传送系统技术方案

本发明专利技术提供一种传送系统。根据一个实施方式的传送系统包括传送室、机器人、轨迹生成器、确定单元以及输出单元。所述传送室具有以预定距离限定的专用区。所述机器人具有臂单元，该臂单元装备有传送薄板状工件的机器人手并且在水平方向上操作。所述机器人安装在所述传送室中，使得所述臂单元的最小旋回区与所述专用区的一部分重叠。所述传送系统生成所述机器人手的轨迹，然后基于所生成的轨迹确定所述臂单元的一部分是否包括在所述专用区中，并输出预定信号。

【技术实现步骤摘要】

在此论述的实施方式涉及一种传送系统。
技术介绍
传统公知传送机器人，该机器人传送例如半导体晶片或液晶面板之类的薄板状工件。此外，还公知将这种传送机器人安装在本地清洁室(在下文中称作“传送室”)中的技术，所述本地清洁室设置在用于开闭半导体晶片储存容器的开闭装置与半导体晶片的加工室之间。要注意的是，传送室不限于仅安装在储存容器与开闭装置之间。上述开闭装置称为例如装卸口，该开闭装置在传送室中开闭设置在储存容器上的可拆卸盖子。开闭机构的一部分保持盖子，并与盖子一起作为一个单元下移，以便向下滑动，由此打开储存容器的盖子。盖子在传送室中打开，这样灰尘等不会附着在薄板状工件或储存容器中的其它部件上。盖子打开会使得传送机器人能将薄板状工件运进与运出。因此，传送室中需要有用于开闭装置的区域(在下文中，称作“专用区”)，以执行将盖子附装至储存容器的主体与从储存容器的主体拆卸下来的操作。在半导体设备与材料国际(SEMI)标准中对专用区有规定。因此，提出了在布置传送机器人时，减小传送室所需的覆盖区(区域)的技术，这样传送机器人的最小旋回区不会与专用区重叠(例如，参见日本专利申请特开2008-28134号公本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传送系统，该传送系统包括：传送室，该传送室包括专用区，该专用区以从供安装开闭装置的壁表面向内预定距离而限定，所述开闭装置用于开闭用于薄板状工件的储存容器；机器人，该机器人包括臂单元，该臂单元在其末端装配有用于传送所述薄板状工件的机器人手并沿水平方向操作，所述机器人安装在所述传送室中，使得所述臂单元的最小旋回区与所述专用区的一部分重叠；轨迹生成器，该轨迹生成器生成所述机器人手的轨迹；确定单元，该确定单元基于由所述轨迹生成器生成的轨迹确定所述臂单元的一部分是否包含在所述专用区中；以及输出单元，该输出单元基于由所述确定单元确定的结果输出预定信号。

【技术特征摘要】
2012.01.31 JP 2012-0189811.一种传送系统,该传送系统包括: 传送室，该传送室包括专用区，该专用区以从供安装开闭装置的壁表面向内预定距离而限定，所述开闭装置用于开闭用于薄板状工件的储存容器； 机器人，该机器人包括臂单元，该臂单元在其末端装配有用于传送所述薄板状工件的机器人手并沿水平方向操作，所述机器人安装在所述传送室中，使得所述臂单元的最小旋回区与所述专用区的一部分重叠； 轨迹生成器，该轨迹生成器生成所述机器人手的轨迹； 确定单元，该确定单元基于由所述轨迹生成器生成的轨迹确定所述臂单元的一部分是否包含在所述专用区中；以及 输出单元，该输出单元基于由所述确定单元确定的结果输出预定信号。2.根据权利要求1所述的传送系统，其中，所述确定单元假设出在所述臂单元的臂的预定位置的假想图形，并根据任一所述假想图形是否包含在所述专用区中，在任一所述假想图形包含在所述专用区中时确定所述臂单元的一部分包含在所述专用区中。3.根据权利要求1所述的传送系统，其中，所述臂的被假设所述假想图形所在的所述预定位置是位于所述臂的旋转轴线上的位置以及位于这些臂的旋转轴线之间的中央的位置。4.根据权利要求1所述的传送系统，其中，每个所述假想图形是具有能预先调整的直径的圆，并且所述能预先调整的直径被设定成至少包含每个所述臂的外形。5.根据权利要求1所述的传送系统，其中，根据表明所述机器人手是否正在保持其中一个所述薄板状工件的信息，如果所述机器人手正在保持所述薄板状工件，那么所述确定单元确定通过将所述薄板状工件的外形添加至所述臂单元的一部...

【专利技术属性】
技术研发人员：进大介，木村吉希，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：