【技术实现步骤摘要】
本技术涉及ー种太阳能电池片制造设备，尤其涉及ー种用于湿法刻蚀エ序的湿法刻蚀机。
技术介绍
多晶硅太阳能电池制造中有一道湿法刻蚀エ序，该エ序的主要目的是去除硅片四周及底部的PN结。一般硅片刻蚀采用的是滚轮传动“水上漂”的形式，常规设计各传动滚轮直径相同，保证了传动的稳定性。但是由于在生产中反应产生的气泡释放时会在硅片尾部炸开导致漫液，使硅片前后沿的刻蚀效果产生很大差异，如果漫液不调整会损伤正面的PN结，如果降低溶液的液面高度，硅片前沿脱离液面导致刻不通，不能保证刻蚀的效果。
技术实现思路
·本技术要解决的技术问题是提供ー种使用效果好的湿法刻蚀机。为了解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案来实现的本技术包括槽体、设于槽体内轴线相互平行的传动滚轮，所述设于槽体内位于中间的滚轮直径最小，并由中间向两侧依次增大。由于本技术中的滚轮采用直径由中间向两侧依次増大设计，工作时可使硅片前后沿会先后接触刻蚀液，并且不会在深液位保持太长时间，保证了刻蚀效果，同时不会造成漫液。附图说明附图是本技术的结构示意图。具体实施方式以下结合附图及具体实施方式对本技术作进ー步详细的描述如附图所示本技术包括槽体1、设于槽体I内轴线相互平行的传动滚轮2、3、5、6、7，设于槽体I内位于中间的滚轮5直径最小，并由中间向两侧依次増大。
【技术保护点】
一种湿法刻蚀机，包括槽体、设于槽体内轴线相互平行的传动滚轮，其特征在于所述设于槽体内位于中间的滚轮直径最小，并由中间向两侧依次增大。
【技术特征摘要】
1.一种湿法刻蚀机，包括槽体、设于槽体内轴线相互平行的传动滚轮，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：何智锋，柴晓燕，
申请(专利权)人：浙江丰球光伏科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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