卷对卷溅射方法技术

卷对卷溅射方法包括：将在拆卷机辊上卷绕的柔性基板转运到沉积部分，在所述柔性基板上形成沉积膜，并在卷线机辊上卷绕所述柔性基板。所述沉积部分包括第一沉积部分。所述第一沉积部分包括第一溅射部分和加热器，所述第一溅射部分在所述柔性基板的一个表面上沉积第一靶材料，并且所述加热器布置在所述柔性基板的另一表面的一侧以加热所述柔性基板。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】包括：将在拆卷机辊上卷绕的柔性基板转运到沉积部分，在所述柔性基板上形成沉积膜，并在卷线机辊上卷绕所述柔性基板。所述沉积部分包括第一沉积部分。所述第一沉积部分包括第一溅射部分和加热器，所述第一溅射部分在所述柔性基板的一个表面上沉积第一靶材料，并且所述加热器布置在所述柔性基板的另一表面的一侧以加热所述柔性基板。【专利说明】相关申请的交叉引用本申请要求于2012年12月3日提交的韩国专利申请10_2012_0138963的优先权，其全部内容为所有的目的通过引用合并于此。
本申请涉及，更具体地涉及通过溅射沉积在柔性基板上形成沉积膜的。
技术介绍
通常，柔性显示器、有机电致发光(EL)显示器、电泳墨水(E-1nk)等的液晶显示器中的液晶周围的柔性基板作为高柔性的聚合物薄膜实现。通过，用由氧化铟锡(ITO)、ZnO, SnO2, ln203、Nb2O5, SiOx等制造的透明导电膜、功能涂层等涂布聚合物薄膜。图1为显示现有技术的卷对卷溅射设备的示意性配置视图。参照图1，现有技术的卷对卷溅射设备包括拆卷机辊10、卷线机辊20、多个导辊IOa和20a、冷却滚筒30和溅镀机40。拆卷机辊10和卷线机辊20通过它们之间配合的旋转解开和卷绕聚合物薄膜。以特定的距离布置多个导辊IOa和20a，以便当所述聚合物薄膜被转动时有助于控制张力。由于拆卷机辊10、卷线机辊20和多个导辊IOa和20a的机械协作，聚合物薄膜被连续地转运到冷却滚筒30上。此外，溅镀机40在被转运到冷却滚筒30的聚合物薄膜上形成沉积膜。冷却滚筒30防止聚合物薄膜在溅射过程中由于加热而熔化和变形。由于聚合物薄膜具有差的耐热性，因此冷却滚筒30是必需的，以在聚合物薄膜上形成沉积膜。韩国专利公开10-2011-0012182 (2011年2月9日)公开了关于卷对卷溅射设备的技术。由于显示器和相关信息技术(IT)产业的最近的发展，正在开发使用层压的玻璃代替作为柔性基板的聚合物薄膜的各种装置。因此，正在开发和商业地分配具有100 μ m或更小的厚度的辊类型柔性玻璃产品。在各种热条件下可用各种涂布材料有利地涂布玻璃，因为与聚合物薄膜相比，它具有强的耐热性和较好的透湿性。然而，当使用现有技术的包括冷却滚筒的卷对卷溅射设备用涂布材料涂布柔性玻璃时，具有较优的耐热性的柔性玻璃的优点不足以付诸实际的应用，这是有问题的。尤其地，当在150°C或更高的温度沉积时，由于提高的结晶度，引起兴趣的氧化铟锡(ITO)具有较好的质量。然而，当使用现有技术的卷对卷溅射设备时，不可应用热涂布工艺。因此，可使用在所述 柔性玻璃上沉积由SiOx等制造的种晶层后用ITO低温涂布柔性玻璃的方法。然而，这个方法具有缺点，因为它必需用于形成所述种晶层的另外的阴极，并且产生的ITO的电阻率和透射率特性差于在高温结晶的那些ΙΤ0。专利技术背景部分中公开的信息仅是为了更好理解本专利技术的背景而提供，而不应认为是对该信息构成本领域技术人员已知的现有技术的确认或任何形式的暗示。
技术实现思路
本专利技术的各个方法提供了可执行热溅射沉积工艺的。本专利技术的一个方面提供了，所述方法包括:将在拆卷机辊上卷绕的柔性基板转运到沉积部分，在所述柔性基板上形成沉积膜，和在卷线机辊上卷绕所述柔性基板。所述沉积部分包括第一沉积部分。所述第一沉积部分包括:第一溅射部分和加热器，所述第一溅射部分在所述柔性基板的一个表面上沉积第一靶材料，所述加热器布置在所述柔性基板的另一表面的一侧以加热所述柔性基板。根据本专利技术的实施方式，所述沉积部分可进一步包括第二沉积部分。所述第二沉积部分包括:第二溅射部分和冷却滚筒，所述第二溅射部分在所述柔性基板的一个表面上沉积第二靶材料，所述冷却滚筒接触并冷却所述柔性基板。所述冷却滚筒内部可具有流动通道。