传送物品的机器人制造技术

本发明专利技术提供传送物品的机器人，其包括：机体，悬挂在行驶轨道进行移动；夹持单元，夹持物品；双方向滑动单元，连接于所述夹持单元，并且使夹持单元向所述机体的两侧方向滑动；及升降驱动单元，设置在所述机体并且与所述双方向滑动单元连接，沿所述机体的高度方向升降所述双方向滑动单元。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及沿着行驶轨道移动并传送物品的机器人。
技术介绍
一般地说，在半导体制造工艺中生产晶圆，并将生产出的晶圆投入到下一生产步骤来制造半导体封装。这时，生产出的晶圆不会被直接投入到下一步骤，而是被存储预定时间之后，根据需要按顺序移动至下一步骤。所以需要用于存储正在待机的晶圆的设备。上述用于存储的设备设置在工厂的地面上，因此存在占据空间大的问题。作为这种问题的解决方案，有在移送晶圆的机器人的行驶路径周边设置晶圆临时存储设施，但是这种临时存储设施只提供暂时存储少量的晶圆的水准的作用。所以，可考虑改善作为存储大量的晶圆并处理的集成化的设施的这种临时存储设施的方案，在这一情况下，也需要在上述的集成化的设施内有效传送晶圆的已改善的形态的机器人。
技术实现思路
(要解决的问题)本专利技术的一目的在于提供为了能够在集成化的存储空间中有效传送物品而使用的传送物品的机器人。本专利技术的另一目的在于提供传送物品的机器人，其夹持物品向两个方向滑动的同时也能够升降用于两个方向滑动的工具。(解决问题的手段)为了达成上述目的，根据本专利技术一方面的传送物品的机器人可包括：机体，悬挂在行驶轨道进行移动；夹持单元，夹持物品；双方向滑动单元，
连接于所述夹持单元，并且使夹持单元向所述机体的两侧方向滑动；及升降驱动单元，设置在所述机体并且与所述双方向滑动单元连接，沿所述机体的高度方向升降所述双方向滑动单元。在这里，所述升降驱动单元可包括：升降块；滑动基座，被所述升降块支撑，并且连接所述双方向滑动单元；及升降移动部件，使所述升降块沿着所述高度方向移动。在这里，所述机体包括沿着所述高度方向配置并且相互面对的一对柱部，所述升降移动部件内装于所述柱部，而所述滑动基座可配置在所述一对柱部之间。在这里，所述柱部包括沿着所述高度方向延长形成的引导槽，所述升降块通过所述引导槽可连接所述升降移动部件及所述滑动基座。在这里，所述升降驱动单元还可包括升降轨道，所述升降轨道设置在所述柱部，使其沿着所述高度方向延长，并且可滑动地支撑所述升降块。在这里，所述升降移动部件可包括：一对升降滑轮，沿着所述高度方向进行配置；及升降带，围绕所述一对升降滑轮，并连接所述升降块。在这里，所述升降块可包括：插入部，插入于所述引导槽；滑动部，在所述插入部的一端部弯曲延长，并被所述升降轨道支撑；及连接部，在所述插入部的另一端部弯曲延长，并且连接于所述升降带。在这里，所述滑动部与所述连接部对所述插入部能够以相同的方向弯曲。在这里，所述升降轨道包括在所述柱部相互平行设置的第一升降轨道及第二升降轨道。所述升降滑轮包括：对应于所述第一升降轨道的第一升降滑轮；与对应于所述第二升降轨道的第二升降滑轮。所述升降移动部件还可包括驱动装置，所述驱动装置配置在所述第一升降滑轮与所述第二升降滑轮之间旋转驱动所述第一升降滑轮与所述第二升降滑轮。在这里，所述驱动装置可包括：发动机，生成驱动力；及减速器，减速所述发动机的驱动力来旋转驱动所述第一升降滑轮及所述第二升降滑轮。在这里，所述双方向滑动单元可包括：上部板件，可移动地结合于所述滑动基座；及下部板件，可移动地结合于所述上部板件，并且连接于所
述夹持单元。在这里，所述双方向滑动单元还包括：第一滑动轨道，结合于所述上部板件的底面；及第一滑动器，结合于所述下部板件的上面，并且可滑动地结合于所述第一滑动轨道。所述上部板件可包括：两侧边缘区域；及中央区域，比所述两侧边缘区域远离所述下部板件地凸出，并且安装所述第一滑动轨道。在这里，所述双方向滑动单元还可包括：第二滑动轨道，在所述上部板件的上面中设置在所述两侧边缘区域；及第二滑动器，设置在所述滑动基座，并且可滑动地结合于所述第二滑动轨道。在这里，所述夹持单元包括夹持板件，所述夹持板件配置在所述下部板件的下侧，并且对于所述下部板件可移动地进行结合。所述双方向滑动单元还可包括驱动模块，所述驱动模块产生用于所述上部板件、所述下部板件及所述夹持单元之间的相对滑动的驱动力。在这里，所述驱动模块可包括：一对第一滑动滑轮，设置在所述上部板件；第一滑动带，形成为围绕所述一对第一滑动滑轮，并且连接于所述滑动基座及所述下部板件；及滑移部件，将所述第一滑动带沿着其延长方向的两个方向中的其中之一方向移动。在这里，所述滑移部件可包括：发动机，产生旋转力；滚珠螺杆，接收所述发动机的旋转力来进行运行；及连接支架，连接所述滚珠螺杆的螺母与所述滑动带。在这里，所述驱动模块还包括：一对第二滑动滑轮，设置在所述下部板件；及第二滑动带，围绕所述一对第二滑动滑轮，并且连接于所述上部板件及所述夹持板件。(专利技术的效果)根据如上所述构成的本专利技术的传送物品的机器人，能够以两个方向滑动物品的同时也能够升降用于两个方向滑动的工具据此，对应于多个层的搁架，也能够在各层的搁架中夹持物品或将物品下置于各个层的搁架。