传动机构、基板定位装置和机器人制造方法及图纸

本发明专利技术涉及传动机构、基板定位装置和机器人。所述传动机构包括：驱动带轮，所述驱动带轮设置在驱动轴上并且包括具有预定的节宽的外部齿；从动带轮，所述从动带轮设置在从动轴上并且包括具有所述节宽的外部齿；以及带，所述带包括具有所述节宽的内部齿，所述内部齿与所述驱动带轮和所述从动带轮的所述外部齿啮合。此外，所述带包括具有周期性变化特征的子带，在所述周期性变化特征中，所述节宽周期性地变化，并且这些子带被设置在其周期性变化特征的相位彼此移位的状态。

【技术实现步骤摘要】

本文所公开的实施方式涉及传动机构、基板定位装置和机器人。
技术介绍
常规地，已知一种传动机构，该传动机构包括马达、带和带轮等，以在两个平行轴之间传递马达的旋转。传动机构被使用在对准装置等中，当诸如晶片的基板在形成于所谓的局部清洁装置(例如，设备前端模块(EFEM))中的空间中由机器人搬运时，所述对准装置等执行该基板的定位。在下文中，对准装置被描述为“基板定位装置”。具体地，基板定位装置构造成使得，第一带轮被固定到马达的输出轴，第二带轮被固定到供安装基板的台的支承轴上，并且带围绕所述第一带轮和第二带轮缠绕。因此，基板定位装置通过基于马达的运动来移动所述台而执行基板的定位(例如，参见日本专利特开第2004 - 200643号公报)。此外，由橡胶制成的齿形带通常被用作所述带。然而，在使用齿形带的常规传动机构中，马达的旋转可能不被精确地传递。这是因为齿形带的齿节之间的宽度(在下文中，被称为“齿节宽”)可能因成形时的误差而变化。在基板定位装置以及通过使用所述传动机构来驱动臂的机器人中都能够以相同的方式出现这种问题。
技术实现思路
鉴于上述，提供一种传动机构、基板定位装置和机器人，所述传动机构、基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传动机构，所述传动机构包括：驱动带轮，所述驱动带轮设置在驱动轴上并且包括具有预定的节宽的外部齿；从动带轮，所述从动带轮设置在从动轴上并且包括具有所述节宽的外部齿；以及带，所述带包括具有所述节宽的内部齿，所述内部齿与所述驱动带轮和所述从动带轮的所述外部齿啮合；其中，所述带包括具有周期性变化特征的子带，在所述周期性变化特征中，所述节宽周期性地变化，并且这些子带被设置在其周期性变化特征的相位彼此移位的状态。

【技术特征摘要】
2012.01.30 JP 2012-0168711.一种传动机构,所述传动机构包括: 驱动带轮，所述驱动带轮设置在驱动轴上并且包括具有预定的节宽的外部齿； 从动带轮，所述从动带轮设置在从动轴上并且包括具有所述节宽的外部齿；以及带，所述带包括具有所述节宽的内部齿，所述内部齿与所述驱动带轮和所述从动带轮的所述外部齿哨合； 其中，所述带包括具有周期性变化特征的子带，在所述周期性变化特征中，所述节宽周期性地变化，并且这些子带被设置在其周期性变化特征的相位彼此移位的状态。2.根据权利要求1所述的传动机构，其中，所述子带的数量是n，并且这些子带之间的相移是360/n度。3.根据权利要求2所述的传动机构，其中，所述子带的数量是2，并且这些子带之...

【专利技术属性】
技术研发人员：古市昌稔，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：