本发明专利技术公开了一种工作效率较高的用于石墨舟设备的硅片取放装置。该用于石墨舟设备的硅片取放装置，包括支架，所述支架上设置有托架，所述托架用于放置石墨舟，所述托架上方设置有用于取放硅片的机械手，所述支架上通过可拆卸装置固定有硅片上料盒与硅片下料盒，该用于石墨舟设备的硅片取放装置在工作时，只需将石墨舟放置在托架的指定位置，然后利用机械手将硅片上料盒内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出后放入硅片下料盒内，可以实现生产的机械化和自动化，取缔人工单调、繁复的体力劳动，大大降低了工人的劳动强度，而且每次取出和放入的硅片数量较多，大大提高了工作效率。适合在硅片加工设备领域推广应用。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片加工设备领域，尤其是一种用于石墨舟设备的硅片取放装置。
技术介绍
由于太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，为了减少太阳光的反射损失，通常所采取的办法是在太阳能电池的硅片表面覆盖一层减反射膜，这层薄膜可以减少太阳光的反射率，增加光电转换效率，在晶体硅表面淀积减反射膜技术中，氮化硅膜具有高绝缘性、化学稳定性好、致密性好、硬度高等特点，同时具有良好的掩蔽金属和水离子沉积的能力，从而被广泛采用。在晶体硅太阳能电池制造过程中，制备氮化硅膜通常采用等离子体增强化学气相沉积法，简称为PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)，PECVD是利用强电场使所需的气体源分子电离产生等离子体，等离子体中含有很多活性很高的化学基团，这些基团经过经一系列化学和等离子体反应，在硅片表面形成固态薄膜。目前，在晶体硅太阳能电池制造过程中，用于制备氮化硅膜的装置主要包括设置有炉门的真空沉积室，真空沉积室内设有石墨舟，硅片放置于石墨舟上，真空沉积室上设有进气口与排气口，所述进气口上连接有用于通入制程气体的进气管，所述排气口上连接有排放管，排放管末端连接有真空泵，真空泵的进口与排放管的出口相连，真空泵的出口连接有尾排管，其中，在将硅片放置于石墨舟上或将硅片从石墨舟内取出时通过人工实现硅片的取放，这是一种单调、重复的体力劳动，效率非常低。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种工作效率较高的用于石墨舟设备的硅片取放装置。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：该用于石墨舟设备的硅片取放装置，包括支架，所述支架上设置有托架，所述托架用于放置石墨舟，所述托架上方设置有用于取放硅片的机械手，所述支架上通过可拆卸装置固定有硅片上料盒与硅片下料盒，所述机械手将硅片上料盒内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出后放入硅片下料盒内；所述机械手包括移动平台、两个互相平行设置的第一滑轨，两个第一滑轨固定在支架上，所述移动平台的下表面设置有两个互相平行的第一滑槽，两个第一滑轨分别卡入两个第一滑槽内，所述移动平台上连接有用于使移动平台来回移动的第一驱动装置，所述移动平台的上表面设置有第二滑槽，所述第二滑槽与第一滑槽互相垂直，所述第二滑槽内设置有第一滑块，所述第一滑块沿第二滑槽来回滑动，所述第二滑槽内设置有用于使第一滑块来回移动的第二驱动装置，所述第一滑块上固定有第一支撑板，所述第一支撑板水平设置，所述第一支撑板的下表面固定有第一U形支撑架，所述第一支撑板与第一U形支撑架围成第一通孔，所述移动平台穿过第一通孔，所述第一U形支撑架的底部固定有第二支撑板，所述第二支撑板竖直设置，所述第二支撑板的一侧设置有第一支撑杆，所述第二支撑板上设置有用于使第一支撑杆上下移动的第三驱动装置，所述第一支撑杆上固定有第一支撑架，所述第一支撑架上设置有第一转动轴，所述第一转动轴通过轴承固定在第一支撑架上，所述第一支撑架上设置有用于使第一转动轴转动的第四驱动装置，所述第一转动轴的末端连接有硅片吸取装置；所述硅片吸