一种用于槽型湿法设备的干燥装置及干燥方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于槽型湿法设备的干燥装置及干燥方法，通过在槽型湿法设备的装载及卸载晶圆区域设置干燥装置，并通过干燥装置的喷嘴，向从干燥槽进入装载及卸载晶圆区域的传送手臂的至少两侧喷射干燥气体，对传送手臂进行干燥，且能够调节干燥气体的喷射位置、距离和角度，可改善槽型湿法清洗设备装载及卸载晶圆区域的环境，防止水汽集聚，从而可有效避免晶圆表面产生凝结缺陷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造设备
，更具体地，涉及一种用于槽型湿法设备、可防止晶圆在装载及卸载时表面产生凝结缺陷的干燥装置及干燥方法。
技术介绍
在半导体晶圆的加工工艺中，晶圆表面在水汽环境下容易产生condensedefect(凝结缺陷)，此缺陷如果在一些关键工艺如离子注入前或栅氧化层淀积前的清洗工艺环节产生，就会对晶圆的良率产生不利影响。请参阅图1，图1是现有的一种采用槽型湿法清洗设备清洗晶圆时的流程图。如图1所示，清洗工艺所使用的槽型湿法清洗设备10一般分为清洗槽1、干燥槽2以及装载及卸载晶圆区域3。晶圆一般先进入装载及卸载晶圆区域3，然后传送手臂4将晶圆传送到清洗槽1进行湿法清洗工艺，清洗工艺结束后传送手臂4会把晶圆传送到干燥槽2进行表面干燥，干燥工艺完成后传送手臂4会再次将晶圆传送至装载及卸载晶圆区域3，最后晶圆离开设备(如图示箭头方向所指)。从上述流程可见，当晶圆在干燥工艺后表面是干燥的，此时不会有凝结缺陷问题。在槽型湿法设备中，由于其装载及卸载晶圆区域与清洗晶圆区域公用同样的传送手臂，所以通常传送手臂会把其侧壁残留的一些水汽带到装载及卸载晶圆区域，导致在装载及卸载晶圆区域的环境充满水汽。虽然目前各种槽型湿法设备都有清洗传送手臂的装置设备，但在传送手臂的侧壁等清洗死角部分总会有水汽附着，从而导致传送手臂将晶圆传送到装载及卸载晶圆区域时或多或少会带些水汽。长时间水汽积累会导致装载及卸载晶圆的环境变差，如果装载及卸载晶圆区域环境水汽严重，那么晶圆在最后进入装载及卸载晶圆区域时可能就会产生凝结缺陷。而且，由于此环节是晶圆在湿法设备里的最后环节，后续无干燥工艺，所以，此时晶圆上的凝结缺陷是无法去除的。因此，如何改善槽型湿法清洗设备装载及卸载晶圆区域的环境，防止水汽集聚，避免晶圆表面产生凝结缺陷，就成为当前一个重要课题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种用于槽型湿法设备的干燥装置及干燥方法，可改善槽型湿法清洗设备装载及卸载晶圆区域的环境，防止水汽集聚，避免晶圆表面产生凝结缺陷。为实现上述目的，本专利技术的技术方案如下：一种用于槽型湿法设备的干燥装置，所述槽型湿法设备包括清洗槽、干燥槽以及装载及卸载晶圆区域，并通过传送手臂将晶圆在其之间传送，所述干燥装置包括至少两组干燥气体喷嘴，所述喷嘴设于装载及卸载晶圆区域的相对两侧，所述干燥装置通过所述喷嘴，向从干燥槽进入装载及卸载晶圆区域的传送手臂两侧喷射干燥气体，对所述传送手臂进行干燥。优选地，每组所述喷嘴与传送手臂之间的水平、垂直位置及相互距离可调。优选地，所述喷嘴的喷射角度可调。优选地，所述喷嘴在装载及卸载晶圆区域的四周分设四组。优选地，在装载及卸载晶圆区域的上方还设有一组所述喷嘴。优选地，每组的所述喷嘴并列设置1-6个，并围绕每组所述喷嘴设有广角导向罩。一种用于槽型湿法设备的干燥方法，使用上述的用于槽型湿法设备的干燥装置，包括：使用传送手臂，将进入装载及卸载晶圆区域的晶圆依次传送到清洗槽、干燥槽进行湿法清洗工艺并进行表面干燥，然后，再次将晶圆传送至装载及卸载晶圆区域；打开干燥装置的各组喷嘴，至少从传送手臂的两侧喷射干燥气体，对进入装载及卸载晶圆区域的所述传送手臂进行干燥。优选地，对所述传送手臂进行干燥时，从传送手臂的四周及上方向传送手臂喷射干燥气体。优选地，对所述传送手臂进行干燥时，通过变换所喷射的干燥气体与传送手臂之间的水平、垂直位置及相互距离，以及变换喷射角度，对所述传送手臂进行移动式及多角度的干燥处理。优选地，所述干燥气体为经加热的高压氮气。从上述技术方案可以看出，本专利技术通过在槽型湿法设备的装载及卸载晶圆区域设置干燥装置，并通过干燥装置的喷嘴，向从干燥槽进入装载及卸载晶圆区域的传送手臂的至少两侧喷射干燥气体，对传送手臂进行干燥，且能够调节干燥气体的喷射位置、距离和角度，可改善槽型湿法清洗设备装载及卸载晶圆区域的环境，防止水汽集聚，从而可有效避免晶圆表面产生凝结缺陷。