具有旋动式测试手臂的半导体元件测试系统技术方案

一种具有旋动式测试手臂的半导体元件测试系统，通过电性耦接多个测试仪器至测试系统的一测试区，包含一具有多个承载座以承载待测物的输送装置、位于该测试区内的具有至少一个测试位置的第一测试座、具有至少一个测试位置的第二测试座、第一测试手臂及第二测试手臂，而该第一测试手臂及第二测试手臂，系能够携行待测物运行于该输送装置、第一测试座、第二测试座之间，因此于同一机台上将能够藉由旋动式测试手臂进行两种不同的量测或两个测试座仅用于量测一种功能时，由于具有两个测试座能同时运作，因此能降低整体量测所花费的时间，提升测试速率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术关于一种具有旋动式测试手臂的半导体元件测试系统，尤其是一种藉由旋动式测试手臂携行半导体元件运行替换于两个测试座之间的测试系统。
技术介绍
一般完整的集成电路制造，主要包括初期的集成电路设计与晶圆制造，中期的晶圆电性测试，及后期的最终测试与产品出货。于半导体元件日益微小化的同时，集成电路的制程在每一个制程阶段都相当重要。其中，电性测试能够针对各种半导体元件电性参数进行测试以确保产品能正常运作，实境测试则是于测试系统设备将根据产品不同的测试项目通过公板模拟实境而载入不同的测试程序或搭配不同的客制化测试仪器，确认半导体元件符合所要求规格。 目前半导体测试机台于后段测试的设计上多有创新，譬如本申请人Chroma ATEInc.所贩售的自动化系统功能测试机(ASFT)Model 3240、3260提供多组PCBlevel平行测试的大量生产机具，可配合多数不同的封装类型包括传统的QFP、TQFP、μ BGA、PGA及CSP封装，通过设计多测试埤位、多输送车机构等结构，增加测试的生产量(Throughput)。再者，同一个测试座若施以不同的测试讯号往往需要经过复杂的电路及程序设计，且每本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有旋动式测试手臂的半导体元件测试系统，其特征在于，通过电性耦接多个测试讯号至测试系统的一测试区，包含：一具有多个承载座以承载半导体元件的输送装置；一第一测试座，位于该测试区内，该第一测试座与多个测试讯号的任一个电性耦接；一第二测试座，位于该测试区内且相邻于该第一测试座，该第二测试座与多个测试讯号的任一个电性耦接；一第一测试手臂，用以携行半导体元件运行于该输送装置、第一测试座、第二测试座之间；以及一第二测试手臂，用以携行半导体元件运行于该输送装置、第一测试座、第二测试座之间；其中，该第一测试手臂及第二测试手臂交叠运行于该输送装置、第一测试座及第二测试座间，以替换待测或测试完毕的半导体元件于...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建名，蔡译庆，欧阳勤一，
申请(专利权)人：致茂电子苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：