【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，所述氧化锌前驱体包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物：其中R1和R2为氢或CnH2n+1。FDA00002426768000011.jpg
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：朴洙昊，金序炫，朴正佑，朴兑正，刘泳祚，尹根尚，崔殷豪，金荣云，金保京，申亨秀，尹承镐，李相度，李相益，任相俊，
申请(专利权)人：三星康宁精密素材株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。