手动旋转式单边开合光罩盒的工具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种辅助光罩盒开合工具，尤其涉及一种手动式旋转单边开合光罩盒工具，通过旋转台面带动转动轴旋转，使固定带产生一个拉力，进而带动固定连杆在台面上趋向转动轴运动，而定位销又卡接在盖子上的卡扣，进而使得该卡扣卡接在位于底座的卡柱上，或者使得已经卡接在卡柱上的卡扣从该卡柱上松开，以实现对晶圆盒的闭合或开启动作。本实用新型专利技术公开的手动旋转式单边开合光罩盒工具，其结构简单，并且可简单有效的打开或关闭光罩盒，减少工程师处理光罩盒开合问题时遇到的操作风险和处理时间，避免光罩盒内部器件挤压产生的应力导致光罩破坏，可担当自动开光罩盒机台的备用工具。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
手动旋转式单边开合光罩盒的工具
本技术涉及一种辅助光罩盒开合的工具，尤其涉及一种手动式旋转单边开合光罩盒的工具。
技术介绍
随着电子产品朝着轻薄短小、高频、高效能方向发展，使得芯片上集成电路线径越来越轻微细化。由于芯片上集成电路线径的轻微细化成败主要在于半导体工艺中的黄光微影工艺技术，其关键设备是在于光罩；藉此，一种安全性更高的光罩盒随着其需求而出现，随着光罩盒的出现，光罩盒的打开是工程师们面临的一技术问题。 目前机台端的开合光罩盒承载装置和自动开光罩盒机台设置有两组压力传感器，光罩盒必须同时压住两边两组传感器，才能正常开启和闭合。但是在实际使用中，经常会出现各自情况导致光罩盒无法正常开启或关闭，例如:1、当出现人为从机器取光罩盒在机器闭合盖子的过程中，关闭卡闭合一边，而另一边却没有合上，导致光罩盒无法正常开启，如果强行开启会导致光罩盒破损；2、由于光罩盒内部器件脱落导致盒子关闭异常；3、自动开光罩盒机台不能正常工作，而此时需要清理光罩上颗粒。当遇到上述问题之一时，工程师都只能用手将光罩盒子打开，但是这种方式效率低下，而且工程师在打开的过程中还存在很闻的风险本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种手动旋转式单边开合光罩盒的工具，其特征在于，所述光罩盒包括底座、盒体和盖子，所述盒体固定设置于所述底座上，所述盖子上设置有卡扣，所述底座的底部设置有卡柱；所述卡扣卡接所述卡柱，以将所述盖子固定在所述盒体上；所述工具包括： 台面，表面上设置有固定顶角，所述固定顶角用于固定所述底座； 转动轴，贯穿所述台面，且所述台面与所述转动轴的转子固定连接，以使得所述台面可相对于所述转动轴的定子转动； 固定连杆，两端均卡接在一滑动轨道中，且所述固定连杆的中部还通过固定带与所述转动轴的定子固定连接； 定位销，固定设置于所述固定连杆的两端，以用于卡接所述卡扣； 其中，当所述台面相对于所述定子转动时，所述固定带带...

【技术特征摘要】
1.一种手动旋转式单边开合光罩盒的工具，其特征在于，所述光罩盒包括底座、盒体和盖子，所述盒体固定设置于所述底座上，所述盖子上设置有卡扣，所述底座的底部设置有卡柱；所述卡扣卡接所述卡柱，以将所述盖子固定在所述盒体上；所述工具包括: 台面，表面上设置有固定顶角，所述固定顶角用于固定所述底座； 转动轴，贯穿所述台面，且所述台面与所述转动轴的转子固定连接，以使得所述台面可相对于所述转动轴的定子转动； 固定连杆，两端均卡接在一滑动轨道中，且所述固定连杆的中部还通过固定带与所述转动轴的定子固定连接； 定位销，固定设置于所述固定连杆的两端，以用于卡接所述卡扣； 其中，当所述台面相对于所述定子转动时，所述固定带带动所述固定连杆运动，所述定位销与所述固定连杆同步运动并带动所述卡扣卡在所述卡柱上或者带动所述卡扣从所述卡柱上松开，以闭合或开启所述盖子。2.如权利要求1所述的工具，其特征在于，所述工具还包括: 连动轴，设置于所述固定连杆的中心，并通过所述固定带与所述连动轴的定子连接； 当所述台面相对于所述定子...

【专利技术属性】
技术研发人员：王松，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42