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本发明公开了一种用于槽型湿法设备的干燥装置及干燥方法，通过在槽型湿法设备的装载及卸载晶圆区域设置干燥装置，并通过干燥装置的喷嘴，向从干燥槽进入装载及卸载晶圆区域的传送手臂的至少两侧喷射干燥气体，对传送手臂进行干燥，且能够调节干燥气体的喷射位...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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