晶圆传输校准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的晶圆传输校准装置，包括一与晶圆相同大小的检测圆盘、LED显示板、电路板、光电转换器、若干光信号发光体以及若干光纤，所述LED显示板和所述光电转换器分别与所述电路板连接，所述光信号发光体设置于所述检测圆盘上由晶圆夹持机构夹持的部位，每种晶圆夹持机构对应一个LED显示板，所述光纤设置于所述检测圆盘上，且所述光纤在所述光信号发光体位置设有采光口，且所述光纤分别连接至所述光电转换器。本实用新型专利技术不但使用方便、便捷，而且能够保证传输准确性，使得机械臂、晶圆夹持器和工艺载盘在对晶圆实现准备传输，从而确保工艺的稳定性，提高产品良率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

Wafer transmission calibration device

Wafer transfer calibration device provided by the utility model comprises a wafer with the same size detection disc, LED display board, circuit board, photoelectric converter, Wakamatsu Hikaru signal emitter and a plurality of optical fibers, the LED display board and the photoelectric converter are respectively connected with the circuit board, the signal light illuminant is arranged in the the detection of the disc by wafer clamping mechanism for clamping parts, each wafer clamping mechanism corresponds to a LED display panel, the optical fiber is arranged on the detection of the disc, and the optical fiber in the optical signal emitting body position with light, and the optical fiber are respectively connected to the photoelectric converter. The utility model has the advantages of convenient use, convenient, and can ensure the transmission accuracy of the manipulator, the wafer holder and the process of implementation for wafer loading disk in transmission, so as to ensure the stability of the process, improve product yield.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶圆传输校准装置。
技术介绍
在半导体的生产工艺中，经常需要对晶圆进行传输。例如，在离子注入设备进行离子注入时，是将晶圆盒(cassette)内的若干片晶圆轮流传输至离子注入工艺载盘(disk)上进行离子注入的。在晶圆盒和工艺载盘之间的晶圆传输过程的准确性显得十分重要的，如果出现偏差或出现掉片现象，会造成很大的经济损失。请参阅图1至图3，在整个传输过程需要使用晶圆夹持机构实现晶圆的传输和固定，例如需要机械臂(arm)与晶圆夹持器(wafer holder)实现晶圆在晶圆盒(cassette)与离子注入工艺载盘(disk)之间的传输。具体传输过程如下:首先，使用机械臂7从晶圆盒中夹取一片待处理的晶圆1，然后将该待处理的晶圆I交接至晶圆夹持器8上；接着，使用机械臂7从离子注入工艺载盘9上夹取已经处理完成的晶圆1，并将其放回晶圆盒；最后，晶圆夹持器8将待处理晶圆I交接至离子注入工艺载盘9上进行工艺处理，如此形成循环。其中，如图1所示，机械臂7有3个卡盘12，其有四个工作位置；如图2所示，晶圆夹持器8有4个卡盘12，其有3个工作位置；如图3所示，工艺载盘9有三个卡盘12，其只有一个工作位置。三个部件相互作用对晶圆I进行交替传接，位置的要求需要十分精确。然而，由于晶圆I上述传输过程中，是在真空环境下的离子设备内进行，外部很难对晶圆的位置进行控制。目前，对晶圆I的校准方法是，每半年进行一次全方位的校准，或者是在晶圆I传输过程中出现掉片的时候对其进行全方位的校准。晶圆I校准一般是由资深设备工程师在传输过程中，观察机械臂7、晶圆夹持器8和工艺载盘9对晶圆I进行传送时的具体位置。并且，传送晶圆I的时候，还要对两个动作交接时候的位置变化进行确认和观察，如果发生很大问题，应及时更改位置。调节位置的方法为，先通过软件进行微小调节，当位置变化差距很大的情况下，就应该对硬件的位置进行实质性的调节，再经过晶圆I传输进行观察确认。另外，在传送进行位置校准时，通常使用钢制圆片进行，防止在晶圆掉落后不受到影响。上述方法的缺点在于，无法能够准确的证明具体位置，只能靠经验和手法来判断，无法使得每一位工程师都可以进行准确的校准操作。