一种链式湿法刻蚀机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种链式湿法刻蚀机，包括风干槽传输机构，该风干槽传输机构包括配合设置的上滚轮和下滚轮；所述上滚轮包括滚轴、套设于滚轴上的滚轴套；所述滚轴和滚轴套之间具有间隙；所述上滚轮和下滚轮间隙配合，当基片从上滚轮和下滚轮之间的间隙通过时，使得所述滚轴套与基片之间构成线接触。本实用新型专利技术将滚轴和滚轴套之间设置成具有间隙的结构，使得作用于电池表面的力由现有的整个上滚轮变成滚轴套，因而大大降低了作用于电池表面的力，降低碎片量；同时解决了因滚轮印影响基片外观的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制造
，具体涉及一种链式湿法刻蚀机。
技术介绍
近年来，光伏发电是利用太阳光能使半导体电子器件有效地吸收太阳光辐射能，并使之转变成电能的直接发电方式，是当今太阳光发电的主流。当前，人们通常所说太阳光发电就是太阳能光伏发电，亦称太阳能电池发电，其核心部件是太阳能电池片。现有的太阳能电池片的制造过程分为制绒-扩散-刻蚀-PECVD镀膜-丝网印刷-测试分选。其中，刻蚀工序的作用去掉硅片背面和硅片侧面的PN结，达到正面与背面绝缘的目的。现有的刻蚀工序一般采用链式湿法刻蚀机，现有的链式湿法刻蚀机主要包括烘干槽、第一水洗槽、酸洗槽、第二水洗槽、风干槽等；其中，风干槽内设有风干槽传输机构，该风干槽传输机构包括配合设置的上轮滚和下滚轮；所述上滚轮包括滚轴、间隔套设于滚轴上的复数个滚轴套，为了增大摩擦力，各个滚轴套上还设有凸出的摩擦凸环（橡胶圈）。现有结构中要么滚轴和滚轴套为一体结构，此时作用于电池表面的力较大，易造成碎片量的增加；要么滚轴和滚轴套为分体结构，但是滚轴套和滚轮之间仍然采用点式接触，因此滚轮与硅片表面的摩擦力大，不能彻底解决滚轮印对电池片（基片）外观的影响。另一方面，为了解决太阳能电池组件衰减问题，在电池片端增加了抗PID工艺，例如在刻蚀后的硅片表面使用臭氧进行氧化，然后在进入PECVD镀膜工序。然而，实际应用发现，现有的链式湿法刻蚀机在风干的过程中，硅片在风干槽内会受到上、下滚轮的摩擦，这种摩擦损伤在风干的过程中会加重，进行后道工序氧化之后，会在电池片表面形成明显的滚轮印，对电池片外观造成极大影响。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种链式湿法刻蚀机。为达到上述专利技术目的，本技术采用的技术方案是：一种链式湿法刻蚀机，包括风干槽传输机构，该风干槽传输机构包括配合设置的上滚轮和下滚轮；所述上滚轮包括滚轴、套设于滚轴上的滚轴套；所述滚轴和滚轴套之间具有间隙；所述上滚轮和下滚轮间隙配合，当基片从上滚轮和下滚轮之间的间隙通过时，使得所述滚轴套与基片之间构成线接触。上文中，所述滚轴套与基片之间构成线接触，是指滚轴套的外表面是平面结构，其与基片接触时，滚轴套与基片之间构成线接触，这样可以增大摩擦力，减少由现有技术中因点接触而需要较大压力来维持摩擦力。当所述滚轴套的外表面设有平行圆环结构的摩擦纹理时，滚轴套与基片之间构成虚线线接触。优选的，所述滚轴套的横截面的内圆直径大于滚轴横截面的外圆直径3~5mm。上文中，所述滚轴和滚轴套之间具有间隙，这个间隙的大小非常重要，间隙过小易产生碎片，而间隙过大会产生抖动，也会增加碎片量，因此，本技术限定了滚轴套的横截面的内圆直径大于滚轴横截面的外圆直径3~5mm，即滚轴套内表面与滚轴外表面的间隙为3~5mm。上文中，所述滚轴套的长度大于基片的边长。上述技术方案中，所述滚轴套为连续结构，整条套设于所述滚轴上。优选的，所述滚轴套的长度为900~1000mm。优选的，所述滚轴套的重量为100~150克。与之相应的另一种技术方案，所述滚轴套为分段结构，间隔套设于滚轴上，且各个滚轴套两侧的滚轴上设有滚轴套限位销。优选的，所述滚轴套的长度为180~200mm。优选的，所述滚轴套的重量为20~30克。