过滤环组件及现场废气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种过滤环组件及现场废气处理装置，过滤环组件包括：过滤环，内部设有沿其长度方向贯通的第一通孔，过滤环为高分子细密网状结构；膈膜环，一端与过滤环的一端固定连接，膈膜环的内部设有沿其长度方向贯通的第二通孔，且膈膜环的内表面及外表面均为光滑表面。通过增设内外表面均为光滑表面的膈膜环，废气与水的反应产物不会在过滤环处形成，不会附着于过滤环的表面，从而防止了过滤环的堵塞；又由于膈膜环的表面为光滑表面，废气与水的反应产物不易在膈膜环的表面附着，或附着于膈膜环的表面后很容易被冲刷掉，从而防止了膈膜环的堵塞；进而延长了过滤环组件的使用周期，减少保养次数，增加安全可靠度。

Filter ring assembly and on-site waste gas treatment device

The utility model provides a filtering ring assembly and field of exhaust gas treatment device, the filter ring assembly includes a filter ring, inside is provided with a first through hole along the length direction of the filter ring polymer fine mesh structure; diaphragm ring, end end and the filter ring is fixedly connected with the inner ring of the diaphragm, a perforated along its length the direction of the second hole, and the inner surface and the outer surface of the diaphragm ring were smooth surface. By adding the outer surface for the diaphragm ring smooth surface, exhaust gas and water reaction products will not form in the filtering ring. The surface will not be attached to the filter ring, thereby preventing the clogging of the filter ring; and because the surface of diaphragm ring is a smooth surface, the reaction product of waste gas and water is not easy to be attached on the surface of the diaphragm ring, or attached to the surface of diaphragm ring can easily be washed away, thereby preventing blockage of the diaphragm ring; prolong filtration ring assembly cycle, reduce maintenance times, increase safety and reliability.

【技术实现步骤摘要】
过滤环组件及现场废气处理装置
本技术属于废气处理设备
，特别是涉及一种过滤环组件及现场废气处理装置。
技术介绍
在EPI(Epitaxy，外延)工艺中会对大量使用H2和TCS(Trichlorosilane，三氯硅烷)，但这两种气体与空气接触有爆炸的风险，因此在EPI的工艺尾气处理装置中会有特殊设计的装置来避免爆炸的发生，过滤环即是避免爆炸发生的特殊设计装置之一。如图1所示，过滤环11的内部设有沿所述过滤环1的长度方向贯通的通孔111；所述过滤环11的材质是一种高分子材料，内部为细密网状结构，具有良好的气体通过性。现场废气处理装置(LocalScrubber)正是利用了过滤环材质的特性让N2均匀的通过过滤环与H2及TCS均匀的混合，以避免爆炸的发生。但由于在尾气的处理过程中，会在过滤环的尾部喷洒水以吸附尾气中的TCS，TCS遇水水解的方程式如下：SiHCl3+3H2O＝H2SiO3+3HCl+H2硅酸遇热分解的方程式如下：H2SiO3＝SiO2+H2O在TCS水解的产物硅酸遇热后会分解形成SiO2，SiO2会附着在过滤环的表面，从而导致过滤环的堵塞。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种过滤环组件，其特征在于，所述过滤环组件包括：过滤环，内部设有沿其长度方向贯通的第一通孔，所述过滤环为高分子细密网状结构；膈膜环，一端与所述过滤环的一端固定连接，所述膈膜环的内部设有沿其长度方向贯通的第二通孔，且所述膈膜环的内表面及外表面均为光滑表面。

【技术特征摘要】
1.一种过滤环组件，其特征在于，所述过滤环组件包括：过滤环，内部设有沿其长度方向贯通的第一通孔，所述过滤环为高分子细密网状结构；膈膜环，一端与所述过滤环的一端固定连接，所述膈膜环的内部设有沿其长度方向贯通的第二通孔，且所述膈膜环的内表面及外表面均为光滑表面。2.根据权利要求1所述的过滤环组件，其特征在于：所述过滤环的轴向中心线、所述第一通孔的轴向中心线、所述膈膜环的轴向中心线及所述第二通孔的轴向中心线均相重合。3.根据权利要求2所述的过滤环组件，其特征在于：所述第二通孔的横向尺寸大于或等于所述第一通孔的横向尺寸。4.根据权利要求1所述的过滤环组件，其特征在于：所述膈膜环的横向尺寸大于或等于所述过滤环的横向尺寸。5.根据权利要求1所述的过滤环组件，其特征在于：所述膈膜环的长度小于所述过滤环的长度。...

【专利技术属性】
技术研发人员：范小超，熊颖斌，文科，
申请(专利权)人：中航重庆微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆,50