【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能硅片加工自动化设备领域，本专利技术尤其是涉及一种用于PECVD 设备的硅片自动上下料装置。
技术介绍
在现有的硅片减反射膜制备工序中，需将承载盒中的未经PECVD处理过的硅片装入石墨舟中、将石墨舟中的经PECVD处理过的硅片装入承载盒。目前，上述硅片转移动作需要借助人工完成，其缺点在于人工搬运易引起硅片破碎使得生产成本提高，同时，人工操作生产效率低、劳动强度大。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种可以降低生产成本、降低工人劳动强度、自动化程度高的用于PECVD设备的硅片自动上下料装置。按照本专利技术提供的技术方案，所述用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，在机架上转动安装有机械手，在机械手上安装有吸盘，在机械手外侧的机架上安装有第一硅片盒输送机构、第一升降平台机构、导向机构、第一出片搬运机构、第一储料机构、第一运输机构、第一小车定位机构、第一石墨舟定位机构与第一搬运小车，在机架上内侧位置安装有第二硅片盒输送机构、第二升降平台机构、出片输送机构、第二出片搬运机构、第二储料机构、 第二运输机构、第二小车定位机构、第二...
【技术保护点】
一种用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，其特征是：在机架上转动安装有机械手（10），在机械手（10）上安装有吸盘（11），在机械手（10）外侧的机架上安装有第一硅片盒输送机构（1a）、第一升降平台机构（2a）、导向机构（3）、第一出片搬运机构（4a）、第一储料机构（5a）、第一运输机构（6a）、第一小车定位机构（7a）、第一石墨舟定位机构（8a）与第一搬运小车（9a），在机架上内侧位置安装有第二硅片盒输送机构（1b）、第二升降平台机构（2b）、出片输送机构（12）、第二出片搬运机构（4b）、第二储料机构（5b）、第二运输机构（6b）、第二小车定位机构（7b）、第二石墨舟...
【技术特征摘要】
1.一种用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，其特征是在机架上转动安装有机械手(10)，在机械手(10)上安装有吸盘(11 )，在机械手(10)外侧的机架上安装有第一硅片盒输送机构(la)、第一升降平台机构(2a)、导向机构(3)、第一出片搬运机构(4a)、第一储料机构(5a)、第一运输机构(6a)、第一小车定位机构(7a)、第一石墨舟定位机构(8a)与第一搬运小车(9a)，在机架上内侧位置安装有第二硅片盒输送机构(lb)、第二升降平台机构(2b)、出片输送机构(12)、第二出片搬运机构(4b)、第二储料机构(5b)、第二运输机构(6b)、第二小车定位机构(7b)、第二石墨舟定位机构(8b)与第二搬运小车(9b);所述第一运输机构(6a)安装于第一出片搬运机构(4a)的前方，第二运输机构(6b)安装于出片输送机构(12)的前方，机械手(10)安装于第一运输机构(6a)与第二运输机构(6b)之间的机架上。2.如权利要求1所述的用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，其特征是所述第一娃片盒输送机构(Ia)与第二娃片盒输送机构(Ib)结构相同，它们包括第一电机(1.1)、托板(1. 2)、同步带(1. 3)、第一同步带轮(1. 4)、第二同步带轮(1. 5)、转动轴(1. 6)、第三同步带轮(1. 7)与第四同步带轮(1. 8)，在第一电机(1.1)的输出端连接有第四同步带轮(1. 8)，转动轴(1. 6)的两端均固定有第一同步带轮(1. 4)，两第一同步带轮(1. 4)之间的转动轴(1. 6)上固定有第三同步带轮(1. 7),第四同步带轮(1. 8)通过同步带(1. 3)连接第三同步带轮(1. 7),同步带(1. 3)绕过第一同步带轮(1. 4)、托板(1. 2)与第二同步带轮(1. 5)。3.如权利要求1所述的用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，其特征是所述第一升降平台机构(2a)与第二升降平台机构(2b)结构相同，它们包括安装支座(2. 10)、竖向升降组件和水平输送组件，水平输送组件通过第一连接板(2. 7)固定于竖向升降平台组件上，竖向升降组件通过安装支座(2. 10)固定于机架上； 所述竖向升降组件包括第二电机(2. 1)，第二电机(2.1)安装在安装支座(2. 10)上，第二电机(2.1)的输出端通过联轴器与第一丝杠(2. 5)的一端连接,所述第一丝杠(2. 5)的两端通过轴承座转动安装在安装支座(2. 10)上，安装支座(2. 10)上平行安装有第一线轨(2. 2)，在第一线轨(2. 2)内滑动连接有第一滑块(2. 3)，第一丝杠(2. 5)上安装有第一螺母(2. 4)，第一滑块(2. 3)及第一螺母(2. 4)固定在第一连接板(2. 7)上； 所述水平输送组件包括第三电机(2. 