用于PECVD设备的硅片自动上下料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，在机架上转动安装有机械手，在机械手上安装有吸盘，在机械手外侧的机架上安装有第一硅片盒输送机构、第一升降平台机构、导向机构、第一出片搬运机构、第一储料机构、第一运输机构、第一小车定位机构、第一石墨舟定位机构与第一搬运小车，在机架上内侧位置安装有第二硅片盒输送机构、第二升降平台机构、出片输送机构、第二出片搬运机构、第二储料机构、第二运输机构、第二小车定位机构、第二石墨舟定位机构与第二搬运小车；本实用新型专利技术大大提高了生产效率，降低了工人劳动强度，避免了人工手动上下料而引起的硅片破碎率高的问题，降低了生产成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

Wafer automatic feeding and discharging device for PECVD equipment

The utility model relates to an automatic feeding device used for silicon PECVD devices, rotate in the machine frame is provided with a mechanical hand, a sucker is arranged in the manipulator, a first wafer box conveying mechanism, a first lifting platform mechanism, guide manipulator mounted on the frame on the outside of the machine frame, a conveying mechanism, a first the first storage mechanism, the first transport mechanism, the first car positioning mechanism, the first Shi Mozhou positioning mechanism and the first vehicle handling, the rack is arranged inside second wafer box conveying mechanism, second lifting platform mechanism, a conveying mechanism, a conveying mechanism second and second storage mechanism, second transport mechanism, second car positioning the second mechanism, the graphite boat positioning mechanism and a second handling car; the utility model can greatly improve the production efficiency, reduce labor intensity, to avoid The problem of high breaking rate of silicon wafer caused by manual manual loading and unloading reduces the production cost.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能硅片加工自动化设备领域，本技术尤其是涉及一种用于PECVD设备的硅片自动上下料装置。
技术介绍
在现有的硅片减反射膜制备工序中，需将承载盒中的未经PECVD处理过的硅片装入石墨舟中、将石墨舟中的经PECVD处理过的硅片装入承载盒。目前，上述硅片转移动作需要借助人工完成，其缺点在于人工搬运易引起硅片破碎使得生产成本提高，同时，人工操作生产效率低、劳动强度大。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种可以降低生产成本、降低工人劳动强度、自动化程度高的用于PECVD设备的硅片自动上下料装置。按照本技术提供的技术方案，所述用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，在机架上转动安装有机械手，在机械手上安装有吸盘，在机械手外侧的机架上安装有第一娃片盒输送机构、第一升降平台机构、导向机构、第一出片搬运机构、第一储料机构、第一运输机构、第一小车定位机构、第一石墨舟定位机构与第一搬运小车，在机架上内侧位置安装有第二硅片盒输送机构、第二升降平台机构、出片输送机构、第二出片搬运机构、第二储料机构、第二运输机构、第二小车定位机构、第二石墨舟定位机构与第二搬运小车；所述第一运输机构安装于第一出片搬运机构的前方，第二运输机构安装于出片输送机构的前方，机械手安装于第一运输机构与第二运输机构之间的机架上。所述第一娃片盒输送机构与第二娃片盒输送机构结构相同，它们包括第一电机、托板、同步带、第一同步带轮、第二同步带轮、转动轴、第三同步带轮与第四同步带轮，在第一电机的输出端连接有第四同步带轮，转动轴的两端均固定有第一同步带轮，两第一同步带轮之间的转动轴上固定有第三同步带轮，第四同步带轮通过同步带连接第三同步带轮，同步带绕过第一同步带轮、托板与第二同步带轮。所述第一升降平台机构与第二升降平台机构结构相同，它们包括安装支座、竖向升降组件和水平输送组件，水平输送组件通过第一连接板固定于竖向升降平台组件上，竖向升降组件通过安装支座固定于机架上；所述竖向升降组件包括第二电机，第二电机安装在安装支座上，第二电机的输出端通过联轴器与第一丝杠的一端连接，所述第一丝杠的两端通过轴承座转动安装在安装支座上，安装支座上平行安装有第一线轨，在第一线轨内滑动连接有第一滑块，第一丝杠上安装有第一螺母，第一滑块及第一螺母固定在第一连接板上；所述水平输送组件包括第三电机，第三电机的输出端固定同步带轮，转轴的两端固定两个第五同步带轮，第三电机的输出端的同步带轮通过第二同步带与转轴上的第十同步带轮连接，第二同步带绕过第六同步带轮与第五同步带轮，转轴上方设置有两个挡块，所述第一连接板的上端固定有第一气缸，第一气缸的活塞杆端部安装有压紧头。