本发明专利技术公开了一种晶片传输疲劳度测试的方法，包括：晶片传输开始(1)、实时监控和采集各个运动部件的状态(2)、是否有故障(3)、记录故障部件、类型和次数(4)、晶片传输完成(5)、循环传输N次(6)、根据采集和记录故障，画出直观图表(7)、同各个部件的性能参数比较，找出异常的，重点监控查找问题(8)、根据不同问题找出相应的解决办法(9)和本次疲劳度测试结束(10)。其特征在于：能够比较全面的反应出各个部件在长时间运动中的状态趋势，直观易懂，便于统计，比较快速的找出不稳定的因素，根据类型分类，有针对性的找出解决问题的办法。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体器件制造测试系统，尤其涉及一种离子注入机晶片传输疲劳度测试的方法。
技术介绍
离子注入机是一种通过引导杂质注入半导体晶片，从而改变晶片的传导率的设备，其中晶片传输系统的稳定性直接关乎设备的生产效率以及企业的效益，因此一套行之有效的晶片传输疲劳度测试方法就至关重要，在前期的“马拉松”式流片疲劳度测试中，只有尽可能地把所有问题都暴露出来，才能给客户一个稳定安全的设备。鉴于晶片传输疲劳度测试的重要性，如何开发出一套系统全面的晶片传输疲劳度测试系统是离子注入机稳定性测试急需解决的问题。
技术实现思路
本专利技术是针对现有技术中晶片传输疲劳度测试不系统不全面，影响设备稳定性，可能给客户造成重大损失，而开发出的一套晶片传输疲劳度测试的系统。本专利技术通过以下技术方案实现引入一个状态监控系统，把各个运动部件的状态都自动采集或者手动记录，其中电机的速度、加速度、误差等都可以自动采集，而电机的温度、故障类型、故障次数和故障部件等可能需要手动去测量和记录，将采集和记录的数据分类整理和统计，检测其中的数据是否波动比较大，波动大的重点检测，做出趋势图或者其他图表形式。如果那个部件有比较大的故障问题，可以从3个方面入手，顺序一般为软件、硬件和结构及其它故障3个方面。本专利技术具有如下显著优点I.系统比较全面，涵盖了所有需要测试的参数。2.系统分类比较齐全，把晶片传输过程中所有的部件都系统的分类，每个类别下测试的数据参数不尽相同。3.长时间“马拉松”式的流片，基本可以把所有可能发生的故障问题都暴露出来，把交付给客户使用发生的其他故障降到最低。附图说明图I为一个晶片传输疲劳度测试流程图。具体实施例方式下面结合附图I和具体实施例对本专利技术作进一步的介绍，但不作为对本专利技术的限定。为了晶片传输疲劳度测试，用了以上所述的疲劳度测试方法按照附图I中的，该方法每天必须进行4000片以上的晶片传输，记录传输过程中各个部件的状态数据(2)，主要包括传输时间、一个时间段各个电机的温度和误差、传输中的故障、传输晶片数量和碎片数量。根据记录数据做出统计，画成直观图表形式(7)，方便易懂。I)画出传输时间与各个电机温度的图表，检测电机温度是否有大的波动，是否超出其出厂标定范围的温度，如果发现这种情况，应尽快与厂商联系，协调解决问题；画出传输时间与各个电机误差的图表，检测各个电机误差是否有比较大的波动，如果有先检查下电机的参数是否设置的合适，再检查电机是否出现硬件或结构问题，不行的话再去咨询厂商。2)画出传输时间、传输故障、晶片数量和碎片数量几项的曲线图，可以把这几项数据画到已个图表里，也可以分开到几个图表里，重点检测传输时间与传输故障和传输故障和碎片数量的分布情况，从中发现问题，找出问题并解决问题。3)可以把传输故障按顺序一般细分为软件、硬件和结构及其他故障，因为流程是用上位机程序编写的，而硬件控制是下位机底层的，先从流程开始找，效率更高，而结构及其它故障一般发生的几率比较小，所以排在后面。根据检测数量，画出图表；也可以把碎片 数量同这3个故障分开一一分析，这样更容易找出问题所在。本专利技术专利的特定实施例已对本专利技术专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利专利的侵犯，将承担相应的法律责任。权利要求1.，包括晶片传输开始(I)、实时监控和采集各个运动部件的状态(2)、是否有故障(3)、记录故障部件、类型和次数(4)、晶片传输完成(5)、循环传输N次(6)、根据采集和记录故障，画出直观图表(7)、同各个部件的性能参数比较，找出异常的，重点监控查找问题(8)、根据不同问题找出相应的解决办法(9)和本次疲劳度测试结束(10)。其特征在于能够比较全面的反应出各个部件在长时间运动中的状态趋势，直观易懂，便于统计，比较快速的找出不稳定的因素，根据类型分类，有针对性的找出解决问题的办法。2.如权利要求I所述的晶片传输疲劳度测试的方法，其特征在于把每个运动部件在运动过程中的状态(2)都做成图表形式，直观地显示出来，例如电机的温度随运动时间变化的趋势图，电机的误差随运动时间变化的趋势图等，都能比较方便的表达出来，方便易懂。3.如权利要求I所述的晶片传输疲劳度测试的方法，其特征在于能根据出现的异常状态，比较迅速地定位到某个方面的问题，减少了一些中间判断问题的时间，提高了测试的效率。全文摘要本专利技术公开了，包括晶片传输开始(1)、实时监控和采集各个运动部件的状态(2)、是否有故障(3)、记录故障部件、类型和次数(4)、晶片传输完成(5)、循环传输N次(6)、根据采集和记录故障，画出直观图表(7)、同各个部件的性能参数比较，找出异常的，重点监控查找问题(8)、根据不同问题找出相应的解决办法(9)和本次疲劳度测试结束(10)。其特征在于能够比较全面的反应出各个部件在长时间运动中的状态趋势，直观易懂，便于统计，比较快速的找出不稳定的因素，根据类型分类，有针对性的找出解决问题的办法。文档编号H01L21/66GK102956517SQ20111024114公开日2013年3月6日 申请日期2011年8月22日 优先权日2011年8月22日专利技术者杨亚兵, 周文龙, 谢均宇 申请人:北京中科信电子装备有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种晶片传输疲劳度测试的方法，包括：晶片传输开始(1)、实时监控和采集各个运动部件的状态(2)、是否有故障(3)、记录故障部件、类型和次数(4)、晶片传输完成(5)、循环传输N次(6)、根据采集和记录故障，画出直观图表(7)、同各个部件的性能参数比较，找出异常的，重点监控查找问题(8)、根据不同问题找出相应的解决办法(9)和本次疲劳度测试结束(10)。其特征在于：能够比较全面的反应出各个部件在长时间运动中的状态趋势，直观易懂，便于统计，比较快速的找出不稳定的因素，根据类型分类，有针对性的找出解决问题的办法。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨亚兵，周文龙，谢均宇，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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