冷却水沿所述流动通道流动，以将所述柔性基板保持在预定的温度。所述第二溅射部分可包括多个溅射部分。所述第一沉积部分可包括隔热部件，所述隔热部件阻碍所述加热器产生的热被转移到所述第一沉积部分的外部。所述第一沉积部分可进一步包括冷却装置，所述冷却装置用于防止由所述加热器产生的热被转移到所述第一沉积部分的外部。所述柔性基板可包括柔性玻璃。所述加热器可使在所述柔性基板的一个表面上沉积的第一靶材料结晶。所述第一溅射部分可包括多个溅射部分。根据本专利技术的实施方式，可能通过用所述加热器加热所述柔性基板而进行热溅射。本专利技术的方法和装置具有其它特征和优点，这些特征和优点在合并于此的附图和以下的本专利技术详细描述中将变得明显或更详细地描述，所述合并于此的附图和以下的本专利技术详细描述一起用于解释本专利技术的某些原理。【专利附图】【附图说明】图1为显示现有技术的卷对卷溅射设备的示意性配置视图；图2为显示根据本专利技术的第一个示例性实施方式的卷对卷溅射设备的示意性概念视图；和图3为显示根据本专利技术的第二个示例性实施方式的卷对卷溅射设备的示意性概念视图。【具体实施方式】现将详细地参照根据本专利技术的，它的实施方式在附图中描述，并且下面说明，以使本专利技术相关的本领域普通技术人员可容易地将本专利技术付诸实施。整个文献中，将参照附图，全部不同的图中使用相同的附图标记和符号表示相同或相似的部件。在本专利技术的下面说明中，当文中整合的已知功能和部件使本专利技术的主题不清楚时，将省略它们的详细说明。图2为显示根据本专利技术的第一个示例性实施方式的卷对卷溅射设备的示意性概念视图。参照图2，根据这个实施方式的卷对卷溅射设备包括拆卷机辊100、包括第一沉积部分310的沉积部分300、卷线机辊200和多个导辊IOOa和200a。拆卷机辊100和卷线机辊200用于通过它们之间配合的旋转解开并卷绕柔性基板。以特定的距离布置多个导辊IOOa和200a，以便当所述柔性基板被转动时有助于控制张力。可将张力调节装置和张力控制传感器添加到导辊，以在特定的张力水平下转动所述柔性基板。由于拆卷机辊100、卷线机辊200和多个导辊IOOa和200a的机械协作，柔性基板被连续地转运到所述沉积部分。所述柔性基板可实现为柔性玻璃。优选地，所述柔性玻璃具有IOOym的厚度。沉积部分300为其中通过在所述柔性基板上溅射沉积来对膜进行沉积的反应区域，所述柔性基板通过拆卷机辊100、多个导辊IOOa和200a的机械协作被转运。所述沉积部分300包括所述第一沉积部分310。所述第一沉积部分310包括第一派射部分312和加热器314。第一溅射部分312包括由将在所述柔性基板上形成沉积膜的材料构成的第一个靶(未显示)和作为从所述第一个靶释放原子的电源的阴极(未显示)。第一溅射部分312通过在所述柔性基板的一个表面上沉积所述第一靶材料而形成所述沉积膜。优选地，所述第一靶材料由通过随后被加热器314热处理而结晶的材料制造，例如氧化铟锡(ΙΤ0)、氧化铟锌(ΙΖ0)、氧化铝锌(AZO)等。第一溅射部分312可包括多个溅射部分。所述多个溅射部分可实现为由相同材料或不同材料制造的靶。当靶由相同的材料制造时，可在所述柔性基板上高速沉积厚的膜。当靶由不同的材料制造时，可用多层结构涂布所述柔性基板，其中，由各种靶材料制造的所述沉积膜彼此堆叠。在所述柔性基板的一个表面的一侧布置加热器314，以加热所述柔性基板。由于将加热器314加入所述柔性基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种卷对卷溅射方法，所述方法包括：将在拆卷机辊上卷绕的柔性基板转运到沉积部分，在所述柔性基板上形成沉积膜，和在卷线机辊上卷绕所述柔性基板，其中，所述沉积部分包括第一沉积部分，所述第一沉积部分包括：第一溅射部分，所述第一溅射部分将第一靶材料沉积到所述柔性基板的一个表面上，和加热器，所述加热器布置在所述柔性基板的另一表面的一侧以加热所述柔性基板。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴定烘，安阵修，林昌默，梁基模，吴商润，
申请(专利权)人：三星康宁精密素材株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR