一种硅片盒搬送台车制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片盒搬送台车，用于将硅片盒搬送入洁净室，其中，所述搬送台车包括一个台面和四个支撑柱，所述支撑柱位于所述台面下方并支撑所述台面，所述支撑柱下方安装有滑轮并与地面接触；所述同侧的支撑柱之间在所述台面下方预设的位置安装有一挡板装置；本实用新型专利技术的有益效果是：可以满足硅片运送过程中消除静电、洁净度、避震、以及在各种情况下触发洁净室移门的诸多需求。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片盒搬送
，尤其涉及一种硅片盒搬送台车。
技术介绍
在芯片制造企业，当硅片尺寸由8寸增大到12寸后，由于硅片面积、厚度的增加，加上装在娃片的前开口片盒(Front Opening Unified Pod, F0UP), —批产品的重量增大到约8kg左右，靠人力长距离搬送已经比较吃力，且对硅片的安全也没有保证，除去自动搬送系统(Auto Material Handling System, AMHS)的搬送以外,仍有部分离线操作需要作业员使用推车搬送，推车通过平开门会带来很多不便，如果通过自动移门则有移门闭合和推车、人员发生碰撞的可能。因硅片价格昂贵易碎，一旦发生碰撞、震动可能造成严重损失。
技术实现思路
根据上述现有技术中存在的缺陷，本技术提供一种硅片盒搬送台车的技术方案，具体如下一种硅片盒搬送台车，用于将硅片盒搬送入洁净室，其中，所述搬送台车包括一个台面和四个支撑柱，所述支撑柱位于所述台面下方并支撑所述台面，所述支撑柱下方安装有滑轮并与地面接触；所述同侧的支撑柱之间在所述台面下方预设的位置安装有一挡板装置。优选地，该硅片盒搬送台车，其中，还包括内置的避震弹簧装置，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片盒搬送台车，用于将硅片盒搬送入洁净室，其特征在于，所述搬送台车包括一个台面和四个支撑柱，所述支撑柱位于所述台面下方并支撑所述台面，所述支撑柱下方安装有滑轮并与地面接触；所述同侧的支撑柱之间在所述台面下方预设的位置安装有一挡板装置。

【技术特征摘要】
1.一种硅片盒搬送台车，用于将硅片盒搬送入洁净室，其特征在于，所述搬送台车包括一个台面和四个支撑柱，所述支撑柱位于所述台面下方并支撑所述台面，所述支撑柱下方安装有滑轮并与地面接触；所述同侧的支撑柱之间在所述台面下方预设的位置安装有一挡板装置。2.如权利要求1所述的硅片盒搬送台车，其特征在于，还包括内置的避震弹簧装置，所述避震弹簧装置安装在所述滑轮上方并与所述滑轮连接。3.如权利要求1所述的硅片盒搬送台车，其特征在于，所述台面是矩形的，所述挡板装置沿所述台面的长边方向安装在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓东，周利民，黄煜，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：