因此，如何提供一种使用方便、并能够保证传输准确性的、高效的的晶圆传输校准装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆传输校准装置，不但使用方便、便捷，而且能够保证传输准确性，使得机械臂、晶圆夹持器和工艺载盘在对晶圆实现准备传输，从而确保工艺的稳定性，提闻广品良率。为了达到上述的目的，本技术采用如下技术方案:—种晶圆传输校准装置,包括一与晶圆相同大小的检测圆盘、LED显不板、电路板、光电转换器、若干光信号发光体以及若干光纤，所述LED显不板和所述光电转换器分别与所述电路板连接，所述光信号发光体设置于所述检测圆盘上由晶圆夹持机构夹持的部位，每种晶圆夹持机构对应一个LED显示板，所述光纤设置于所述检测圆盘上，且所述光纤在所述光信号发光体位置设有采光口，且所述光纤分别连接至所述光电转换器。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，还包括一控制面板，所述LED显示板、电路板以及光电转换器集成于所述控制面板内。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，所述控制面板设置于所述检测圆盘的中心部位。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，还包括一电源，所述电源与所述电路板连接。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，所述电源设置于所述检测圆盘内。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，所述晶圆夹持机构包括机械臂、晶圆夹持器夹持、工艺载盘中的一种或多种。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，所述晶圆夹持机构通过三个或四个卡盘夹持所述检测圆盘。优选的，在上述的晶圆传输校准装置中，所述光电转换器为光电耦合器。本技术提供的晶圆传输校准装置，包括一与晶圆相同大小的检测圆盘、LED显不板、电路板、光电转换器、若干光信号发光体以及若干光纤，所述LED显不板和所述光电转换器分别与所述电路板连接，所述光信号发光体设置于所述检测圆盘上由晶圆夹持机构夹持的部位，每种晶圆夹持机构对应一个LED显示板，所述光纤设置于所述检测圆盘上，且所述光纤在所述光信号发光体位置设有采光口，且所述光纤分别连接至所述光电转换器。若光信号发光体被晶圆夹持机构(例如是机械臂或工艺载盘或晶圆夹持器)的卡盘挡住，对应光纤不能接收到光信号，从而使得光电转换器接收不到光信号，光电转换器会将该信息传输给电路板，电路板会触动LED显示板发出光来，从而告知在外面进行操作的设备工程师检测圆盘(相当于晶圆)的传输位置是正确的，如果光纤不能接收到光信号，使得光电转换器接收到光信号，光电转换器会将该信息传输给电路板，电路板会触动LED显示板不发光，从而告知在外面进行操作的设备工程师该检测圆盘(相当于晶圆)的传输位置是错误的，需要调整。由此可见，本技术不但使用方便、便捷，而且能够保证传输准确性，使得机械臂、晶圆夹持器和工艺载盘在对晶圆实现准备传输，从而确保工艺的稳定性，提闻广品良率。附图说明本技术的晶圆传输校准装置由以下的实施例及附图给出。图1是机械臂夹持晶圆的结构示意图；图2是晶圆夹持器夹持晶圆的结构示意图；图3是工艺载盘夹持晶圆的结构示意图；图4是本技术的晶圆传输校准装置的结构示意图；图5是本技术的晶圆传输校准装置的光纤分布示意图；图6是本技术的晶圆传输校准装置的电路示意图；图中，1-晶圆或检测圆盘，2-LED显示板，3_电路板，4_光电转换器，5_光信号发光体，6-光纤，7-机械臂，8-晶圆夹持器，9-工艺载盘，10-控制面板，11-电源，12-卡盘。具体实施方式以下将对本技术的晶圆传输校准装置作进一步的详细描述。下面将参照附图对本技术进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术而仍然实现本技术的有益效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本技术的目的、特征更明显易懂，以下结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参阅图4飞，其中，图4是本技术的晶圆传输校准装置的结构示意图；图5是本技术的晶圆传输校准装置的光纤分布示意图；图6是本技术的晶圆传输校准装置的电路示意图。这种晶圆传输校准装置，包括一与晶圆相同大小的检测圆盘1、LED显不板2、电路板3、光电转换器4、若干光信号发光体5以及若干光纤6, LED显不板2和光电转换器4分别与所述电路板3连接，所述光信号发光体5设置于所述检测圆盘本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆传输校准装置，其特征在于，包括一与晶圆相同大小的检测圆盘、LED显示板、电路板、光电转换器、若干光信号发光体以及若干光纤，所述LED显示板和所述光电转换器分别与所述电路板连接，所述光信号发光体设置于所述检测圆盘上由晶圆夹持机构夹持的部位，每种晶圆夹持机构对应一个LED显示板，所述光纤设置于所述检测圆盘上，且所述光纤在所述光信号发光体位置设有采光口，且所述光纤分别连接至所述光电转换器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许鹖，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：