传送机器人制造技术

本发明专利技术提供一种传送机器人。该传送机器人包括臂和本体。所述臂在末端设有用于传送薄板状工件的机器人手，并且所述臂在水平方向上操作。所述本体包括使所述臂升降的升降机构。在所述传送机器人中，所述本体的至少一部分布置在传送室的侧壁外，所述传送室连接至开闭装置并且连接至对所述薄板状工件进行加工的加工室，所述开闭装置用来开闭用于储存所述薄板状工件的储存容器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种传送机器人。
技术介绍
传统上已知用于传送诸如半导体晶片或者液晶面板等的薄板状工件的传送机器人。此外，也提出了多种例如将这种机器人安装于在加工室和储存容器之间设置的本地净化室(在下文中称为“传送室”)的技术，在所述储存容器中多级储存多个半导体晶片(例如参见日本专利申请特开N0.2008-28134)。需要注意，传送室并不限于安装在储存容器和加工室之间。然而，当传送机器人安装在传送室中时，如此安装的传送机器人在传送室中需要预定的占据空间。为此，从确保传送室中的足够空间的观点出发，在传送室中安装的传送机器人还有一定改进的余地。例如，传送室中的空间不足会导致传送机器人的可维护性变差。然而，为了防止这种可维护性变差需要增加传送室中的整体空间，也就是说，需要增加传送室的尺寸。考虑到以上描述的内容，该实施方式的一个方面的目的是提供一种能够有效利用传送室中的空间的传送机器人。
技术实现思路
根据一个实施方式的传送机器人包括臂和本体。所述臂在末端设有用于传送薄板状工件的机器人手，并且所述臂在水平方向上操作。本体包括使臂升降的升降机构。在传送机器人中，所述本体的至少一部分布置在传送室本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传送机器人，所述传送机器人包括：臂，在该臂的末端设有用于传送薄板状工件的机器人手，并且所述臂在水平方向操作；以及本体，该本体包括使所述臂升降的升降机构；其中所述本体的至少一部分布置在传送室的侧壁外，所述传送室连接至开闭装置并且连接至对所述薄板状工件进行加工的加工室，所述开闭装置用来开闭用于所述薄板状工件的储存容器。

【技术特征摘要】
2012.01.31 JP 2012-0189801.一种传送机器人，所述传送机器人包括: 臂，在该臂的末端设有用于传送薄板状工件的机器人手，并且所述臂在水平方向操作；以及 本体，该本体包括使所述臂升降的升降机构；其中 所述本体的至少一部分布置在传送室的侧壁外，所述传送室连接至开闭装置并且连接至对所述薄板状工件进行加工的加工室，所述开闭装置用来开闭用于所述薄板状工件的储存容器。2.根据权利要求1所述的传送机器人，其中，所述本体安装在所述加工室上，使得所述升降机构定位在所述传送室的侧壁外。3.根据权利要求1或2所述的传送机器人，其中，所述臂经由支架连接至所述升降...

【专利技术属性】
技术研发人员：古市昌稔，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：