机器人手和机器人制造技术

本发明专利技术涉及一种机器人手和机器人。根据实施方式的机器人手包括：保持单元、基端部、光学传感器以及反射构件。所述保持单元保持薄板状工件。在所述基端部中，该基端部的前端部分联接到所述保持单元，并且该基端部的末端部分以可旋转的方式联接到臂。所述光学传感器设置在所述基端部中，并且具有投光器和受光器。所述反射构件设置在所述保持单元中。所述反射构件反射来自所述投光器的光，使得所述光穿过工件的保持区域，并且使得所述光到达所述受光器，从而形成光路。

【技术实现步骤摘要】

本文所讨论的实施方式涉及机器人手和机器人。
技术介绍
已知存在一种传统的机器人，该机器人在形成于所谓EFEM (设备前端模块)的局部清洁机器内的空间中，将诸如晶片的基板搬入和搬出用于半导体制造过程的过程处理设备。机器人一般包括臂和设置在臂的前端处的机器人手。机器人通过在使用机器人手保持基板的同时沿水平方向等致动臂而搬入和搬出基板。这里，例如通过由放置在机器人手的前端上的对置投光器和受光器形成的光轴是否被基板遮挡，来检测在搬入/搬出期间基板是否存在于机器人手上。例如该技术已知如在日本特开专利公报N0.2004-119554中公开。同时，半导体制造过程通常包括诸如膜形成处理的热处理过程。为此，机器人在许多情况下搬运因热处理过程而变热的基板。然而，当采用机器人手时，存在当机器人手搬运变热的基板时，投光器和受光器受基板的辐射热的影响并因此不能检测基板的存在与否的可能。鉴于上述问题获得实施方式的一方面，并且实施方式的目的在于提供一种即使基板非常热也能够确保检测到该基板的机器人手和机器人。
技术实现思路
根据实施方式的一方面的机器人手包括:保持单元、基端部、光学传感器以及反射构件。所述保持单元保本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机器人手，该机器人手包括：保持单元，该保持单元保持薄板状的工件；基端部，该基端部的前端部分联接到所述保持单元，并且该基端部的末端部分以可旋转的方式联接到臂；光学传感器，该光学传感器设置在所述基端部中，并且包括投光器和受光器；以及设置在所述保持单元中的反射构件，该反射构件反射来自所述投光器的光，使得所述光穿过所述工件的保持区域，并且使得所述光到达所述受光器，从而形成光路。

【技术特征摘要】
2012.01.26 JP 2012-0143871.一种机器人手，该机器人手包括: 保持单元，该保持单元保持薄板状的工件； 基端部，该基端部的前端部分联接到所述保持单元，并且该基端部的末端部分以可旋转的方式联接到臂； 光学传感器，该光学传感器设置在所述基端部中，并且包括投光器和受光器；以及 设置在所述保持单元中的反射构件，该反射构件反射来自所述投光器的光，使得所述光穿过所述工件的保持区域，并且使得所述光到达所述受光器，从而形成光路。2.根据权利要求1所述的机器人手，其中，所述反射构件被设置为形成所述光路，在该光路中，来自所述投光器的所述光从所述工件的侧面入射。3.根据权利要求1或2所述的机器人手，其中，所述反射构件包括具有耐热性的材料。4.根据权利要求1或2所述的机器人手，其中， 所述保持单元包括多个突起部，这些突起部与所述工件接触以保持该工件，并且 这些突起部中的至少两个突起部设置有所述反射构件。5.根据权利要求1或2所述的机器人手，其中，所述反射构件被设置为使得:穿过所述工件的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：安藤隆治，日野一纪，古谷彰浩，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：