【技术实现步骤摘要】
一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置
本技术涉及一种离子抛光装置，特别涉及一种卷对卷薄带表面离子抛光动态目.0
技术介绍
连续生产基底表面粗糙度极低的金属长带或者非金属长带，例如，高温超导涂层导体基带，通常利用紅离子抛光机，对高温超导涂层导体基带进行抛光，但是抛光室很难达到高真空，导致抛光效果不理想。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置，主要解决抛光室很难达到高真空，导致高温超导涂层导体基带抛光效果不理想的技术问题。 本技术的技术方案为:一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置，包括依次连通的放卷室、收卷室、离子抛光室，所述离子抛光室内设置紅离子抛光机，离子抛光室通过管路外接抽气泵组，其特征是在离子抛光室两侧设有与之连通的级差真空室，所述级差真空室通常设有2-5级，即分割成依次连通的2-5个腔室，每个腔室通过管路联通抽气泵组。 本技术的有益效果是:放卷盘和收卷盘可以放在一个大气压下，通过级差式真空，达到抛光室的高真空。该方式的优点是利于连续生产，换盘时不需要对抛光室放气。可以将薄带表面的粗糙度降低至1纳米以下。 【附图说明】 图1为本技术结构示意图。 图中:1-放卷室，2-级差真空室，3-离子抛光室，4-收卷室，5-抽气泵组，6-紅离子抛光机。 【具体实施方式】 参照图1，一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置，包括依次连通的放卷室1、收卷室4、尚子抛光室3，所述尚子抛光室3内设置八！'尚子抛光机6，尚子抛光室3通过管路外接抽气泵组5，在离子抛光室3两侧设有与之连通的级差真空室2，所述级差真...
【技术保护点】
一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置，包括依次连通的放卷室、收卷室、离子抛光室，所述离子抛光室内设置Ar离子抛光机，离子抛光室通过管路外接抽气泵组，其特征是在离子抛光室两侧设有与之连通的级差真空室，级差真空室每个腔室通过管路联通抽气泵组。
【技术特征摘要】
1.一种卷对卷薄带表面离子抛光动态装置，包括依次连通的放卷室、收卷室、离子抛光室，所述离子抛光室内设置Ar离子抛光机，离子抛光室通过管路外接抽气泵组，其特征是在离子抛光室两侧设有与之...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡传兵，刘志勇，郭艳群，陆齐，
申请(专利权)人：上海上创超导科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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