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卷对卷溅射方法包括：将在拆卷机辊上卷绕的柔性基板转运到沉积部分，在所述柔性基板上形成沉积膜，并在卷线机辊上卷绕所述柔性基板。所述沉积部分包括第一沉积部分。所述第一沉积部分包括第一溅射部分和加热器，所述第一溅射部分在所述柔性基板的一个表面上沉...
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