传送系统技术方案

本发明专利技术提供一种传送系统。根据一个实施方式的传送系统包括机器人和控制器。所述控制器包括切换单元。所述机器人包括臂单元和底座单元，所述臂单元由以可旋转的方式彼此连接的手和多个臂形成。后端侧的臂以可围绕旋转轴旋转的方式连接至所述底座单元，并且所述手以可旋转的方式连接至前端侧的臂。所述切换单元切换圆柱坐标控制和直角坐标控制，所述圆柱坐标控制用于控制所述臂单元，以使得所述手的轨迹与从所述旋转轴放射出的线中的任何一条线重叠，并且所述直角坐标控制用于控制所述臂单元，以使得所述手的轨迹在预定的时刻与这些线都不重叠。

【技术实现步骤摘要】

本说明书所讨论的实施方式涉及一种传送系统。
技术介绍
已广泛公知的是用于传送薄片状工件(以下称作“晶片”)的传送机器人，所述薄片状工件例如是半导体晶片和液晶面板等。还已知的是在晶片的容器和晶片的加工室之间设置的本地净化室(以下称作“传送室”)中设置有该传送机器人的传送系统。如上述的容器和加工室等的区域(以下称作“中转位置”)通常被设置在这样的位置，即:使得传送机器人的旋转轴并不位于访问该中转位置的机器人手的轨迹延长线上，也就是说设置在偏移位置(参见日本专利申请特开2008-28134号公报)。传统的传送系统有进一步改进的空间，以提高传送晶片过程的吞吐量。特别地，如果所有的中转位置都设置在如上所述的偏移位置，那么传送机器人的臂部姿势的变化会更大，从而导致传送过程中吞吐量的降低。鉴于上述缺点，本文中所公开的技术的一个目的是提供一种能够提高吞吐量的传送系统。
技术实现思路
根据一个实施方式的传送系统包括机器人和控制器。所述控制器包括切换单元。所述机器人包括臂单元和底座单元，所述臂单元由以可旋转的方式彼此连接的手和多个臂形成。后端侧的臂以可围绕一旋转轴旋转的方式连接至所述底座单元，并且所述手以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传送系统，所述传送系统包括：机器人，所述机器人包括臂单元和底座单元，所述臂单元由以可旋转的方式彼此连接的手和多个臂形成，后端侧的臂以可围绕旋转轴旋转的方式连接至所述底座单元，并且所述手以可旋转的方式连接至前端侧的臂；以及控制所述机器人的运动的控制器，其中所述控制器包括切换单元，所述切换单元在预定的时刻切换圆柱坐标控制和直角坐标控制，所述圆柱坐标控制用于控制所述臂单元，以使得所述手的轨迹与从所述旋转轴放射出的线中的任何一条线重叠，并且所述直角坐标控制用于控制所述臂单元，以使得所述手的轨迹与这些线都不重叠。

【技术特征摘要】
2012.01.31 JP 2012-0187041.一种传送系统,所述传送系统包括: 机器人，所述机器人包括臂单元和底座单元，所述臂单元由以可旋转的方式彼此连接的手和多个臂形成，后端侧的臂以可围绕旋转轴旋转的方式连接至所述底座单元，并且所述手以可旋转的方式连接至前端侧的臂；以及 控制所述机器人的运动的控制器，其中 所述控制器包括切换单元，所述切换单元在预定的时刻切换圆柱坐标控制和直角坐标控制，所述圆柱坐标控制用于控制所述臂单元，以使得所述手的轨迹与从所述旋转轴放射出的线中的任何一条线重叠，并且所述直角坐标控制用于控制所述臂单元，以使得所述手的轨迹与这些线都不重叠。2.根据权利要求1所述的传送系统，其中，所述传送系统具有: 第一中转位置，所述第一中转位置是工件所处的在所述圆柱坐标控制下所述手能访问的中转位置；以及 第二中转位置，所述第二中转位置是工件所处的在所述直角坐标控制下所述手能访问的中转位置；并且 当所述手在所述第一中转位置和所述第二中转位置之间移动时，所述切换单元在所述手位于除所述第一中转装置和所述第二中转装置之外的位置的时刻，对所述圆柱坐标控制和所述直角坐标控制进行切换。3.根据权利要求2所述的传送系统，其中，当所述手在所述第一中转位置和所述第二中转位置之间移动时，所述切换单元在所述手位于与各所述中转位置相对应的待机位置的时刻，对所述圆柱坐标控制和所述直角坐标控制进行切换。4.根据权利要求2所述的传送系统，其中，当所述手在所述第一中转位置和所述第二中转位置之间移动时，所述切换单元`在所述臂单元处于基准姿势的时刻，对所述圆柱坐标控制和所述直角坐标控制进行切换。5.根据权利要求2至4中任一项所述的传送系统，其中 所述臂单元包括: 所述手； 第二臂，所述第二臂的后端连接至所述底座单元；以及 第一臂，所述第一臂的前端连接至所述手，并且 所述控制器包括选择单元，当所述手在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：古市昌稔，木村吉希，松尾智弘，草间义裕，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：