【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种机械搬运装置，特别是关于一种适用于取送薄型基片的硅片传送 装直。
技术介绍
目前在半导体硅片制造行业中，为了方便在硅片上集成所需信息，往往会在圆形硅片的边缘设置一定位槽，以标明硅片的方向，并在相对定位槽的固定位置刻有该硅片的相应信息(可以是数字符号、一维条码、二维码等)，方便多次集成电路加工的重复定位和信息读取。而且由于受到加工环境和组装过程的影响，通常需要将硅片在各工艺设备中高速、准确、洁净且绝对安全的反复传送，因此必须要用高性能的专用机械手来完成。现在使用最多的是一种三折臂形式的机械手，该类机械手采用主臂、副臂和手腕三个关节结构连接机械手叉，其结构复杂且体积大，在运动过程中易产生机械颗粒对硅片造成二次污染。还有一种是目前新开发的单臂单叉形式的机械手，这种机械手虽然能够避免关节的复杂性，但是它同三折臂形式的机械手存在一样的缺陷是:它们都仅仅只能对硅片进行简单的搬运操作，并不能根据硅片上 设置的定位槽或定位边对硅片进行整理。这样，就势必增加了后续硅片加工过程的工作量。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术的目的是提供一种工作效率高，工作过程稳定可...
【技术保护点】
一种硅片传送装置，其特征在于：它包括水平驱动机构，垂直驱动机构、旋转驱动机构、机械手叉、预对准机构和控制系统；所述水平驱动机构包括一机架，所述机架上设置有水平滑轨；所述机架的一侧连接一水平驱动电机，所述水平驱动电机通过一水平丝杠连接一移动架，所述移动架滑设在所述水平滑轨上，且所述移动架的两侧分别设置一竖直滑轨；所述垂直驱动机构包括设置在所述移动架底部的一垂直驱动电机，所述垂直驱动电机通过一垂直丝杠连接一升降架，所述升降架的两侧滑设在两所述竖直滑轨上；所述升降架上固定连接一承载架，所述承载架的上端连接一中空的外机械臂；所述旋转驱动机构包括一旋转驱动电机，所述旋转驱动电机的输出...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈百捷，姚广军，刘影，蒋俊海，刘学辉，赵力行，
申请(专利权)人：北京自动化技术研究院，
类型：发明
国别省市：
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