干式废气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种干式废气处理装置，包括底座和设置于所述底座上的药剂罐，所述药剂罐的底部设置有用于气流均匀分布的均流件，所述底座上设置有进气口，所述药剂罐设置出气口。应用本实用新型专利技术公开的干式废气处理装置时，通过均流件对进气口进入的废气进行均流，使得废气沿均流件可均匀进入至药剂罐内，实现废气气流在药剂罐中的均匀分布。

Dry waste gas treatment device

The utility model discloses a dry type exhaust gas treatment device, which comprises a base and a medicament tank is on the base of the medicine tank is arranged at the bottom for uniform gas distribution uniform flow, the base is provided with an air inlet, wherein the agent tank outlet. Dry type exhaust gas treatment device of the utility model discloses the application, through the flow of exhaust gas into the intake port are the mean flow, the exhaust gas flow along the member can be evenly into the pharmacy to the tank, to achieve uniform distribution of gas flow in the tank in the pharmacy.

【技术实现步骤摘要】
干式废气处理装置
本技术涉及废气处理设备领域，更具体地说，涉及一种干式废气处理装置。
技术介绍
在半导体行业制造装置排放的废气中，同时如含有酸性气体(如：氯化氢HCL)和金属氢化气体(如：氢氢化磷PH3)。(因半导体行业制造装置加工工艺的不同，还会出现如碱性气体(氨气NH3)和氟化类气体(氟化氢HF)的情况。因为这些酸性气体和金属氢化气体为剧毒类，使得这些废气在制程装置排出后，在输送或排放至大气前，需要将这些有害气体去除到安全值或者达到环保排放标准。因此，以往的处理这些气体的方式中会采用干式化学吸附方式，使用对应气体化学药剂进行化学反应吸附，如酸性气体使用碱性药剂吸附，来除去这样的有害气体。现有干式化学反应吸附处理装置存在不能同时处理含有酸性气体和金属氢化气体。废气气流在装置内部分流不均，废气气流无法完全覆盖药剂区域，药剂只有部分与废气反应，大量药剂未能接触废气产生化学反应，处理率达不到要求。综上所述，如何有效地解决干式废气处理装置中气流分布不均、处理效果较差的问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种干式废气处理装置，以解决干式废气处理装置中气流分布不均、处理效果较差的问题。为了达到上述目的，本技术提供如下技术方案：一种干式废气处理装置，包括底座和设置于所述底座上的药剂罐，所述药剂罐的底部设置有用于气流均匀分布的均流件，所述底座上设置有进气口，所述药剂罐设置有出气口。优选地，在上述干式废气处理装置中，所述底座与所述药剂罐间可拆卸的固定连接。优选地，在上述干式废气处理装置中，所述底座与所述药剂罐间设置有经卡箍卡紧的密封圈。优选地，在上述干式废气处理装置中，所述底座与所述药剂罐间经连接件连接。优选地，在上述干式废气处理装置中，所述药剂罐的个数为多个，多个所述药剂罐在所述底座上沿竖直方向依次设置，所述药剂罐间经连接件可拆卸的固定连接。优选地，在上述干式废气处理装置中，所述均流件包括均流板，所述均流板上设置有均匀分布的通气孔。优选地，在上述干式废气处理装置中，所述均流件包括多个设有重叠部的均流叶片，多个所述均流叶片沿周向均匀布置。本技术提供的干式废气处理装置，包括底座和设置于底座上的药剂罐，药剂罐的底部设置有用于气流均匀分布的均流件，底座上设置有进气口，药剂罐设置有出气口。应用本技术提供的干式废气处理装置时，通过均流件对进气口进入的废气进行均流，使得废气沿均流件可均匀进入至药剂罐内，实现废气气流在药剂罐中的均匀分布。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的干式废气处理装置的结构示意图；图2为本技术实施例提供的干式废气处理装置的爆炸结构示意图；图3为本技术实施例提供的干式废气处理装置的剖面图；图4为本技术实施例提供的均流叶片的结构示意图；图5为本技术实施例提供的均流叶片的主视结构示意图；图6为图4中A-A向剖视图。