取装置包括底座，所述底座的一侧表面固定在第一转动轴的末端，底座的另一侧表面固定有多个卡板，多个卡板依次平行设置，相邻的两个卡板之间的间距与石墨舟的两个相邻的石墨板的间距相同，且卡板的数量与石墨舟的石墨板数量相同，每个卡板上设置有多个通孔，每个通孔的边缘设置有多个固定孔，每个固定孔内设置有一个固定板，所述固定板的厚度小于卡板的厚度，每个通孔中心设置有吸盘，吸盘上连接有多个弹簧，多个弹簧与多个固定孔一一对应，弹簧的一端固定在吸盘上，另一端固定在固定板上，所述卡板的一侧表面设置有多个导线槽，导线槽的数量与通孔的数量相同，每个导线槽与一个通孔连通，导线槽内设置有压缩空气管，压缩空气管的一端与空气压缩机相连，另一端与吸盘相连，所述吸盘、多个弹簧、每个固定孔内的固定板、每个导线槽内的压缩空气管均位于卡板的两个表面组成的间隙空间内；所述硅片上料盒包括底板，所述底板的上表面设置有第一挡板与第二挡板，所述第一挡板与第二挡板平行设置，所述第一挡板朝向第二挡板的一侧表面设置有多个第一卡槽，所述第二挡板朝向第一挡板的一侧表面设置有多个第二卡槽，多个第一卡槽与多个第二卡槽一一对应，硅片的一端卡入第一卡槽内，硅片的另一端卡入与第一卡槽对应的第二卡槽内，所述相邻的两个第一卡槽之间的间距与相邻的两个卡板之间的间距相同，所述第一卡槽的数量与卡板的数量相同，所述硅片下料盒与硅片上料盒的结构相同。进一步的是，所述第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置均为电动推杆。进一步的是，所述第四驱动装置为旋转电机。进一步的是，每个卡板上通孔的数量为三个，且三个通孔的中心组成一个等腰三角形。进一步的是，所述第一挡板的上端与第二挡板的上端通过U形连接板相连。进一步的是，所述可拆卸装置为卡扣。本专利技术的有益效果是：该用于石墨舟设备的硅片取放装置在工作时，只需将石墨舟放置在托架的指定位置，然后利用机械手将硅片上料盒内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出后放入硅片下料盒内，可以实现生产的机械化和自动化，取缔人工单调、繁复的体力劳动，大大降低了工人的劳动强度，节约了人力成本，而且每次取出和放入的硅片数量较多，大大提高了工作效率。附图说明图1本专利技术所述用于石墨舟设备的硅片取放装置的结构示意图；图2本专利技术所述机械手的部分结构示意图；图3是本专利技术所述硅片吸取装置的结构示意图；图4是本专利技术所述卡板的结构示意图；图5是本专利技术所述硅片上料盒的结构示意图；图中标记说明：支架1、托架2、机械手3、移动平台301、第一滑轨302、第一滑槽303、第一驱动装置304、第二滑槽305、第一滑块306、第二驱动装置307、第一支撑板308、第一U形支撑架309、第一通孔310、第二支撑板311、第一支撑杆312、第三驱动装置313、第一支撑架314、第一转动轴315、第四驱动装置316、硅片吸取装置317、底座31701、卡板31702、固定孔31703、固定板31704、吸盘31705、弹簧31706、导线槽31707、压缩空气管31708、硅片上料盒4、底板401、第一挡板402、第二挡板403、第一卡槽404、第二卡槽405、U形连接板406、硅片下料盒5。具体实施方式下面结合附图对本专利技术进一步说明。如图1至5所示，该用于石墨舟设备的硅片取放装置，包括支架1，所述支架1上设置有托架2，所述托架2用于放置石墨舟，所述托架2上方设置有用于取放硅片的机械手3，所述支架1上通过可拆卸装置固定有硅片上料盒4与硅片下料盒5，所述机械手3将硅片上料盒4内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出后放入硅片下料盒5内；所述机械手3包括移动平台301、两个互相平行设置的第一滑轨302，两个第一滑轨302固定在支架1上，所述移动平台301的下表面设置有两个互相平行的第一滑槽303，两个第一滑轨302分别卡入两个第一滑槽303内，所述移动平台301上连接有用于使移动平台301来回移动的第一驱动装置304，所述移动平台301的上表面设置有第二滑槽305，所本文档来自技高网...