附图说明图1是现有的一种采用槽型湿法清洗设备清洗晶圆时的流程图；图2是本专利技术一较佳实施例的一种用于槽型湿法设备的干燥装置俯视结构示意图。具体实施方式下面结合附图，对本专利技术的具体实施方式作进一步的详细说明。需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本专利技术的实施方式时，为了清楚地表示本专利技术的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本专利技术的限定来加以理解。在以下本专利技术的具体实施方式中，请参阅图2，图2是本专利技术一较佳实施例的一种用于槽型湿法设备的干燥装置俯视结构示意图。如图2所示，本专利技术的干燥装置用于槽型湿法设备10，所述槽型湿法设备10包括依次排列设置的清洗槽1、干燥槽2以及装载及卸载晶圆区域3。并且，所述槽型湿法设备10通过传送手臂4将晶圆在清洗槽1、干燥槽2以及装载及卸载晶圆区域3之间进行传送(请参考图1加以理解)。请继续参阅图2。所述干燥装置可包括至少两组的干燥气体喷嘴5、6，所述喷嘴5、6与干燥气体供应源相连接。所述喷嘴5、6设于装载及卸载晶圆区域3，并相对位于装载及卸载晶圆区域的两侧，使从干燥槽2进入装载及卸载晶圆区域3的传送手臂4可以位于这两组干燥气体喷嘴5、6之间。当传送手臂4将晶圆从干燥槽2传送到装载及卸载晶圆区域3时，所述干燥装置即可通过打开所述喷嘴5、6的控制阀，向进入装载及卸载晶圆区域的传送手臂4两侧喷射干燥气体，对所述传送手臂4进行干燥。作为一优选的实施方式，可通过分别将每组所述喷嘴5、6安装在一个三轴向移动机构(图略)上，从而在进行干燥时，可使每组所述喷嘴5、6与传送手臂4之间的水平、垂直位置及相互距离处于可调节状态，以便根据传送手臂4的外形结构轮廓特点，移动喷嘴5、6使之位于恰当的位置，可提高干燥的效果并节约时间及用气量。进一步地，还可以将所述喷嘴5、6安装在一个转动机构(图略)上，以便使所述喷嘴5、6的喷射角度可调。从而可在进行干燥时，对传送手臂4的两侧进行全方位的干燥，避免产生工艺死角。请继续参阅图2。作为一优选的实施方式，在上述相对设置两组喷嘴5、6的基础上，还可以在装载及卸载晶圆区域3相对的另外两侧再设置两组喷嘴7、8，从而构成在装载及卸载晶圆区域3的四周分设四组所述喷嘴5-8。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于槽型湿法设备的干燥装置，所述槽型湿法设备包括清洗槽、干燥槽以及装载及卸载晶圆区域，并通过传送手臂将晶圆在其之间传送，其特征在于，所述干燥装置包括至少两组干燥气体喷嘴，所述喷嘴设于装载及卸载晶圆区域的相对两侧，所述干燥装置通过所述喷嘴，向从干燥槽进入装载及卸载晶圆区域的传送手臂两侧喷射干燥气体，对所述传送手臂进行干燥。

【技术特征摘要】
1.一种用于槽型湿法设备的干燥装置，所述槽型湿法设备包括清洗
槽、干燥槽以及装载及卸载晶圆区域，并通过传送手臂将晶圆在其之间传送，
其特征在于，所述干燥装置包括至少两组干燥气体喷嘴，所述喷嘴设于装载
及卸载晶圆区域的相对两侧，所述干燥装置通过所述喷嘴，向从干燥槽进入
装载及卸载晶圆区域的传送手臂两侧喷射干燥气体，对所述传送手臂进行干
燥。
2.根据权利要求1所述的用于槽型湿法设备的干燥装置，其特征在
于，每组所述喷嘴与传送手臂之间的水平、垂直位置及相互距离可调。
3.根据权利要求1或2所述的用于槽型湿法设备的干燥装置，其特征
在于，所述喷嘴的喷射角度可调。
4.根据权利要求1所述的用于槽型湿法设备的干燥装置，其特征在
于，所述喷嘴在装载及卸载晶圆区域的四周分设四组。
5.根据权利要求1或4所述的用于槽型湿法设备的干燥装置，其特征在
于，在装载及卸载晶圆区域的上方还设有一组所述喷嘴。
6.根据权利要求1、2或4所述的用于槽型湿法设备的干燥装置，其特
征在于，每组的所述喷嘴并列设置1-6个，并围...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞力洋，李阳柏，张传民，陈建维，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31