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氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法技术
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下载氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法的技术资料
文档序号:8743379
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一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体,其包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物:其中R1和R2为氢或CnH2n+1。n为选自1至3的数值,R1和R2选自由氢、甲基、乙基和异丙基组成的组中的至少一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括以下步骤:将基...
该专利属于三星康宁精密素材株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星康宁精密素材株式会社授权不得商用。
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