【技术保护点】
用于石墨舟设备的硅片取放装置，其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1)上设置有托架(2)，所述托架(2)用于放置石墨舟，所述托架(2)上方设置有用于取放硅片的机械手(3)，所述支架(1)上通过可拆卸装置固定有硅片上料盒(4)与硅片下料盒(5)，所述机械手(3)将硅片上料盒(4)内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出后放入硅片下料盒(5)内；所述机械手(3)包括移动平台、两个互相平行设置的第一滑轨(302)，两个第一滑轨(302)固定在支架(1)上，所述移动平台(301)的下表面设置有两个互相平行的第一滑槽(303)，两个第一滑轨(302)分别卡入两个第一滑槽(303)内，所述移动平台(301)上连接有用于使移动平台(301)来回移动的第一驱动装置(304)，所述移动平台(301)的上表面设置有第二滑槽(305)，所述第二滑槽(305)与第一滑槽(303)互相垂直，所述第二滑槽(305)内设置有第一滑块(306)，所述第一滑块(306)沿第二滑槽(305)来回滑动，所述第二滑槽(305)内设置有用于使第一滑块(306)来回移动的第二驱动装置(307)，所述第一滑块(306)上固定有第一支撑板(308)，所述第一支撑板(308)水平设置，所述第一支撑板(308)的下表面固定有第一U形支撑架(309)，所述第一支撑板(308)与第一U形支撑架(309)围成第一通孔(310)，所述移动平台(301)穿过第一通孔(310)，所述第一U形支撑架(309)的底部固定有第二支撑板(311)，所述第二支撑板(311)竖直设置，所述第二支撑板(311)的一侧设置有第一支撑杆(312)，所述第二支撑板(311)上设置有用于使第一支撑杆(312)上下移动的第三驱动装置(313)，所述第一支撑杆(312)上固定有第一支撑架(314)，所述第一支撑架(314)上设置有第一转动轴(315)，所述第一转动轴(315)通过轴承固定在第一支撑架(314)上，所述第一支撑架(314)上设置有用于使第一转动轴(315)转动的第四驱动装置(316)，所述第一转动轴(315)的末端连接有硅片吸取装置(317)；所述硅片吸取装置(317)包括底座(31701)，所述底座(31701)的一侧表面固定在第一转动轴(315)的末端，底座(31701)的另一侧表面固定有多个卡板(31702)，多个卡板(31702)依次平行设置，相邻的两个卡板(31702)之间的间距与石墨舟的两个相邻的石墨板的间距相同，且卡板(31702)的数量与石墨舟的石墨板数量相同，每个卡板(31702)上设置有多个通孔，每个通孔的边缘设置有多个固定孔(31703)，每个固定孔(31703)内设置有一个固定板(31704)，所述固定板(31704)的厚度小于卡板(31702)的厚度，每个通孔中心设置有吸盘(31705)，吸盘(31705)上连接有多个弹簧(31706)，多个弹簧(31706)与多个固定孔(31703)一一对应，弹簧(31706)的一端固定在吸盘(31705)上，另一端固定在固定板(31704)上，所述卡板(31702)的一侧表面设置有多个导线槽(31707)，导线槽(31707)的数量与通孔的数量相同，每个导线槽(31707)与一个通孔连通，导线槽(31707)内设置有压缩空气管(31708)，压缩空气管(31708)的一端与空气压缩机相连，另一端与吸盘(31705)相连，所述吸盘(31705)、多个弹簧(31706)、每个固定孔(31703)内的固定板(31704)、每个导线槽(31707)内的压缩空气管(31708)均位于卡板(31702)的两个表面组成的间隙空间内；所述硅片上料盒(4)包括底板(401)，所述底板(401)的上表面设置有第一挡板(402)与第二挡板(403)，所述第一挡板(402)与第二挡板(403)平行设置，所述第一挡板(402)朝向第二挡板(403)的一侧表面设置有多个第一卡槽(404)，所述第二挡板(403)朝向第一挡板(402)的一侧表面设置有多个第二卡槽(405)，多个第一卡槽(404)与多个第二卡槽(405)一一对应，硅片的一端卡入第一卡槽(404)内，硅片的另一端卡入与第一卡槽(404)对应的第二卡槽(405)内，所述相邻的两个第一卡槽(404)之间的间距与相邻的两个卡板(31702)之间的间距相同，所述第一卡槽(404)的数量与卡板(31702)的数量相同，所述硅片下料盒(5)与硅片上料盒(4)的结构相同。...
