光罩、玻璃基板及其制造方法技术

本发明专利技术提供了一种光罩，该光罩包括阻光区、透光区以及部分透光区，该部分透光区突出于阻光区边缘，以允许部分紫外线透过。本发明专利技术还提供了一种玻璃基板及其制造方法。本发明专利技术通过在阻光区的边缘设置部分透光区，使得光阻在显影后形成小角度坡面过渡，从而使得后续的蚀刻步骤中，薄膜的边缘形成小角度坡面过渡，以保证交迭于其上的次道薄膜易于形成，薄膜在爬坡处不易断裂，ITO层在过孔处不易断裂，提升产品良率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种光罩，包括阻光区和透光区，其特征在于：所述光罩还包括部分透光区，所述部分透光区突出于所述阻光区边缘，以允许部分所述紫外线透过。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：柴立，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：