一种用于光配向的光罩装置及应用设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种用于光配向的光罩装置及应用设备，包括彼此部分重叠的第一光罩和第二光罩，以使得该第一光罩和第二光罩分别包括第一重叠区、第一非重叠区和第二重叠区、第二非重叠区，同时该第一重叠区、第一非重叠区、第二重叠区和第二非重叠区分别包括多个开口部；该第一重叠区开口部的高度和该第二重叠区开口部的高度分别按照三角函数平方平滑变化，且使得重叠区在相同位置处叠加后的开口部高度与第一或第二非重叠区开口部的高度相同。与现有技术相比，本发明专利技术能够消除后续工艺中带状mura缺陷，提高产品的显示质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示器的
，特别是涉及一种用于光配向的光罩装置及应用设备。
技术介绍
液晶显示器通过施加电场到其上、下显示面板的场产生电极，使得液晶层中的液晶在电场的作用下偏转方向，因此可通过控制入射到该液晶层中的偏振光实现显示图像。目前，垂直配向(VA，vertical alignment)模式的液晶显示器由于具有高对比度和宽标准视角已得到广泛研宄和应用。在液晶显示器的制作过程中，常使用摩擦配向和光配向两种方法。其中摩擦配向方法会产生静电和颗粒的污染，而光配向方法是一种非接触式的配向技术，其利用线偏振光照射在光敏感的高分子聚合物配向膜上，使得液晶层中的液晶与显示面板形成倾角。目前常用的光配向方法是UV2A(ultra v1let vertical alignment)技术，其原理是采用一定角度的紫外光(ultra v1let)通过光罩照射到阵列基板或彩膜基板的光配向膜层上，使得光配向膜层发生配向反应进而使得液晶分子以与阵列基板或彩膜基板法线成一定夹角(1-5° )排列。而用于光配向工艺的光罩尺寸通常小于市场上液晶显示器的尺寸，因此需要使用多个光罩重叠设置且同时工作本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光配向的光罩装置，其特征在于，包括：第一光罩和第二光罩；所述第一光罩包括第一重叠区和第一非重叠区；所述第二光罩包括第二重叠区和第二非重叠区；所述第一重叠区和所述第二重叠区彼此重叠；所述第一重叠区包括沿第一方向排列的多个透射的开口部；所述第一非重叠区包括沿所述第一方向排列的多个透射的开口部；所述第二重叠区包括沿所述第一方向排列的多个透射的开口部；所述第二非重叠区包括沿所述第一方向排列的多个透射的开口部；所述第一非重叠区的开口部和所述第二非重叠区域的开口部相同；所述第一重叠区的开口部的高度Y1满足Y1＝Hsin2(πX/2L)；所述第二重叠区的开口部的高度Y2满足Y2＝Hcos2(πX/2...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：韩丙，施明宏，李蒙，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44