光罩盒制造技术

本发明专利技术提供一种光罩盒，其中，该光罩盒上设置至少一个凸起结构和至少一个封袋，所述凸起结构用于将封袋安装在光罩盒上。所述封袋可以从光罩盒的表面延伸至光罩盒的侧壁。所述封袋可设置有内袋。封袋的材质是透明材质。所述光罩盒上可设置一个标签，该标签粘贴在封袋表面或置于封袋内。所述凸起结构可以与光罩盒一体成形。所述凸起结构可分离地安装在光罩盒上。所述凸起结构设置为一个挂钩，封袋可以悬挂在所述凸起结构上。与现有技术相比，本发明专利技术提供的光罩盒上安装有封袋，重新回收使用光罩盒时，只需更换封袋或封袋内的标签即可，有效降低了生产成本。

Photomask case

The invention provides a light shield case, wherein the photomask case is provided with at least one projection structure and at least one sealing bag for mounting the sealing bag on the light shield box. The sealing bag may extend from the surface of the photomask case to the sidewalls of the photomask case. The sealing bag can be provided with an inner bag. The bag is made of transparent material. A label is arranged on the mask box, and the label is adhered on the surface of the sealing bag or in the sealing bag. The projection structure can be integrally formed with the light shield box. The projection structure can be separately mounted on the photomask case. The convex structure is provided with a hook, and the sealing bag can be hung on the bulge structure. Compared with the prior art, a sealing bag is arranged on the photomask box provided by the invention, and when the photomask box is reused, only the labels in the sealing bag or the sealing bag can be changed, and the production cost is effectively reduced.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制程中使用的辅助产品，尤其涉及一种光罩盒。
技术介绍
请参阅图1，在制造光罩的制程中，放置光罩的光罩盒11外部经常贴有标签13，标签13上注明产品类别及其他相关事项，当该光罩盒ll用完以后，如 果再回收使用光罩盒ll，需要将原标签13撕去，重新再装入光罩，然后再贴上 新的标签。然而，由于标签13与光罩盒11的表面是通过不干胶粘合，所以很不容易 将标签13完全去除干净，会有不干胶的残留。这些残留的不干胶很容易吸附微 尘或成为污染源，污染光罩或机台。所以，目前制程，放置光罩的光罩盒ll通 常是使用一次后就被废弃。这样的方式很浪费，造成了生产成本的提高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种改进的光罩盒，其可以重复使用。 为实现上述目的，本专利技术提供一种光罩盒，其中，该光罩盒上设置至少一 个凸起结构和至少一个封袋，所述凸起结构用于将封袋安装在光罩盒上。 所述封袋可以从光罩盒的表面延伸至光罩盒的侧壁。 所述封袋可设置有内袋。 封袋的材质是透明材质。所述光罩盒上可设置一个标签，该标签粘贴在封袋表面。 所述光罩盒上可设置一个标签，该标签可置于封袋内。 所述凸起结构可以与光罩盒一体成形。 所述凸起结构可拆卸地安装在光罩盒上。所述凸起结构设置为一个挂钩，封袋可以悬桂在所述凸起结构上。所述凸起结构设置为纽扣状，封袋上对应设置一个按扣，该按扣可以与凸 起结构扣合。与现有技术相比，本专利技术提供的光罩盒上安装有封袋，重新回收使用光罩 盒时，只需更换封袋或封袋内的标签即可，有效降低了生产生本。附图说明通过以下对本专利技术的一实施例结合其附图的描述，可以进一步理解其技术的目的、具体结构特征和优点。其中，附图为 图1为现有技术光罩盒的示意图。 图2为本专利技术光罩盒的平面示意图。 图3为本专利技术光罩盒的立体示意图。具体实施例方式请参阅图2，本专利技术提供一种光罩盒1，在该光罩盒1上设置至少一个凸起 结构3,该凸起结构3可以用于悬挂封袋5，该封袋5的表面可以贴标签7，该 光罩盒l用完以后，可以直接将封袋5去掉，更换一个新的封袋5。这样，光罩 盒1就可以重复使用，只要更换悬桂在凸起结构3上的封袋5即可。请参阅图3,悬挂在凸起结构3表面的封袋5还会延伸至光罩盒1的侧壁， 用于在光罩盒l的侧壁粘贴标记9，该标记9可以是标签或者是条形码，在制程 中更为方便的识别光罩盒l。该标记9也可以装入封袋5中。在本专利技术的其他实 施例中，也可以单独在光罩盒l的侧壁上设置另一个凸起结构3，用于单独在侧 壁安装一个封袋5。在本专利技术的实施例中，该凸起结构3可以与光罩盒1 一体成形，或者可以 单独设置。采用单独设置凸起结构3可以用于改造现有的光罩盒1。该凸起结构 3可以设置为一个挂钩或者其他类似结构，只要方便封袋5可以悬挂在该凸起结 构上即可。该凸起结构3也可以设置为纽扣状，封袋5上对应设置一个按扣， 该按扣可以与凸起结构3扣合。由此可见，凸起结构5将封袋可拆卸地安装在 光罩盒1上。在本专利技术其他实施例中，封袋5可以打开或封闭，标签7也可以放置在封4袋5内。当光罩盒1 ;^丈置其他^见格的光罩时，只需更换封袋5内部的标签7即 可。封袋5的材质是透明材质，例如塑料，但不局限于塑料，也可以是其他材 质。本专利技术提供的光罩盒1上安装有封袋5，重新使用时，只需更换封袋5或封 袋5内的标签7即可，可以使光罩盒l重复使用，有效降低了生产生本。本专利技术虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本专利技术，任何本 领域技术人员在不脱离本专利技术的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改， 因此本专利技术的保护范围应当以本专利技术权利要求所界定的范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光罩盒，其特征在于：该光罩盒上设置至少一个凸起结构和至少一个封袋，所述凸起结构用于将封袋安装在光罩盒上。

【技术特征摘要】
1、一种光罩盒，其特征在于该光罩盒上设置至少一个凸起结构和至少一个封袋，所述凸起结构用于将封袋安装在光罩盒上。1、 一种光罩盒，其特征在于该光罩盒上设置至少一个凸起结构和至少一个封 袋，所述凸起结构用于将封袋安装在光罩盒上。2、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于所述封袋可以从光罩盒的表面延 伸至光罩盒的侧壁。3、 如权利要求2所述的光罩盒，4、 如权利要求3所述的光罩盒，5、 如权利要求4所述的光罩盒， 该标签粘贴在封袋表面。6、 如权利要求4所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴其颖，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]