光罩盒制造技术

本实用新型专利技术提供一种光罩盒，其包括一盒底以及与该盒底配合的盒盖，所述盒底的底部设有至少四个第一固定器；所述第一固定器包括支撑台阶以及自该支撑台阶向上延伸的引导部；所述引导部包括底面、自该底面一侧弯折延伸的引导面以及连接所述引导面和底面的侧面；所述至少四个第一固定器的引导面与支撑台阶围成用于收容光罩的收容腔。本实用新型专利技术的光罩盒的固定器与光罩采用面接触式，在方便光罩取放并限制光罩在光罩盒内左右移动的同时，还避免了在光罩放进及取出光罩盒时柔软的光罩薄膜面被划伤；光罩盒的盒盖及盒底均设有固定器，所述固定器的支撑台阶支撑光罩的边缘，能避免光罩的薄膜面及玻璃面因接触光罩盒顶面或底面而造成破损。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种光罩盒，其包括一盒底以及与该盒底配合的盒盖，其特征在于，所述盒底包括底部以及自该底部的侧边弯折延伸的第一侧墙；所述盒底的底部设有至少四个第一固定器；所述第一固定器包括支撑台阶以及自该支撑台阶向上延伸的引导部；所述引导部包括底面、自该底面一侧弯折延伸的引导面以及连接所述引导面和底面的侧面；所述侧面与所述盒底的第一侧墙接触；所述至少四个第一固定器的引导面与支撑台阶围成用于收容光罩的收容腔；所述盒盖包括顶部以及自该顶部的侧边弯折延伸的第二侧墙；所述盒盖的顶部设有至少四个第二固定器，所述第二固定器与所述第一固定器结构相同。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高海林，张学良，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：