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本实用新型涉及一种用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，在机架上转动安装有机械手，在机械手上安装有吸盘，在机械手外侧的机架上安装有第一硅片盒输送机构、第一升降平台机构、导向机构、第一出片搬运机构、第一储料机构、第一运输机构、第一小车定位机...
该专利属于无锡先导自动化设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡先导自动化设备股份有限公司授权不得商用。

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