优选的，所述滚轴套的位置与基片传输的位置相对应。此外，当上滚轮有多组时，每个上滚轮上的滚轴套限位销的位置应当一一对应，位于同一条直线上，这样才可以保证基片被直线运输走，而不会发生偏移。优选的，所述滚轴套为橡胶滚轴套。优选的，所述滚轴套的外表面设有平行圆环结构的摩擦纹理，且所述圆环与滚轴套的横截面平行。由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：1．本技术将滚轴和滚轴套之间设置成具有间隙的结构，使得作用于基片表面的力由现有的整个上滚轮变成滚轴套，因而大大降低了作用于电池表面的力，降低碎片量；同时，本技术取消了现有技术中的橡胶凸环圈，而改成滚轴套与基片直接线接触，增加了基片的受力面积，减小了上滚轮与基片表面的摩擦力，解决了因滚轮印影响基片外观的问题，取得了显著的效果；2.本技术可以将滚轴套设置成分段结构，进一步降低滚轴套作用于基片表面的力，降低碎片量；3.本技术可以在滚轴套的外表面设置平行圆环结构的摩擦纹理，防止基片偏离轨道；4.本技术的结构简单，易于制备，成本较低，适于推广应用。附图说明图1是本技术实施例一中风干槽的示意图。图2是图1中上滚轮的结构示意图。图3本技术实施例一中滚轴和滚轴套的使用状态的侧视图。其中：1、上轮滚；2、下轮滚；3、滚轴；4、滚轴套；5、滚轴套限位销。具体实施方式下面结合附图及实施例对本技术作进一步描述：实施例一：参见图1~3所示，一种链式湿法刻蚀机，包括风干槽传输机构，该风干槽传输机构包括配合设置的上滚轮1和下滚轮2；所述上滚轮包括滚轴3、间隔套设于滚轴上的5个滚轴套4；其中滚轮套所在的位置对应基片传输所在的位置，确保传输过程中基片沿滚轮套的限位区域基本呈直线移动，避免基片行列之间产生叠片现象；所述滚轴和滚轴套之间具有间隙，且滚轴套的横截面的内圆直径大于滚轴横截面的外圆直径4mm；各个滚轴套两侧的滚轴上设有滚轴套限位销5。由于包括多个上滚轮，因此每个上滚轮的滚轴套限位销位置一一对应，确保每个滚轮套沿基片传输方向基本呈直线排列。滚轴套限位销之间的区域对应基片传输阵列的空白区域。所述滚轴套为橡胶滚轴套。所述滚轴套的长度为190mm。所述滚轴套的重量为25克。所述滚轴套的外表面设有平行圆环结构的摩擦纹理。在刻蚀过程中，被刻蚀掉背面及边沿结的基片进入风干槽进行干燥，基片在上下滚轮的挤压作用下从上滚轮和下滚轮之间的空隙通过，其中下滚轮为主动轮，上滚轮为从动轮，主动轮在电机的作用下旋转，带动基片和上滚轮移动。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种链式湿法刻蚀机，包括风干槽传输机构，该风干槽传输机构包括配合设置的上滚轮(1)和下滚轮(2)；其特征在于：所述上滚轮包括滚轴(3)、套设于滚轴上的滚轴套(4)；所述滚轴和滚轴套之间具有间隙；所述上滚轮和下滚轮间隙配合，当基片从上滚轮和下滚轮之间的间隙通过时，使得所述滚轴套与基片之间构成线接触。

【技术特征摘要】
1.一种链式湿法刻蚀机，包括风干槽传输机构，该风干槽传输机构包括配合设置的上滚轮(1)和下滚轮(2)；其特征在于：所述上滚轮包括滚轴(3)、套设于滚轴上的滚轴套(4)；所述滚轴和滚轴套之间具有间隙；所述上滚轮和下滚轮间隙配合，当基片从上滚轮和下滚轮之间的间隙通过时，使得所述滚轴套与基片之间构成线接触。2.根据权利要求1所述的链式湿法刻蚀机，其特征在于：所述滚轴套的横截面的内圆直径大于滚轴横截面的外圆直径3~5mm。3.根据权利要求1所述的链式湿法刻蚀机，其特征在于：所述滚轴套的长度大于基片的边长。4.根据权利要求1所述的链式湿法刻蚀机，其特征在于：所述滚轴套为连续结构，整条套设于所述滚轴上。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：周军，党继东，刘东续，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32