高产率离子植入机制造技术

离子植入机(100)的一实施例包括：离子源(101)及处理腔室(102)。此处理腔室连接至离子源并藉由多个提取电极(114)与离子源分离。载具(201)固持多个工件(202)。屏蔽装载器(205)位于处理腔室中且使屏蔽(203)与载具连接。传送腔室(104)及加载锁(105、106)可与处理腔室连接。此离子植入机装配成对工件进行毯覆式或选择性植入。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】离子植入机与离子植入法
本专利技术涉及离子植入法，且更特别是涉及离子植入机架构(ionimplanterarchitecture)。
技术介绍
离子植入法是一种用于将改变导电性的杂质(conductivity-alteringimpurities)引入工件(workpiece)中的标准技术。在离子源中将所需的杂质材料离子化，使离子加速以形成具规定能量的离子束，且将离子束引导至工件的表面处。离子束中的高能离子穿入工件材料主体中，且嵌进工件材料的晶格中以形成具有所需导电性的区域。太阳能电池制造业的两大关注点为生产量(manufacturingthroughput)和电池效率。电池效率量测被转换成电能的能量的量。为了保持竞争力，较高的电池效率可为必要的。然而，不能以牺牲掉生产量作为得到增加的电池效率的代价。离子植入法已被证实为掺杂太阳能电池的可行方法。使用离子植入法可以免除现有技术中所需的处理步骤(例如扩散炉管)，因此可增加产量及降低成本。举例来说，因为离子植入法仅会掺杂所需表面，因此若使用离子植入法代替炉扩散法(furnacediffusion)，则可免除雷射边缘隔离(laseredge本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种离子植入机，包括：离子源；处理腔室，连接至所述离子源并藉由多个提取电极与所述离子源分离；载具，装配成固持多个工件；以及屏蔽装载器，位于所述处理腔室中，其中所述屏蔽装载器装配成使屏蔽与所述载具连接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.11.02 US 61/554,720;2012.10.26 US 13/662,1101.一种离子植入机，包括：离子源；处理腔室，连接至所述离子源并藉由多个提取电极与所述离子源分离；载具，装配成固持多个工件；扫描机械手臂，所述载具可移除地附接至所述扫描机械手臂，所述扫描机械手臂装配成输送所述载具穿过自所述离子源引导出的离子束；以及屏蔽装载器，位于所述处理腔室中，其中所述屏蔽装载器装配成当所述载具附接至所述扫描机械手臂时使屏蔽与所述载具连接，其中所述屏蔽具有足够大的尺寸以覆盖所述多个工件。2.根据权利要求1所述的离子植入机，其中所述离子源包括RF离子源。3.根据权利要求1所述的离子植入机，其中所述屏蔽与所述载具磁性紧固。4.根据权利要求1所述的离子植入机，其中所述屏蔽与所述载具机械紧固。5.根据权利要求1所述的离子植入机，其中所述扫描机械手臂具有彼此垂直的水平装载位置及垂直植入位置，且所述扫描机械手臂装配成将所述载具自所述水平装载位置旋转至所述垂直植入位置，使所述多个工件在所述离子束的路径中。6.根据权利要求1所述的离子植入机，其中所述多个工件直接位在所述提取电极的下游。7.根据权利要求1所述的离子植入机，其中离子束以直线方式自所述离子源向所述多个工件投射。8.一种离子植入机，包括：离子源；处理腔室，连接至所述离子源并藉由多个提取电极与所述离子源分离；载具，装配成固持多个工件；扫描机械手臂，所述载具可移除地附接至所述扫描机械手臂，所述扫描机械手臂装配成输送所述载具穿过自所述离子源引导出的离子束；屏蔽装载器，位于所述处理腔室中，其中所述屏蔽装载器装配成当所述载具附接至所述扫描机械手臂时使屏蔽与所述载具连接；传送腔室，与所述处理腔室连接；加载锁，与所述传送腔室连接；传送机械手臂，位于所述传送腔室中，装配成在所述载具装载上所述工件，且在所述加载锁及所述处理腔室之间输送所述多个工件；以及工件输送系统，与所述加载锁连接且装配成从所述加载锁装载及卸除所述多个工件，其中所述屏蔽具有足够大的尺寸以覆盖所述多个工件。9.根据权利要求8所述的离子植入机，其中所述离子源包括RF离子源。10.根据权利要求8所述的离子植入机，其中所述屏蔽与所述载...

【专利技术属性】
技术研发人员：威廉·T·维弗，查理斯·T·卡尔森，约瑟·C·欧尔森，詹姆士·布诺德诺，保罗·沙利文，
申请(专利权)人：瓦里安半导体设备公司，
类型：发明
国别省市：美国;US