传送机器人制造技术

本发明专利技术提供一种传送机器人。该传送机器人包括臂和本体。所述臂在末端设有用于传送薄板状工件的机器人手，并且所述臂在水平方向上操作。所述本体包括使所述臂升降的升降机构。在所述传送机器人中，所述本体的至少一部分布置在传送室的侧壁外，所述传送室连接至开闭装置并且连接至对所述薄板状工件进行加工的加工室，所述开闭装置用来开闭用于储存所述薄板状工件的储存容器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种传送机器人。
技术介绍
传统上已知用于传送诸如半导体晶片或者液晶面板等的薄板状工件的传送机器人。此外，也提出了多种例如将这种机器人安装于在加工室和储存容器之间设置的本地净化室(在下文中称为“传送室”)的技术，在所述储存容器中多级储存多个半导体晶片(例如参见日本专利申请特开N0.2008-28134)。需要注意，传送室并不限于安装在储存容器和加工室之间。然而，当传送机器人安装在传送室中时，如此安装的传送机器人在传送室中需要预定的占据空间。为此，从确保传送室中的足够空间的观点出发，在传送室中安装的传送机器人还有一定改进的余地。例如，传送室中的空间不足会导致传送机器人的可维护性变差。然而，为了防止这种可维护性变差需要增加传送室中的整体空间，也就是说，需要增加传送室的尺寸。考虑到以上描述的内容，该实施方式的一个方面的目的是提供一种能够有效利用传送室中的空间的传送机器人。
技术实现思路
根据一个实施方式的传送机器人包括臂和本体。所述臂在末端设有用于传送薄板状工件的机器人手，并且所述臂在水平方向上操作。本体包括使臂升降的升降机构。在传送机器人中，所述本体的至少一部分布置在传送室的侧壁外，所述传送室连接至开闭装置并且连接至对所述薄板状工件进行加工的加工室，所述开闭装置用来开闭用于储存所述薄板状工件的储存容器。根据实施方式的一个方面，能够有效地利用传送室中的空间。附图说明由于在阅读了下文参照附图的详细描述之后将更好地理解本专利技术以及本专利技术所具有的优点，因此能够更全面地理解本专利技术以及本专利技术所具有的优点，在附图中:图1是根据一个实施方式的传送室的俯视图；图2是根据本实施方式的传送机器人的示意性立体图；图3是根据本实施方式的传送机器人的俯视图；图4是升降机构的侧视图；图5是升降机构的俯视图；以及图6是屏蔽构件的侧视图。具体实施例方式下文将参照附图详细说明在本说明书中所公开的传送机器人的实施方式。需要注意的是，本专利技术并不限于在下文所举例说明的实施方式。首先，将利用图1来描述根据本实施方式的传送机器人10。图1是根据本实施方式的传送室I的俯视图。需要注意，为了便于描述，图1中的形状的一部分是以简化方式示出的。如图1所示，传送室I既设有开闭装置5也设有加工室3 (或者可以是与加工室3相通的部件)，并且传送室I布置有根据本实施方式的传送机器人10。传送室I是指通常被称为设备前端模块(EFEM)的本地净化室。此传送室I在上部设有用于净化气体的过滤器(未示出)，被该过滤器净化后的向下流动的气体流净化壳体的内部。开闭装置5是用于打开和关闭储存容器2上设置的开闭机构的装置，并且该开闭装置5安装于在传送室I的侧壁上形成的开口处。开闭装置5例如是一个被称为装载口或FOUP开启器的装置，并且该开闭装置5通常符合国际半导体设备和材料国际(SEMI)标准。SEMI标准还规定了传送室I的侧壁上所形成的开口的位置以及这些开口之间的间隔。因此，传送室I也符合SEMI标准。例如，对于处理直径为300mm的半导体晶片的传送室I的情况，SEMI表示规定了开闭装置5之间的安装间隔为505mm。储存容器2是这样的盒状容器，该盒状容器能够在高度方向上多级储存多个诸如半导体晶片或液晶面板等的薄板状工件(在下文中称为“晶片4”)，并且在前表面具有开闭机构。储存容器2例如是在SEMI标准中所规定的被称为前开口通用容器(FOUP)的装置。储存容器2被加载成在开闭机构侧与开闭装置5相接触，因而开闭装置5将在开闭机构和开闭装置5上所形成的各个门打开和关闭。 加工室3是一个这样的室,在该室内安装有对于晶片4实施诸如化学气相沉积(CVD )、曝光、蚀刻和灰化等加工的装置。传送机器人10是能够将晶片4作为传送对象进行保持的机器人。具体而言，传送机器人10设有本体11、臂驱动单元12、支架13和臂20。臂20具有能够将晶片4作为传送对象进行保持的机器人手(下文中称为“手23”)。臂20被支撑成在臂驱动单元12的顶部在水平方向上可转动，该臂驱动单元12连接至设有升降机构的本体11的支架13。