图案化离子植入用的集成遮蔽光罩/载体制造技术

本发明专利技术揭示了改良的、低成本的制作基板的方法以创造太阳能电池。此外，还揭示了改良的基板载具。一般用以运载基板的载具被改良，以便来当作图案化植入的遮蔽罩幕。在一些实施例中，各种图案能够利用载具产生而出，使得可藉由改变载具或载具的位置来执行在基板上不同的制程步骤。另外，因为基板对载具的对准是重要的，所以载具可包括对准特征来确保基板能够在载具上适当地定位好。在一些实施例中，重力会被用来支撑在载具上的基板，且因此离子被引导离子以便使离子束向上朝向载具的底侧行进。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】图案化离子植入用的集成遮蔽光罩/载体
技术介绍
太阳能电池通常所使用的制作方法是与其他半导体元件相同的制程，时常利用硅来作为基板材料。半导体太阳能电池是一个具有内建电场(in-built electric field)的元件，而此内建电场是用来分离在半导体材料内经由吸收光子所产生的带电载子。此电场基本上是经由对半导体材料不同的掺杂所形成的P — η接面(二极管)所形成。利用相反极性的杂质来掺杂半导体基板的一部分(例如，表面区)可以形成P — η接面,此P — η接面可以被用来当作将光能转换至电能的光电伏打电池。图1为显示一个具有代表性的太阳能电池100的剖面图。光子101如箭头所示的穿透过上表面105进入到太阳能电池100。这些光子会通过一个抗反射涂布(Ant1-Reflective Coating, ARC) 110,此抗反射涂布110是要用来将穿透太阳能电池100的光子数量最大化且将由太阳能电池100所反射离开的光子数量最小化。从内部来看，形成太阳能电池100以便有P — η接面120。虽然其他的实作的接面可不平行于表面，但是如图所示的此P — η接面120实质上平行于太阳能电池100本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：尼可拉斯·P·T·贝特曼，凯文·M·丹尼尔斯，阿塔尔·古普塔，罗素·J·洛，班杰明·D·里欧登，罗伯特·J·米歇尔，史蒂芬·M·恩尔拉，
申请(专利权)人：瓦里安半导体设备公司，
类型：
国别省市：