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本实用新型提供了一种掩膜版盒，包括一个底座、盖于所述底座上的壳罩以及用以将所述底座与所述壳罩固定在一起的限制块和旋转臂，所述壳罩包括垂直于所述底座的侧壁，所述旋转臂的一端与所述侧壁旋转连接，另一端与所述限制块固定连接，所述旋转臂的旋转轴心垂...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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