11)，第三电机(2. 11)的输出端固定同步带轮，转轴(2. 13)的两端固定两个第五同步带轮(2. 12)，第三电机(2. 11)的输出端的同步带轮通过第二同步带(2. 14)与转轴(2. 13)上的第十同步带轮(2. 16)连接,第二同步带(2. 14)绕过第六同步带轮(2. 15)与第五同步带轮(2. 12)，转轴(2. 13)上方设置有两个挡块(2. 9)，所述第一连接板(2. 7)的上端固定有第一气缸(2. 6),第一气缸(2. 6)的活塞杆端部安装有压紧头。4.如权利要求1所述的用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，其特征是所述导向机构3包括第一安装板(3. 4)、横向定位组件与纵向导向组件；第一安装板(3. 4)的下侧安装有纵向导向组件，第一安装板(3. 4)的上方安装横向定位组件； 所述横向定位组件包括推板(3. 2)、第二线轨(3. 6)，所述第二线轨(3. 6)固定于第一安装板(3. 4)，推板(3. 2)上固定第二滑块(3. 7)，所述第二滑块(3. 7)嵌装于第二线轨(3. 6)上，第一安装板(3. 4)的前端固定推条(3. 3);横向调节单元通过连接块固定于第一安装板(3. 4)上，所述横向调节单元包括第二气缸(3.1)与第五气缸(3.16)，所述第二气缸(3.1)与第五气缸(3. 16)相背固定,第五气缸(3. 16)的活塞杆通过连接块固定于第一安装板(3. 4)上，第二气缸(3.1)的活塞端通过连接杆与推板(3. 2)固定； 所述纵向导向组件包括第一安装板(3. 4)下方的同步带传送单元与第一安装板(3. 4)上方的纵向调节单元；所述同步带传送单元包括两第七同步带轮(3. 10)，两第七同步带轮(3. 10)通过连接轴固定于第一安装板(3. 4)上，所述的两第七同步带轮(3. 10)之间通过第三同步带(3. 13)连接，第一安装板(3. 4)下方设置线轨，第一传动块(3. 11)与第二传动块(3. 20)上分别固定有滑块，所述第一传动块(3. 11)与第四传动块(3. 20)上的滑块分别嵌装于第一安装板(3. 4)下方设置的线轨上，其中第一传动块(3. 11)的一侧固定有第一齿形块(3. 17)，所述第一齿形块(3. 17)上的齿与第三同步带(3. 13)上的齿啮合，且齿形块(3. 17)与第三同步带(3. 13)及第二传动块(3. 12)固定，所述第四传动块(3. 20)上一侧固定有第二齿形块(3. 18)，所述第二齿形块(3. 18)上的齿与第三同步带(3. 13)上的齿啮合，且第二齿形块(3. 18)与第三同步带(3. 13)及第五传动块(3. 19)固定，所述第二传动块(3. 12)通过两连杆与第三传动块(3. 14)固定，连杆的下端与第二连接板(3. 9)固定，第二连接板(3. 9)上固定多个第一导向轮(3. 8)，所述第五传动块(3. 19)通过两连杆与第八连接板(3. 22)连接，第八连接板(3. 22)上固定多个第二导向轮(3. 21);所述第三传动块(3. 14)与纵向调节组件连接；所述纵向调节单元包括第三气缸(3. 5)、第四气缸(3. 15)，所述第三气缸(3. 5)与第四气缸(3. 15)相背固定，其中第四气缸(3. 15)的活塞杆通过连接块固定于第一安装板(3. 4)上，第三气缸(3. 5)与第三传动块(3. 14)连接。5.如权利要求1所述的用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，其特征是所述第一出片搬运机构4a包括无杆气缸(4. 2)、第四电机(4.1)与第二安装板(4. 10)，所述第二安装板(4. 10)上固定无杆气缸(4. 2)、第三线轨(4. 4)，无杆气缸(4. 2)输出端通过连接板与第一移动板(4. 3)固定；所述第一移动板(4. 3)上固定有第三滑块(4. 5),第三滑块(4. 5)嵌装于所述的第三线轨(4. 4);所述两组第三连接板(4. 11)的一侧、安装底板(4. 9)两侧、第一移动板(4. 3)的前端两侧及无杆气缸(4. 2)输出端上的连接板分别固定滚轮、且滚轮之间通过输送带传动；所述第四电机(4.1)的输出端固定同步带轮，安装底板(4. 9)的一侧通过两轴承支座支撑传动轴(4. 12)，所述传动轴(4. 12)的两端固定同步带轮、且两同步带轮之间设置第十一同步带轮(4. 13)，所述第四电机(4.1)的输出端的同步带轮通过输送带传动第十一同步带轮(4. 13);所述第三连接板(4. 11)之间固定第六气缸(4. 7)，所述第六气缸(4. 7)的输出端与定位块(4. 6)固定，所述定位块(4. 6)上固定滑块、并通过滑块嵌装于第三线轨(4. 4)； 所述第二出片搬运机构4b包括无杆气缸(4. 2)、第四电机(4. 1)...
【专利技术属性】
技术研发人员：王燕清，周昕，
申请(专利权)人：无锡先导自动化设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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