【技术特征摘要】
1.用于石墨舟设备的硅片取放装置，其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1)上设置有托架(2)，所述托架(2)用于放置石墨舟，所述托架(2)上方设置有用于取放硅片的机械手(3)，所述支架(1)上通过可拆卸装置固定有硅片上料盒(4)与硅片下料盒(5)，所述机械手(3)将硅片上料盒(4)内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出后放入硅片下料盒(5)内；所述机械手(3)包括移动平台、两个互相平行设置的第一滑轨(302)，两个第一滑轨(302)固定在支架(1)上，所述移动平台(301)的下表面设置有两个互相平行的第一滑槽(303)，两个第一滑轨(302)分别卡入两个第一滑槽(303)内，所述移动平台(301)上连接有用于使移动平台(301)来回移动的第一驱动装置(304)，所述移动平台(301)的上表面设置有第二滑槽(305)，所述第二滑槽(305)与第一滑槽(303)互相垂直，所述第二滑槽(305)内设置有第一滑块(306)，所述第一滑块(306)沿第二滑槽(305)来回滑动，所述第二滑槽(305)内设置有用于使第一滑块(306)来回移动的第二驱动装置(307)，所述第一滑块(306)上固定有第一支撑板(308)，所述第一支撑板(308)水平设置，所述第一支撑板(308)的下表面固定有第一U形支撑架(309)，所述第一支撑板(308)与第一U形支撑架(309)围成第一通孔(310)，所述移动平台(301)穿过第一通孔(310)，所述第一U形支撑架(309)的底部固定有第二支撑板(311)，所述第二支撑板(311)竖直设置，所述第二支撑板(311)的一侧设置有第一支撑杆(312)，所述第二支撑板(311)上设置有用于使第一支撑杆(312)上下移动的第三驱动装置(313)，所述第一支撑杆(312)上固定有第一支撑架(314)，所述第一支撑架(314)上设置有第一转动轴(315)，所述第一转动轴(315)通过轴承固定在第一支撑架(314)上，所述第一支撑架(314)上设置有用于使第一转动轴(315)转动的第四驱动装置(316)，所述第一转动轴(315)的末端连接有硅片吸取装置(317)；所述硅片吸取装置(317)包括底座(31701)，所述底座(31701)的一侧表面固定在第一转动轴(315)的末端，底座(31701)的另一侧表面固定有多个卡板(31702)，多个卡板(31702)依次平行设置，相邻的两个卡板(31702)之间的间距与石墨舟的两个相邻的石墨板的间距相同，且卡板(31702)的数量与石墨舟的石墨板数量相同，每个卡板(31702)上设置有多个通孔，每...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈五奎，刘强，冯加保，耿荣军，任超，
申请(专利权)人：乐山新天源太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51
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