附图中标记如下：出气口1、药剂罐2、连接件3、进气口4、均流叶片5。具体实施方式本技术实施例公开了一种干式废气处理装置，以解决干式废气处理装置中气流分布不均、处理效果较差的问题。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-图6，图1为本技术实施例提供的干式废气处理装置的结构示意图；图2为本技术实施例提供的干式废气处理装置的爆炸结构示意图；图3为本技术实施例提供的干式废气处理装置的剖面图；图4为本技术实施例提供的均流叶片的结构示意图；图5为本技术实施例提供的均流叶片的主视结构示意图；图6为图4中A-A向剖视图。在一种具体的实施方式中，本技术提供的干式废气处理装置包括底座和设置于底座上的药剂罐2，药剂罐2的底部设置有用于气流均匀分布的均流件，底座上设置有进气口4，药剂罐2设置有出气口1。一般的，药剂罐2和底座固定连接，可通过焊接或者可拆卸的固定连接的方式进行固定，废气气流通过进气口4进入至药剂罐2中，均流件使得废气气流均匀分散进入至药剂罐2中进行吸附，该装置通过设置对均流件对废气气流进行扰动，以便均匀进入至药剂罐2内。具体的，底座与药剂罐2间可拆卸的固定连接。为了便于对药剂罐2中的药剂更换方便，底座与药剂罐2间为可拆卸的固定连接，具体的可通过螺纹连接或者其他形式的连接方式，使得在药剂需更换或药剂罐2需清理时方便拆卸，当然，在其他实施例中，也可以通过焊接等方式进行固定。进一步地，底座与药剂罐2间设置有经卡箍卡紧的密封圈。为了防止废气泄漏扩散至空气中造成空气污染，在底座与药剂罐2间设置密封圈，且用卡箍进行卡紧，以对干式废气处理装置进行密封，当然，在其他实施例中，也可以通过其他形式的密封连接对二者进行固定，此处仅较为优选的实施方案，可根据实际的需要自行选择密封方式，均在本技术的保护范围内。更进一步地，底座与药剂罐2间设置有经连接件3连接。为了更便于拆卸，在底座和药剂罐2间设置连接件3，连接件3能够连通底座和药剂罐2，一般的，药剂罐2和连接件3上分别设置有可在装置组装后可控打开、装置拆卸前可控闭合的阀门，可防止更换药剂时的泄露，当然，在其他实施例中，也可以通过其他连接装置进行连接，此处仅为较为优选的实施方案。具体的，药剂罐2的个数为多个，多个药剂罐2在底座上沿竖直方向依次设置，药剂罐2间经连接件3可拆卸的固定连接。为了能够对废气中多种不同性质的气流进行吸附，可设置多个药剂罐2，每个药剂罐2中设置不同的药剂对废气进行处理，如在不同药剂罐2中分别设置碱性药剂和酸性药剂，多个药剂罐2的大小、形状相同，可在一个药剂罐2损坏时，通过另一个药剂罐2进行替代，实现模块化生产，在需更换时更加方便。多个药剂罐2在底座上沿竖直方向依次设置，且通过连接件3连接，可对废气中的不同有害物质进行吸附，在其他实施例中也可以根据废气所含有害物质自行设置药剂罐2的个数，均在本技术的保护范围内。在上述各实施例的基础上，均流件包括均流板，均流板上设置有均匀分布的通气孔。为了使废气均匀分布，可在均流板上设置通气孔，使得废气通过通气孔进行扩散，通气孔可具体为沿周向均匀分布的长条孔，在其他实施例中，也可以根据需要自行设置通气孔的类型，只要能够达到相同的技术效果即可，对具体的实现形式不作限定。在上述各实施例的基础上，均流件包括多个设有重叠部的均流叶片5，多个均流叶片5沿周向均匀布置。均流件包括多个均流叶片5，每个叶片间设置有重叠部，且在竖直方向上留有空隙，废气可通过空隙穿过均流件，具体的，多个均流叶片5可沿周向均匀布置，使得气流可均匀通过叶片。对均流叶片5的具体形式不作限定，只要能够达到相同的技术效果即可。一般的，可在药剂罐本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干式废气处理装置，其特征在于，包括底座和设置于所述底座上的药剂罐，所述药剂罐的底部设置有用于气流均匀分布的均流件，所述底座上设置有进气口，所述药剂罐设置有出气口。

【技术特征摘要】
1.一种干式废气处理装置，其特征在于，包括底座和设置于所述底座上的药剂罐，所述药剂罐的底部设置有用于气流均匀分布的均流件，所述底座上设置有进气口，所述药剂罐设置有出气口。2.根据权利要求1所述的干式废气处理装置，其特征在于，所述底座与所述药剂罐间可拆卸的固定连接。3.根据权利要求2所述的干式废气处理装置，其特征在于，所述底座与所述药剂罐间设置有经卡箍卡紧的密封圈。4.根据权利要求3所述的干式废气处理装置，其特征在于，所述底座与所述药剂...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，姚翔，
申请(专利权)人：上海盛剑环境系统科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31