基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板处理装置，用于利用新颖的基板输送方式高效且高生产率地进行对基板实施的一系列处理而与单张处理或者批处理的种类无关。该基板处理装置将横长的处理载置台（10）配置于系统中心部，在其长边方向（X方向）的两端部连结装载机（12）以及卸载机（14）。处理载置台（10）具有从装载机（12）朝向卸载机（14）沿系统长边方向（X方向）笔直延伸的输送线（28），隔着该输送线（28）在其左右两侧配置有多个以及多种处理单元（44～54）。在输送线（28）上，多个单张输送机构（30、32、34、36）与多个往复输送部（38、40、42）交替排列配置成一列。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对基板的表面实施用于精细加工的处理的基板处理装置，尤其涉及在每个处理工序中将基板转送至各工序的处理装置来进行一系列处理的基板处理装置。
技术介绍
以往，在半导体器件、FPD (平板显示器)、太阳能电池板等的生产线中，大多采用下述的串排(inline)系统方式:将与一系列工序对应的多种处理装置集中配置，按处理流程的顺序将处理对象的基板(半导体晶片、玻璃基板等)转送至各处理装置来进行一系列工序处理。尤其在一系列处理均是对基板逐张地处理的单张式处理的情况下，容易采用这样的串排系统。即，若每张基板的生产节拍时间为Ts并将各单张处理Pm的所需时间设为Tm，则只要在该单张处理Pm中使Ni个(其中，Ni是自然数，且Ni STm / Ts)单张式处理装置PUmW生产节拍时间Ts的时间差并行运转即可。但是，若串排集中的处理的种类、数量很多，则在多个处理装置间负责基板转送的输送机械手的任务增多而赶不上生产节拍。鉴于此，采用了如下方式:将串排系统划分为多个区域，在各区域内使一台输送机械手进行处理装置间的基板转送，在邻接的区域间使双方的输送机械手经由固定的基板中继台进行基板的交换(例如参照专利文献I)。 专利文献1:日本特开2001-319852号公报在如上述那样使多个输送机械手经由固定的基板中继台进行基板交换的串排系统中，成为在交付基板一侧的输送机械手将基板放置到基板中继台后，接受基板一侧的输送机械手从基板中继台取走该基板的步骤。但是，若从另一观点出发，则还是在接受基板一侧的输送机械手从基板中继台取走基板后，交付基板一侧的输送机械手将另一张基板放置到基板中继台的步骤。总之，这里重要的是无法同时执行交付基板一侧的输送机械手将基板放置到基板中继台的动作、和接受基板一侧的输送机械手从基板中继台取走基板的动作。两个输送机械手独立地进行各自固有的输送任务，在双方之间进行基板的交换时必须确认基板中继台的空闲状况，还需要根据情况进行中断控制。由此，不仅导致输送效率下降，还使输送机械手的控制程序(软件)臃肿且成本提高。并且，在将多个或者其他种类的处理装置大致按处理流程的顺序横向排列的串排系统中，各输送机械手不仅使其输送臂升降移动、旋转移动、进退移动，还使其机械手主体沿着铺设在系统内的导轨在水平方向移动。这样，由于重的输送机械手以多轴进行水平移动，所以导致基板的输送速度甚至输送效率的进一步降低，并且有可能产生颗粒或者卷起颗粒。在其他的系统方式中也会发现上述那样的问题。例如，在将单张式的处理装置和批处理式的处理装置混在一起的情况下，由于很难协调各自的生产节拍，所以上述那样的使多个输送机械手经由基板中继台协作的方式的缺点更为显著，很难构建串排系统。
技术实现思路