所述导向机构包括第一安装板、横向定位组件与纵向导向组件；第一安装板的下侧安装有纵向导向组件，第一安装板的上方安装横向定位组件；所述横向定位组件包括推板、第二线轨，所述第二线轨固定于第一安装板，推板上固定第二滑块，所述第二滑块嵌装于第二线轨上，第一安装板的前端固定推条；横向调节单元通过连接块固定于第一安装板上，所述横向调节单元包括第二气缸与第五气缸，所述第二气缸与第五气缸相背固定，第五气缸的活塞杆通过连接块固定于第一安装板上，第二气缸的活塞端通过连接杆与推板固定。所述纵向导向组件包括第一安装板下方的同步带传送单元与第一安装板上方的纵向调节单元；所述同步带传送单元包括两第七同步带轮，两第七同步带轮通过连接轴固定于第一安装板上，所述的两第七同步带轮之间通过第三同步带连接，第一安装板下方设置线轨，第一传动块与第二传动块上分别固定有滑块，所述第一传动块与第四传动块上的滑块分别嵌装于第一安装板下方设置的线轨上，其中第一传动块的一侧固定有第一齿形块，所述第一齿形块上的齿与第三同步带上的齿啮合，且齿形块与第三同步带及第二传动块固定，所述第四传动块上一侧固定有第二齿形块，所述第二齿形块上的齿与第三同步带上的齿啮合，且第二齿形块与第三同步带及第五传动块固定，所述第二传动块通过两连杆与第三传动块固定，连杆的下端与第二连接板固定，第二连接板上固定多个第一导向轮，所述第五传动块通过两连杆与第八连接板连接，第八连接板上固定多个第二导向轮；所述第三传动块与纵向调节组件连接；所述纵向调节单元包括第三气缸、第四气缸，所述第三气缸与第四气缸相背固定，其中第四气缸的活塞杆通过连接块固定于第一安装板上，第三气缸与第三传动块连接。所述第一出片搬运机构包括无杆气缸、第四电机与第二安装板，所述第二安装板上固定无杆气缸、第三线轨，无杆气缸输出端通过连接板与第一移动板固定；所述第一移动板上固定有第三滑块，第三滑块嵌装于所述的第三线轨；所述两组第三连接板的一侧、安装底板两侧、第一移动板的前端两侧及无杆气缸输出端上的连接板分别固定滚轮、且滚轮之间通过输送带传动；所述第四电机的输出端固定同步带轮，安装底板的一侧通过两轴承支座支撑传动轴，所述传动轴的两端固定同步带轮、且两同步带轮之间设置第十一同步带轮，所述第四电机的输出端的同步带轮通过输送带传动第十一同步带轮；所述第三连接板之间固定第六气缸，所述第六气缸的输出端与定位块固定，所述定位块上固定滑块、并通过滑块嵌装于第三线轨。所述第二出片搬运机构包括无杆气缸、第四电机，所述第二安装板上固定无杆气缸、第三线轨，无杆气缸输出端通过连接板与第一移动板固定，所述第一移动板上固定有第三滑块，所述第三滑块嵌装于所述第三线轨上；所述两组第三连接板的一侧、安装底板两侦U、第一移动板的前端两侧及无杆气缸输出端上的连接板分别固定滚轮、且滚轮之间通过输送带传动，所述第四电机的输出端固定同步带轮，安装底板的一侧通过两轴承支座支撑传动轴，所述传动轴的两端固定同步带轮且两同步带轮之间设置第十一同步带轮，所述第四电机的输出端的同步带轮通过输送带传动第十一同步带轮。所述第一储料机构与第二储料机构结构相同，它们均包括升降平台组件与储料组件；所述升降平台组件包括第三安装板、第二丝杆、第五电机；所述第三安装板固定于机架，所述第五电机固定于第三安装板，所述第二丝杆通过轴承座支撑在第三安装板，第五电机输出端通过联轴器与第二丝杆连接，第二丝杆的两侧设置两第四线轨，两第四线轨并固定于第三安装板，安装座的一侧固定第二螺母、且第二螺母两侧平行固定第四滑块，所述第四滑块嵌装于第四线轨上，所述第二丝杆上安装有第二螺母；所述储料组件包括安装座、驱动单元与储料框；安装座上固定驱动单元，所述两储料框上分别固定第五滑块，第五滑块嵌装于第五线轨上，所述两驱动单元分别通过连接杆与两储料框连接；所述驱动单元包括第十一气缸、第十二气缸，所述第十一气缸、第十二气缸相背安装，所述第十一气缸的活塞杆端通过安装块固定于安装座，所述第十二气缸的活塞杆端通过连接杆与储料框连接。所述第一运输机构与第二运输机构的结构相同，它们均包括水平输送组件、顶升组件与压紧组件；所述水平输送组件包括第六电机、第五连接板、第九同步带轮；所述第六电机的输出轴与减速器相连，减速器两端设置两组第九同步带轮，两组同步带轮九的同步带之间通过连接块连接安装箱，两组第五连接板固定于安装箱的两端，两块第七滑块平行固定于第五连接板的外侧，两条第七线轨平行固定于机架上，所述第七滑块嵌装于第七线轨；所述顶升组件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，其特征是：在机架上转动安装有机械手（10），在机械手（10）上安装有吸盘（11），在机械手（10）外侧的机架上安装有第一硅片盒输送机构（1a）、第一升降平台机构（2a）、导向机构（3）、第一出片搬运机构（4a）、第一储料机构（5a）、第一运输机构（6a）、第一小车定位机构（7a）、第一石墨舟定位机构（8a）与第一搬运小车（9a），在机架上内侧位置安装有第二硅片盒输送机构（1b）、第二升降平台机构（2b）、出片输送机构（12）、第二出片搬运机构（4b）、第二储料机构（5b）、第二运输机构（6b）、第二小车定位机构（7b）、第二石墨舟定位机构（8b）与第二搬运小车（9b）；所述第一运输机构（6a）安装于第一出片搬运机构（4a）的前方，第二运输机构（6b）安装于出片输送机构（12）的前方，机械手（10）安装于第一运输机构（6a）与第二运输机构（6b）之间的机架上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王燕清，周昕，
申请(专利权)人：无锡先导自动化设备股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：