光罩盒的光罩卡止具制造技术

本发明专利技术的目的在于提供一种光罩盒的光罩卡止具，该光罩盒的光罩卡止具是用于保存或搬运光罩基板的盒内的光罩卡止具，其可不接触光罩面而牢固地安置在盒内，且可防止光罩的破损或由偏移引起产生静电。本发明专利技术的光罩盒的光罩卡止具是包含混入有碳的树脂者，其设置在光罩盒的内表面的四角的各角部，从卡止具基体经由弯曲臂而具有枝部，在枝部具有上表面方向的突起部及设置在该突起部的一面的倾斜面，通过光罩的棱线以该倾斜面将光罩载置在枝部上，且该弯曲臂朝下方向挠曲而以弹力保持光罩。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是一种用以保存或搬运用于制造半导体元件或液晶显示元件等的光罩基板的盒，且是关于一种光罩盒的光罩卡止具，其可牢固地安置在盒内，并且可不接触光罩面即赋予有光罩图案的面或图案化前的表面，进而可防止光罩的破损或由偏移引起产生静电。
技术介绍
以往以来，关于半导体集成电路等的制造步骤中所使用的光罩基板，例如用以制造半导体元件或液晶显示元件等的光刻蚀步骤等中所使用的光罩基板，极其排斥基板表面的污染，而关于在保存或搬运该光罩基板时收纳其的光罩盒，使用其的主要目的在于防止在光罩基板上附着尘埃或产生伤痕等。光罩基板是微细的照相制版品，在光罩基板上附着尘埃或产生伤痕等会成为光罩的缺陷并再现于光阻上，若就这样将该光罩基板装入微电子器件中，则会破坏器件的正常功能，且因尘埃的附着而造成重大损伤，因此必须排除一切污染物，并极力防止尘埃的附着。因此，例如采用如下构成，即在光罩基板的处理上作出不接触端面以外的面等处理上的规定,或在收纳时小心地处理以免尘埃附着在光罩基板上,此外小心地收纳以免尘埃进入至光罩盒内，进而不使尘埃进入收纳后的光罩盒内。此外，在赋予有光罩图案的光罩基板上，通过框架支撑光罩护膜即以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光罩盒的光罩卡止具，其特征在于：其是包含至少混入有碳且具有10的3次方至10次方Ω左右的导电体积电阻率的树脂的光罩盒的光罩卡止具(4)；且该卡止具(4)包含在光罩盒的内表面的四角的各角部方向上载置应收纳的光罩的四角的卡止具(4)，该卡止具(4)从其卡止具基体(40)经由弯曲臂(41)而具有枝部(42)，在该枝部(42)具有上表面方向的突起部(43)与设置在该突起部(43)的一面的倾斜面(44)，通过以倾斜面(44)与载置的光罩的棱线接触而将光罩载置在枝部(42)上，通过该弯曲臂，朝下方向挠曲而以弹力保持光罩。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：斋藤　森作，大冢　忠三郎，伊藤　好久，
申请(专利权)人：株式会社荒川树脂，日星产业株式会社，
类型：发明
国别省市：