜面的卡止具从上下方向朝前后左右方按压光罩的棱线部分的构成，故为不接触光罩的表面部分者，因从上下方向朝前后左右方向按压，由此难以因搬运时等的冲击而使内部的光罩摇晃，此外即便产生偏移，也不会因与光罩的棱线部分的接触部分偏移而与光罩的面接触。这样无论如何也会在搬运时等产生些许偏移，无法否定伴随该偏移而在光罩的棱线部分产生粉尘的可能性。关于日本专利特开2005-321529，其包含具有在一个角部附近从两个方向进行卡止的卡止具，并且该卡止具具有分别适合于光罩基板的棱线面的倾斜面的构成，在包含高密度聚乙烯或低密度聚乙烯或者聚丙烯树脂等具有比较黏的材质的光罩盒的情形时，可紧密地按压并且可在极微细的偏移等水准下防止微粒等的产生，但相反地若为具有既硬又脆的性质的碳混入的聚碳酸酯树脂素材，则有可能产生微粒等。此外，在该构成中存在倾斜面上具有薄壁厚部的挠曲部的构成，虽然也可实现防止偏移，但在该构成中也留有产生些许偏移的可能性。因此，关于可防止产生有害气体且具有可防止带电的适当的导电体积电阻率、且耐长期使用即采用包含更高品质的素材的聚碳酸酯树脂的光罩盒的与光罩基板接触的光罩卡止具，期望提供一种可防止该光罩基板的偏移并且可防止产生粉尘的光罩盒的光罩卡止具。 如上所述，作为最佳的光罩盒，具体而言作为光罩盒的光罩卡止具，技术方案I的专利技术是包含至少混入有碳且具有10的3次方至10次方Ω左右的导电体积电阻率的树脂的光罩盒的光罩卡止具；且该卡止具包含在光罩盒的内表面的四角的各角部方向上载置应收纳的光罩的四角的卡止具，该卡止具从其卡止具基体经由弯曲臂而具有枝部，在该枝部具有上表面方向的突起部及设置在该突起部的一面的倾斜面，通过以倾斜面与载置的光罩的棱线接触而将光罩载置在枝部上，且通过该弯曲臂朝下方向挠曲而以弹力保持光罩。通过如此构成而可解决上述问题。或者，也可如技术方案2的专利技术般使用如下光罩盒的光罩卡止具弯曲臂的前端具有朝2个方向张开90度的枝部，在各枝部具有上表面方向的突起部、及设置在该突起部的一面上的倾斜面，且通过各个倾斜面分别与夹着载置的光罩的一角设置在的两边的棱线接触而将光罩载置在该枝部上。在此情形时，也可如技术方案3的专利技术般使用如下光罩盒的光罩卡止具在弯曲臂的下表面具有止动销，当弯曲臂挠曲时，通过该止动销的前端接触光罩盒的底面部或卡止具基体底部而阻止弯曲臂的进一步挠曲。代替该方案，也可为如技术方案4的专利技术般在弯曲臂的横方向上突出形成止动销，当弯曲臂挠曲时，通过该止动销的突出部分接触光罩盒的卡止具基体而阻止弯曲臂本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光罩盒的光罩卡止具，其特征在于：其是包含至少混入有碳且具有10的3次方至10次方Ω左右的导电体积电阻率的树脂的光罩盒的光罩卡止具(4)；且该卡止具(4)包含在光罩盒的内表面的四角的各角部方向上载置应收纳的光罩的四角的卡止具(4)，该卡止具(4)从其卡止具基体(40)经由弯曲臂(41)而具有枝部(42)，在该枝部(42)具有上表面方向的突起部(43)与设置在该突起部(43)的一面的倾斜面(44)，通过以倾斜面(44)与载置的光罩的棱线接触而将光罩载置在枝部(42)上，通过该弯曲臂，朝下方向挠曲而以弹力保持光罩。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：斋藤　森作，大冢　忠三郎，伊藤　好久，
申请(专利权)人：株式会社荒川树脂，日星产业株式会社，
类型：发明
国别省市：