【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种突上针磁性固定机构,其属于机械自动化
。该固定机构包括突上针座和导向罩,突上针设在突上针座上,并在导向罩的孔里上下运动;在突上针座的底部安装一个磁力较弱的磁铁,使突上针在水平方向上移动。该机构采用磁性固定方式,方便安装和调整。磁铁只限制了突上针垂直方向的位移,在磁铁范围内,突上针可在水平任意方向进行调整。同时放宽了在加工相关零配件时精度要求,降低了加工成本,并且没有了机械限位,相关的零配件可以通用,提高了零配件的通用性。【专利说明】一种突上针磁性固定机构
本专利技术涉及一种突上针磁性固定机构,其属于机械自动化
。
技术介绍
在半导体装片设备中,最主要的功能就是取晶片和粘晶片,其中把晶片从晶盘上顺利取走要靠突上机构与抓取机构配合来实现。突上机构,是要使晶盘上要被取走的晶片高出晶盘和其它晶片,并且要使晶片从晶盘上分离,只用这样抓取机构才能用真空的方式将晶片取走。能够完成上述动作最主要的部件是突上针。在靠近突上针顶部有导向罩,突上针座和导向罩分别固定在不同的零件上,突上针要在导向罩的孔里上下运动。由于抓取机构是通过真空方式取走晶片,所以突上针的位置非常重要,第一要与抓取机构的中心对正,第二要在垂直方向上运动。由于晶片的体积越做越小,突上针的直径也要做得更小,各部件的配合要求更高,而突上针和导向罩不是安装在同一个零件上,且在水平方向上都不能调整,这更增加了配合的难度,加工成本必然随之上升。。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,专利技术了一种突上针磁性固定机构,使得突上针能在水平方向上任意调整,降低了制造成本。本专利技术 ...
【技术保护点】
一种突上针磁性固定机构,包括突上针座(3)和导向罩(2),其特征在于:在所述突上针座(3)上设有突上针(1),突上针(1)在导向罩(2)的孔里上下运动;在突上针座(3)的底部安装一个磁铁(4),磁铁(4)设置在底部的磁铁固定座(5)上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:赵文宝,王云峰,金元甲,
申请(专利权)人:大连佳峰电子有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
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