本专利技术用于解决上述那样的现有技术的问题点，提供一种能与单张处理或者批处理的种类无关地利用新颖的基板输送方式高效且高生产率地进行对基板实施的一系列处理的基板处理装置。本专利技术的第I观点中的基板处理装置具有:第I输送路以及第2输送路，它们以任意的长度沿水平方向相互平行延伸 ’第I往复移送装置，其具有装载一张基板的载物台，能够在设置于上述第I输送路的一端的第I装运位置与设置于上述第I输送路的另一端的第I卸载位置之间在上述第I输送路上往复移动 ’第2往复移送装置，其具有装载一张基板的载物台，能够在设置于上述第2输送路的一端的第2装运位置与设置于上述第2输送路的另一端的第2卸载位置之间在上述第2输送路上往复移动；第I输送机构，其被设置为能够访问上述第I装运位置以及第2装运位置，具有一个或者多个用于在第I区域内输送基板的第I输送臂；第2输送机构，其被设置为能够访问上述第I卸载位置以及第2卸载位置，具有一个或者多个用于在第2区域内输送基板的第2输送臂；以及处理部，为了对基板实施所希望的单张处理或者批处理而配置于上述第I区域以及第2区域中的至少一个区域，上述第I输送机构使用上述第I输送臂在上述第I装运位置以及第2装运位置向上述第I往复移送装置以及第2往复移送装置逐张装载基板，上述第2输送机构使用上述第2输送臂在上述第I卸载位置以及第2卸载位置从上述第I往复移送装置以及第2往复移送装置逐张卸下基板，上述第I往复移送装置将基板从上述第I装运位置向上述第I卸载位置的输送、和上述第2往复移送装置将基板从上述第2装运位置向上述第2卸载位置的输送独立进行。在上述第I观点的基板处理装置中，如上述那样，第I往复移送装置将基板从第I装运位置向第I卸载位置的输送、和第2往复移送装置将基板从第2装运位置向第2卸载位置的输送独立进行。这里，第I输送机构只要在第I往复移送装置或者第2往复移送装置中的任意一个停留在第I装运位置或者 第2装运位置的期间装载一张基板即可。第2输送机构只要在第I往复移送装置或者第2往复移送装置的任意一个停留在第I卸载位置或者第2卸载位置的期间卸下一张基板即可。各输送机构只要能直接与第I往复移送装置以及第2往复移送装置的定型且周期性的往复动作对应地进行基板的交接或者转送即可，无需考虑对象侧的输送机构的方式或者状况。本专利技术的第2观点中的基板处理装置具有:输送线，其从处理流程的上游侧朝向下游侧沿水平的方向输送被处理基板；第I输送机构，其设置在上述输送线上，与配置于其周围的第I处理部逐张进行基板的交接；第2输送机构，其设置于上述输送线上的比上述第I输送机构靠下游侧位置，与配置于其周围的第2处理部逐张进行基板的交接；以及能够往复移动的第I往复移送装置及第2往复移送装置，它们构成上述输送线的一个区间，分别将基板逐张从与上述第I输送机构邻接的第I装运位置以及第2装运位置向与上述第2输送机构邻接的第I卸载位置以及第2卸载位置装载并单独地进行单张输送。在本专利技术的第2观点的基板处理装置中，能够独立进行第I往复移送装置将基板从第I装运位置向第I卸载位置的单张输送、和第2往复移送装置将基板从第2装运位置向上述第2卸载位置的单张输送。因此，第I输送机构只要在第I往复移送装置或者第2往复移送装置的任意一个停留在第I装运位置或者第2装运位置的期间装载一张基板即可。第2输送机构只要在第I往复移送装置或者第2往复移送装置的任意一方停留在第I卸载位置或者第2卸载位置的期间卸下一张基板即可。各输送机构只要能直接与第I往复移送装置以及第2往复移送装置的定型且周期性的往复动作对应进行基板的交接或者转送即可，无需考虑对象侧的输送机构的方式或者状况。 本专利技术的第3观点中的基板处理装置具有:输送线，其从处理流程的上游侧朝向下游侧沿水平的方向输送被处理基板；第I输送机构，其被设置在上述输送线上，与配置于其周围的第I处理部逐张进行基板的交接；第2输送机构，其被设置于上述输送线上的比上述第I输送机构靠下游侧位置，与配置于其周围的第2处理部逐张进行基板的交接；以及能够往复移动的第I往复移送装置及第2往复移送装置，它们构成上述输送线的一个区间，分别将基板逐张从与上述第I输送机构邻接的第I装运位置以及第2装运位置向与上述第2输送机构邻接的第I卸载位置以及第2卸载位置装载并进行单张输送，该基板处理装置以一定的生产节拍时间交替进行上述第I往复移送装置对基板的输送和上述第2往复移送装置对基板的输送。在上述第3观点的基板处理装置中，如上述那样，以一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：古谷悟郎，寺田尚司，福田喜辉，和田宪雄，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：
国别省市：