利用这种配置，传送机器人10可以在将臂20进行升降以及旋转的同时，将晶片4取出储存容器2并且将晶片4放在手23上，可以将晶片4传送至各加工室3中的一个预定加工室中，并且可以将晶片4传送至目标位置。将在下文参照图2描述臂20的细节。在这里，根据常规技术，当传送机器人安装在传送室I中时，如此安装的传送机器人在传送室I中需要预定的占据空间。为此，从确保传送室I中的足够空间的观点出发，在传送室I中安装的传送机器人还有一定改进的余地。例如，在传送室I中不充足的空间会迫使工人在狭窄的空间内实施对于传送机器人的维护，从而导致传送机器人的可维护性变差。然而，为了避免在可维护性方面的下降，需要增加传送室I中的整体空间，也就是说，需要增加传送室I的尺寸。因此，在根据本实施方式的传送机器人10的情况下，传送机器人10的本体11安装在传送室I外，而臂驱动单元12和臂20安装在传送室I内。利用这种配置，可以消除本体11在传送室I中所占据的空间，因此可以有效地利用传送室I中的空间。在工人对于传送机器人10实施维护工作的情况下，工人对于本体11所实施的维护工作通常远远多于对于臂驱动单元12和臂20所实施的维护工作。这是因为在臂20的内部需要工人调整的部分更少。相反地，本体11布置有线性运动导向装置、滚珠丝杠等等，并且此外布置有对晶片4的保持进行控制的气动装置(未示出)。因而，对本体11执行许多维护工作项目，例如对线性运动导向装置、滚珠丝杠等加润滑脂，以及调整气动装置等等。通过这种方式，在根据本实施方式的传送机器人10的情况下，通常要对其实施维护工作的本体11安装在传送室I外，由此，可以在传送室I外实施多种工作项目。为此原因，在根据本实施方式的传送机器人10的情况下，工人不需要在狭窄的空间内工作，因此可减轻负担，此外，可以抑制由于维护工作而在传送室I中产生扬尘。而且，在根据本实施方式的传送机器人10中，当工人在传送室I中实施除了传送机器人10之外的维护时，通过在传送室I中将臂20向上或者向下缩回，还能够为工人提供宽阔的空间。接下来，将参照图2描述根据本实施方式的传送机器人10的细节。图2是根据本实施方式的传送机器人10的示意性立体图。如图2所示，传送机器人10是水平的多关节机器人，该机器人设有两个在水平方向上伸缩的可延伸的臂。具体地，传送机器人10设有本体11、臂驱动单元12、支架13、缝隙14、盖罩15和臂20。 本体11经由支架13连接至臂驱动单元12。本体11在其与支架13相对的一侧设有可开闭的盖罩15。盖罩15在本体11的维护工作中由工人打开和关闭。盖罩15可以是可拆离的板状盖罩，或者可以是围绕用作枢轴的铰接部以弧形打开和关闭的铰接门。本体11设有升降机构，并且本体11利用该升降机构使得臂驱动单元12和臂20沿着在竖直方向上开出的缝隙14升降。将参照图4和图5来描述升降机构的细节。臂20是连接至臂驱动单元12的单元。具体地，臂20设有第一臂21、第二臂22和手23。此外，手23设有第三臂23a，该第三臂在其前端又设有保持晶片4的末端执行器23b。在根据本实施方式的传送机器人10的情况下，将描述具有由本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传送机器人，所述传送机器人包括：臂，在该臂的末端设有用于传送薄板状工件的机器人手，并且所述臂在水平方向操作；以及本体，该本体包括使所述臂升降的升降机构；其中所述本体的至少一部分布置在传送室的侧壁外，所述传送室连接至开闭装置并且连接至对所述薄板状工件进行加工的加工室，所述开闭装置用来开闭用于所述薄板状工件的储存容器。

【技术特征摘要】
2012.01.31 JP 2012-0189801.一种传送机器人，所述传送机器人包括: 臂，在该臂的末端设有用于传送薄板状工件的机器人手，并且所述臂在水平方向操作；以及 本体，该本体包括使所述臂升降的升降机构；其中 所述本体的至少一部分布置在传送室的侧壁外，所述传送室连接至开闭装置并且连接至对所述薄板状工件进行加工的加工室，所述开闭装置用来开闭用于所述薄板状工件的储存容器。2.根据权利要求1所述的传送机器人，其中，所述本体安装在所述加工室上，使得所述升降机构定位在所述传送室的侧壁外。3.根据权利要求1或2所述的传送机器人，其中，所述臂经由支架连接至所述升降...

【专利技术属性】
技术研发人员：古市昌稔，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：