根据这一点，传送物品的机器人能够在集成化的保管空间中有效传送物品。附图说明图1是根据本专利技术一实施例的在天花板上存储物品和处理装置100的立体图。图2是对图1的装置100的主要部分的侧面图。图3是对图1内部传送机器人200的立体图。图4是用于说明图3的内部传送机器人200的运作的概念图。图5是用于说明吹扫放置于图1的搁架131、132的物品A的吹扫单元190的框图。图6是示出根据本专利技术一实施例的双方向滑动单元250的主要构成的立体图。图7是图6的双方向滑动单元250的横截面图。图8是示出图6的双方向滑动单元250以一个方向滑动的状态的立体图。图9是示出图7的双方向滑动单元250夹持物品A在图面上向左侧滑动的状态的概念图。图10是示出图7的双方向滑动单元250夹持物品A在图面上向右侧滑动的状态的概念图。图11是示出图2的升降驱动单元230与双方向滑动单元250分别位于机体110的上部与下部的状态的概念图。图12是用于说明图11的升降驱动单元230的构成的立体图。具体实施方法以下，参照附图详细说明根据本专利技术优选实施例的在天花板上存储物品和处理装置。在本说明书中就算是相互不同的实施例，对于相同、类似的构成赋予相同、类似的参照符号，并由最初的说明来代替。图1是根据本专利技术一实施例的在天花板上存储物品和处理装置100的立体图，图2是对图1的装置100的主要部分的侧面图。参照图面，在天花板上存储物品和处理装置100可具有内部轨道110、存储系130、外部轨道150、设置架170及内部传送机器人200。内部轨道110为可行驶地支撑内部传送机器人200的构成。内部轨道110大致为杆(bar)形状，形成内部传送机器人200的行驶路径(传送路径)。据此，内部轨道110也可称为行驶轨道。内部轨道110可具有对应于待后述的第一列搁架131及第二列搁架132的高度。例如，内部轨道110的两端部111、113为延长至第一列搁架131及第二列搁架132的两端部以上，两端部111、113可称为露出端部。因此，露出端部111、113沿着内部轨道110的延长方向未被第一列搁架131及第二列搁架132阻断。并且，内部轨道110悬挂在天花板。在本实施例中，内部轨道110连接于待后述的设置架170并被悬挂在天花板。存储系130为存储物品A，例如存储在半导体工厂中使用的晶圆传送盒(FOUP)的构本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传送物品的机器人，其特征在于，包括：机体，悬挂在行驶轨道进行移动；夹持单元，夹持物品；双方向滑动单元，连接于所述夹持单元，并且使夹持单元向所述机体的两侧方向滑动；及升降驱动单元，设置在所述机体并且与所述双方向滑动单元连接，沿所述机体的高度方向升降所述双方向滑动单元。

【技术特征摘要】
2015.03.16 KR 10-2015-00360841.一种传送物品的机器人，其特征在于，包括：机体，悬挂在行驶轨道进行移动；夹持单元，夹持物品；双方向滑动单元，连接于所述夹持单元，并且使夹持单元向所述机体的两侧方向滑动；及升降驱动单元，设置在所述机体并且与所述双方向滑动单元连接，沿所述机体的高度方向升降所述双方向滑动单元。2.根据权利要求1所述的传送物品的机器人，其特征在于，所述升降驱动单元包括：升降块；滑动基座，被所述升降块支撑，并且连接所述双方向滑动单元；及升降移动部件，使所述升降块沿着所述高度方向移动。3.根据权利要求2所述的传送物品的机器人，其特征在于，所述机体包括沿着所述高度方向配置并且相互面对的一对柱部，所述升降移动部件内装于所述柱部，而所述滑动基座配置在所述一对柱部之间。4.根据权利要求3所述的传送物品的机器人，其特征在于，所述柱部包括沿着所述高度方向延长形成的引导槽，所述升降块通过所述引导槽连接所述升降移动部件及所述滑动基座。5.根据权利要求4所述的传送物品的机器人，其特征在于，所述升降驱动单元还包括：升降轨道，设置在所述柱部，使其沿着所述高度方向延长，并且可滑动地支撑所述升降块。6.根据权利要求5所述的传送物品的机器人，其特征在于，所述升降移动部件包括：一对升降滑轮，沿着所述高度方向进行配置；及升降带，围绕所述一对升降滑轮，并连接所述升降块。7.根据权利要求6所述的传送物品的机器人，其特征在于，所述升降块包括：插入部，插入于所述引导槽；滑动部，在所述插入部的一端部弯曲延长，并被所述升降轨道支撑；及连接部，在所述插入部的另一端部弯曲延长，并且连接于所述升降带。8.根据权利要求7所述的传送物品的机器人，其特征在于，还包括：所述滑动部与所述连接部对所述插入部以相同的方向弯曲。9.根据权利要求6所述的传送物品的机器人，其特征在于，所述升降轨道包括在所述柱部相互平行设置的第一升降轨道及第二升降轨道，所述升降滑轮包括：对应于所述第一升降轨道的第一升降滑轮；与对应于所述第二升降轨道的第二升降滑轮，所述升降移动部件还包括驱动装置，所述驱动装置配置在所述第一升降滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳东奎，金在允，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：日本;JP