一种引线键合机XY工作台结构制造技术

一种引线键合机XY工作台结构，属于半导体集成电路制造领域。这种引线键合机XY工作台结构省略掉传统结构左侧安装X向直线电机，巧妙的利用了在传统X基座下方用基座支撑结构的空间，这样键合头部分的所有重量都承载在X向直线电机动子上方的X向直线电机基座上面，因为不需要额外的机械连接，所以能够增加X方向的机械刚性和强度；本发明专利技术的这种结构的另一个好处就是机台的重心会向中间偏移，利于整个机台的稳定，从而大大增加了机器焊接的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及后道装备引线键合机的核心部件XY工作台的结构设计。
技术介绍
引线键合设备的根本在于通过劈刀引导金属引线在三维空间中作复杂高速的运动以形成各种满足不同封装形式需要的特殊线弧形状。X，Y,Z三个方向上协调运动的精度和速度，是保证键合设备焊线精度、可靠性、一致性和效率的关键。 传统的键合机XY工作台的X向直线电机安装在绑定头的左侧，绑头下面还需要基座来支撑X向直线电机基座，Y向直线电机基座和键合头，这样将导致整个XY工作台占空间面积大，并且需要基座和X向直线电机动子的精密配合加上高精度的机械设计和装配才能保证XY工作台装配精度的技术问题。
技术实现思路
为了更好地提高引线键合机自动生产过程中的速度、精度和可靠性，本专利技术提供了一种新型引线键合机XY工作台。本专利技术采用的技术方案是一种引线键合机XY工作台结构，由引线键合机构、矿物质铸件基座、矿物质支腿和基础钢板组成，矿物质铸件基座为人造理石铸造而成的二层阶梯的台阶形状基座，其中第一层台阶开有垂直方向的走线孔用于导线安装；第二层台阶水平表面提供了 X向交叉滚子安装面，第二层台阶水平表面还开有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种引线键合机XY工作台结构，?由矿物质铸件基座，Y向直线电机定子（1），Y向直线电机动子(2)，?X向直线电机定子（3），?X向直线电机动子（4），X向基座（5），Y向基座（6），Y向交叉滚子（111），X向交叉滚子（114?115），Y向直线电机动子散热器（112）组成；矿物质铸件基座为人造理石铸造而成的三层阶梯的台阶形状基座，其中第一层台阶开有垂直方向的走线孔用于导线安装；第二层台阶水平表面提供了X向交叉滚子安装面（113），第二层台阶水平表面还开有X向直线电机交叉滚子安装孔(70?79)和预留X向直线电机安装凹槽(8)；在X向直线电机安装凹槽(8)的底部预留X向直线电机定子安装孔（21...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张飞，徐大林，
申请(专利权)人：大连佳峰电子有限公司，
类型：发明
国别省市：