【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体器件制造测试系统，尤其涉及一种离子注入机晶片传输疲劳度测试的方法。
技术介绍
离子注入机是一种通过引导杂质注入半导体晶片，从而改变晶片的传导率的设备，其中晶片传输系统的稳定性直接关乎设备的生产效率以及企业的效益，因此一套行之有效的晶片传输疲劳度测试方法就至关重要，在前期的“马拉松”式流片疲劳度测试中，只有尽可能地把所有问题都暴露出来，才能给客户一个稳定安全的设备。鉴于晶片传输疲劳度测试的重要性，如何开发出一套系统全面的晶片传输疲劳度测试系统是离子注入机稳定性测试急需解决的问题。
技术实现思路
本专利技术是针对现有技术中晶片传输疲劳度测试不系统不全面，影响设备稳定性，可能给客户造成重大损失，而开发出的一套晶片传输疲劳度测试的系统。本专利技术通过以下技术方案实现引入一个状态监控系统，把各个运动部件的状态都自动采集或者手动记录，其中电机的速度、加速度、误差等都可以自动采集，而电机的温度、故障类型、故障次数和故障部件等可能需要手动去测量和记录，将采集和记录的数据分类整理和统计，检测其中的数据是否波动比较大，波动大的重点检测，做出趋势图或者其他图表形...
【技术保护点】
一种晶片传输疲劳度测试的方法，包括：晶片传输开始(1)、实时监控和采集各个运动部件的状态(2)、是否有故障(3)、记录故障部件、类型和次数(4)、晶片传输完成(5)、循环传输N次(6)、根据采集和记录故障，画出直观图表(7)、同各个部件的性能参数比较，找出异常的，重点监控查找问题(8)、根据不同问题找出相应的解决办法(9)和本次疲劳度测试结束(10)。其特征在于：能够比较全面的反应出各个部件在长时间运动中的状态趋势，直观易懂，便于统计，比较快速的找出不稳定的因素，根据类型分类，有针对性的找出解决问题的办法。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨亚兵，周文龙，谢均宇，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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